Ceramic pressure sensor and its production method. Describe a ceramic pressure sensor, its use can be selected for production methods of production, and has a ceramic substrate (1a, 1b, 1c), arranged in a matrix (1a, 1b, 1c) by loading pressure to be measured and the measurement of ceramic membrane (P) (5a, 5b) and in the measurement of membrane (5a, 5b (1a) following closed in the matrix, 1b, 1c) pressure in a measuring chamber (3), and describes a method for the production of pressure sensor, by means of the method, especially in film production measurement with the minimum pore condition (5a, 5b) and / or matrix (1a, 1b 1c), the more complex shapes, including matrix (1a, 1b, 1c) and / or measurements (5a, 5b) film with each other and applying 3-D printing method generated by selective laser melting of nano powder layer by layer.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种陶瓷压力传感器,其具有陶瓷基体;陶瓷测量膜,该陶瓷测量膜布置在基体上,并且可以被加载待测量的压力;以及在测量膜下面封闭在基体中的压力测量室。
技术介绍
陶瓷压力传感器在几乎每个工业测量领域都广泛地使用。陶瓷压力传感器可以设计为绝对压力传感器,它们可以测量相对于真空作用在测量膜上的绝对压力。它们也可以设计为相对压力传感器,用于测量相对于应用于压力测量室的诸如当前大气压力的参考压力作用在测量膜上的压力。可选地,可以将其设计为具有布置在两个基体之间的测量膜、同时在每个情况下封闭压力测量室的差压传感器,并且该差压传感器测量作用在测量膜的第一侧上的第一压力与作用在测量膜的第二侧上的第二压力之间的差压。现今,陶瓷压力传感器常常被设计为所谓的电容压力传感器。电容压力传感器具有电容转换器,其用于通过测量来确定取决于作用在测量膜上的压力的、测量膜的偏转。陶瓷电容压力传感器通常具有布置在面向基体的测量膜的一侧上的电极,以及布置在面向测量膜的基体的一侧上的对电极。电极和对电极通常是溅射到测量膜内侧上或者溅射到面向测量膜的基体端面上的金属层。对电极通常由接触针电连接,该接触针插入在溅射对电极之前穿过基体的直孔中。电极和对电极形成具有电容的电容器,该电容取决于测量膜的偏转,并且例如借助电容测量电路检测,并且经由例如预先以校正方法已确定的特征曲线分配到对应的压力测量结果。现今,陶瓷压 ...
【技术保护点】
一种压力传感器,包括:‑陶瓷基体(1a、1b、1c);‑陶瓷测量膜(5a、5b),所述陶瓷测量膜布置在所述基体(1a、1b、1c)上,并且被加载待测量的压力(p),以及‑压力测量室(3),所述压力测量室在所述测量膜(5a、5b)下面被封闭在所述基体(1a、1b、1c)中;其特征在于:‑所述基体(1a、1b、1c)和/或所述测量膜(5a、5b)包括用3‑D打印方法彼此施加并且通过纳米粉末层的选择性激光熔化生成的层。
【技术特征摘要】
2014.10.13 DE 102014114764.21.一种压力传感器,包括:
-陶瓷基体(1a、1b、1c);
-陶瓷测量膜(5a、5b),所述陶瓷测量膜布置在所述基体(1a、
1b、1c)上,并且被加载待测量的压力(p),以及
-压力测量室(3),所述压力测量室在所述测量膜(5a、5b)下
面被封闭在所述基体(1a、1b、1c)中;
其特征在于:
-所述基体(1a、1b、1c)和/或所述测量膜(5a、5b)包括用3-D
打印方法彼此施加并且通过纳米粉末层的选择性激光熔化生成的层。
2.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于:
所述层具有微米范围内的层厚度。
3.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于:
所述基体(1a)和/或测量膜(5b)包括由相应足迹的堆叠的层构
成的至少一个结构。
4.根据权利要求3所述的压力传感器,其特征在于:
-所述基体(1a)在其面向所述测量膜(5a)的端面具有隆起(13),
以及
-所述隆起(13)是由堆叠的层构成的结构。
5.根据权利要求3所述的压力传感器,其特征在于:
-所述测量膜(5b)在中心区域中具有加固(15),并且
-所述加固(15)是由堆叠的层构成的结构。
6.根据权利要求3所述的压力传感器,其特征在于:
-所述测量膜(5a)的外边由接头(7)连接到面向所述测量膜(5a)
\t的所述基体(1a)的端面的外边,
-在面向直接邻接所述接头(7)的内侧的测量膜(5a)的所述基
体(1c)的端面区域中,所述基体(1c)具有凹槽(21),所述凹槽被
闭合以形成环,以及
-所述凹槽(21)是由面向所述测量膜(5a)的所述基体(1c)
的层中的堆叠的开口构成的结构,所述开口被闭合以形成环。
7.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于:
-所述压力传感器具有电容机电转换器,用于测量所述测量膜
(5a、5b)的偏转,所述偏转取决于作用在所述测量膜(5a、5b)上的
压力(p),
-所述转换器具有布置在面向所述基体(1a、1b、1c)的所述测
量膜(5a、5b)的一侧上的电极(9)和布置在面向所述测量膜(5a、
5b)的所述基体(1a、1b、1c)的一侧上的对电极(11),以及
-所述电极(9)和/或所述对电极(11)具有用3-D打印方法打印
的至少一个层,特别是通过施加金属纳米粉末层生成的层,特别是选
择性激光熔化及随后的硬化的由钛或钽金属粉末构成的纳米粉末层。
8.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于:
-所述压力传感器具有电容机电转换器,用于测量所述测量膜
(5a、5b)的偏转,所述偏转取决于作用在所述测量膜(5a、5b)上的
压力(p),
-所述转换器具有布置在面向所述测量膜(5a、5b)的所述基体
(1a、1b、1c)的一侧上的对电极(11),特别地,对电极(11)具有
通过施加金属纳米粉末层生成的至少一个层,特别是选择性激光熔化
及随后的硬化的由钛或钽金属粉末构成的纳米粉末层,
-所述基体(1a、1b、1c)包括连接线(19),所述连接线从所
述对电极(11)延伸到位于所述基体(1a、1b、1c)的外侧表面上的连
接点(17),特别是延伸到布置在所述基体(1a、1b、1c)的外...
【专利技术属性】
技术研发人员:英·图安·塔姆,
申请(专利权)人:恩德莱斯和豪瑟尔两合公司,
类型:发明
国别省市:德国;DE
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