The utility model discloses an involute type flexible capacitive pressure sensor, comprising a base layer and an electrode layer, the dielectric layer, the base layer and the electrode layer and the dielectric layer are sequentially arranged from top to bottom; the electrode layer comprises a plurality of capacitor, electrode, the capacitance matrix structure is arranged on the substrate the top layer, each capacitor includes: disk capacitor, involute curve, capacitor electrode, the capacitance of the outer edge are respectively led out two disc involute, each end are connected with the involute curve, each curve ends are connected with a capacitor electrode; the base layer top four corners are provided with electrode; the base layer and the dielectric layer are made of PDMS two polydimethylsiloxane or PI PET polyimide or polyethylene terephthalate or flexible glass or metal foil or paper. The design of the expansion and expansion of the capacitive electrode can be effectively improved, can be used to improve the flexibility of the device under the premise of the capacitor electrode.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种渐开线型柔性电容式压力传感器,属于微电子
技术介绍
柔性电子是一门新兴的技术。在人们的印象中,有机材料,如塑料等,都是很好的绝缘体,很少有人会想到塑料也能导电。近年来,由于对导电高分子的研究有了新突破,有机材料可以从传统的绝缘体变成可导电的半导体,柔性电子(FlexibleElectronics)便应运而生。现代化学等技术的发展,促进了柔性电子这样一门学科的发展。柔性电子制造的关键包括制造工艺、基板和材料等,其核心是微纳米图案化(Micro-andNanopatterning)制造,涉及机械、材料、物理、化学、电子等多学科交叉研究。柔性电子技术是一场全新的电子技术革命,引起全世界的广泛关注并得到了迅速发展。美国《科学》杂志将有机电子技术进展列为2000年世界十大科技成果之一,与人类基因组草图、科隆技术等重大发现并列。美国科学家艾伦黑格、艾伦•马克迪尔米德和日本科学家白川英树由于他们在导电聚合物领域的开创性工作而获得2000年诺贝尔化学奖。柔性电子技术目前正处于起步阶段,又称为塑料电子(PlasticElectronics)、印刷电子(PrintedElectronics)、有机电子(OrganicElectronics)、聚合体电子(PolymerElectronics)等;而关于其定义,目前还没有统一明确的概念,可概括为将有机/无机材料电子器件制作在柔性/可延性塑料和薄金属基板上的新兴电子技术。柔性电子以其独特的柔性/延展性以及高效、低成本制造工艺,在信息、能源、医疗、国防等领域具有广泛应用前景,如柔性电子显示器、有机发光二极管 ...
【技术保护点】
一种渐开线型柔性电容式压力传感器,包括:基底层、电极层、介质层,其特征在于:所述基底层、电极层、介质层从下至上依次设置;所述电极层包括:多个电容、电极,所述电容呈矩阵结构排列在基底层顶面,每个电容包括:圆盘电容、渐开线、弯曲线、电容电极,所述圆盘电容外侧边缘分别引出两根渐开线,每根渐开线末端均连接有弯曲线,每根弯曲线末端均连接有电容电极;所述基底层顶面四角均设置有电极;所述基底层、介质层均采用PDMS聚二甲基硅氧烷或PI聚酰亚胺或PET聚对苯二甲酸乙二醇酯或柔性玻璃或金属箔或试纸。
【技术特征摘要】
1.一种渐开线型柔性电容式压力传感器,包括:基底层、电极层、介质层,其特征在于:所述基底层、电极层、介质层从下至上依次设置;所述电极层包括:多个电容、电极,所述电容呈矩阵结构排列在基底层顶面,每个电容包括:圆盘电容、渐开线、弯曲线、电容电极,所述圆盘电容外侧边缘分别引出两根渐开线,每根渐开线末端均连接有弯曲线,每根弯曲线末端均连接有电容电极;所述基底层顶面四角均设置有电极;所述基底层、介质层均采用PDMS聚二甲基硅氧烷或PI聚酰亚胺或PET聚对苯二甲酸乙二醇酯或柔性玻璃或金属箔或试纸。2.根据权利要求1所述的一种渐开...
【专利技术属性】
技术研发人员:周亚军,郭维,王林,程丁儒,
申请(专利权)人:浙江大学昆山创新中心,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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