一种溅射薄膜式压力传感器制造技术

一种溅射薄膜式压力传感器，涉及压力传感器领域。其特征是包括：插座、外壳、螺母、电路组件、螺钉、压力敏感组件、保护罩；所述压力敏感组件由基座、支撑套、压力敏感膜片、出线板和压冒组成；所述电路组件由LH18混合集成电路、电阻、电容组成，LH18混合集成电路内部由基准电压源、仪表放大器及输出限幅电路组成，所述压力敏感膜片通过电子束焊接与基座连接，所述压力敏感膜片通过硅铝丝焊接与出线板连接，所述基座和压力敏感膜片采用不锈钢材料。本实用新型专利技术具有高的温度稳定性、高的长期稳定性及可靠性、工艺简单，易于实施等特点。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及压力传感器领域，特别涉及一种溅射薄膜式压力传感器。
技术介绍
目前市场上常见的压力传感器有扩散硅式、差压电容式、陶瓷压阻式、金属应变片粘贴式等多个品种。陶瓷压阻式和扩散硅式都存在因掺杂物质迁移和费米能级效应而引起漂移倾向， 这些影响随着温度的升高而增大；差压电容式采用MEMS技术由陶瓷构成，或将金属嵌入半导体层中，传感元件固定(融合)于金属/玻璃密封体或装入充油腔中，密封和充油隔离腔体由于热膨胀系数不同而引起不希望有的热稳定性问题，在工作温区内的温度非线性是一个大问题，工作温区的高端和低端因此受到限制，并且存在充油腔漏油的潜在可能；金属应变片粘贴式，从原理上就存在不稳定现象。
技术实现思路
针对现有技术中存在的缺陷，本技术的目的在于提供一种工作稳定、可靠，且工艺较为简单的溅射薄膜式压力传感器。本技术薄膜式压力传感器采用如下技术方案一种溅射薄膜式压力传感器，其特征是包括插座、外壳、螺母、电路组件、螺钉、压力敏感组件、保护罩；所述压力敏感组件由基座、支撑套、压力敏感膜片、出线板和压冒组成；所述电路组件由LH18混合集成电路、电阻、电容组成，LH18混合集成电路内部由基准电压源、仪表本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种溅射薄膜式压力传感器，其特征是包括：插座（１）、外壳（２）、螺母（３）、电路组件（４）、螺钉（５）、压力敏感组件（６）、保护罩（７）；所述压力敏感组件由基座（８）、支撑套（９）、压力敏感膜片（１０）、出线板（１１）和压冒（１２）组成；所述电路组件（４）由ＬＨ１８混合集成电路、电阻、电容组成，ＬＨ１８混合集成电路内部由基准电压源、仪表放大器及输出限幅电路组成，其中基准电压源由运算放大器Ａ１、三极管Ｎ１组成的恒流源给稳压二极管Ｄ１供给稳定的工作电流，使稳压二极管输出稳定的正向基准电压；运算放大器Ａ２、三极管Ｐ１及几只电阻组成反向的基准电压，输出限幅电路输出级并联一只６．２Ｖ稳压管和一只二极...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘军，
申请(专利权)人：青岛智腾微电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：95