A capacitive pressure sensor electrode plated, solve the influence of parasitic capacitance, edge effect sensor output of existing capacitive pressure sensor, the movable electrode diffuse leakage, the problem, including the matching shell, and matching shell assembled on the fixed electrode, with the electrode, and the electrode leads to tubular pneumatic pressure the mouth, which is characterized in that the movable electrode with inner and outer ring clamping pressure transition welding welding fixed, moving electrode and the inner and outer rings arranged on the surface of gold plated layer transition welding thermal diffusion layer and gold under high vacuum, a fixed electrode matching the outer shell and the inner ring transition welding welded together by welding blade. Outside the mouth, transition welding thermal diffusion layer plated layer and a gold ring on the pressure and corrosion resistant material using fluorine rubber seal ring 9, fixed together by the edge weld welding. The utility model has the advantages of reasonable structural design, simple preparation process, low manufacturing cost, further improvement of corrosion resistance, little influence on temperature and good stability.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种电容压力传感器,特别是一种动电极板镀金的电容压力传感器,主要用于测量小微压力。
技术介绍
在压力测量中,特别是小微压力,电容压力传感器呈优势。目前有代表性的是美国MKS公司的6系列电容压力传感器。以626型电容压力传感器为例,量程为绝对压力0.1Torr至1000Torr,与被测介质接触部分全部用恒弹性耐腐蚀的镍基合金(Inconel X-750)制作。如图3、图4所示。12是动电极,恒弹性耐腐蚀镍基合金制作;13定电极绝缘体,Al2O3陶瓷制作;14内电极;15导电膜;16绝缘厚膜;17外壳柱状体;18楔尾固定环;19压簧;上述17、18、19都是Inconel X-750制作。20吸气剂;21外引出电极;22含钴玻璃;23绝缘子外壳;24外壳盖(Inconel x-750);25内引线;26带引压口的焊座(Inconel X-750)。由于626型电容压力传感器的动电极为20μm左右的薄膜制作,尽管金属的扩散系数很小,但是太薄,年漏率还是在20%以上。再则,Inconel X-750合金的膨胀系数太大,找不到与之匹配的固体绝缘材料,实现匹配封接。故定电极采用装配式。这样,就出现了以下问题:1、吸附表面太大;2、内部结构复杂、存在着气隙与集气腔;3、可能的不确定边缘效应;4、内电极与外引出电极之间有细导线,存在着空间分布不确定电容;5、外引出电极存在寄生电容;6、陶瓷绝缘体不仅吸附表面远大于几何表面,并且体内也含有大量气体。因此,尽管在制作时,动电极与外引出电极之间可以抽到很高真空度,也设置了吸气剂,但是,气体的脱附、扩散性渗漏,造成 ...
【技术保护点】
一种动电极板镀金的电容压力传感器,包括匹配外壳,与匹配外壳组装在一起的定电极、管状引出电极、动电极及引压口,其特征在于:所述动电极利用内过渡焊接环、外过渡焊接环夹持压紧焊接固定,在动电极和内、外过渡焊接环表面设置镀金层和高真空下金的热扩散层,定电极由钎焊层密封在一起的蓝宝石绝缘体、匹配外壳、管状引出电极组成,匹配外壳与内过渡焊接环通过刃口形焊口焊接固定在一起,外过渡焊接环上的镀金层和金的热扩散层与耐腐蚀材料制作的引压口利用氟胶环密封后,通过刃口形焊口焊接固定在一起。
【技术特征摘要】
1.一种动电极板镀金的电容压力传感器,包括匹配外壳,与匹配外壳组装在一起的定电极、管状引出电极、动电极及引压口,其特征在于:所述动电极利用内过渡焊接环、外过渡焊接环夹持压紧焊接固定,在动电极和内、外过渡焊接环表面设置镀金层和高真空下金的热扩散层,定电极由钎焊层密封在一起的蓝宝石绝缘体、匹配外壳、管状引出电极组成,匹配外壳与内过渡焊接环通过刃口形焊口焊接固定在一起,外过渡焊接环上的镀金层和金的热扩散层与耐腐蚀材料制作的引压口利用氟胶环密封后,通过刃口形焊口焊接固定在一起。2.根据权利要求1所述的动电极板镀金的电容压力传感器,其特征在于:所述匹配外壳与内过渡焊接环上都设置有刃口形焊口和内环口。3.根据权利要求1所述的动电极板镀金的电容压力传感器...
【专利技术属性】
技术研发人员:景玉鹏,段磊,段祥华,刘爽,
申请(专利权)人:沈阳市传感技术研究所,
类型:发明
国别省市:辽宁;21
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