The utility model discloses a sandwich type flexible capacitive pressure sensor, the flexible substrate layer and metal electrode layer, a flexible dielectric layer, a metal electrode layer from the bottom are arranged; the lower metal electrode layer comprises a plurality of capacitor electrodes; the metal electrode layer includes a plurality of electrical capacitance and the capacitor electrode; includes a capacitor plate, bending curve, capacitor electrodes, between the capacitor plate and a plurality of capacitor electrodes are connected by a bending curve; the flexible substrate layer, the flexible dielectric layer adopts PDMS two polydimethylsiloxane or PI PET polyimide or polyethylene terephthalate or flexible glass or metal foil or paper. The utility model has the advantages that the device can better adapt to the changing surface structure and has wide application prospect.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种三明治式柔性电容式压力传感器,属于微电子
技术介绍
柔性电子是一门新兴的技术。在人们的印象中,有机材料,如塑料等,都是很好的绝缘体,很少有人会想到塑料也能导电。近年来,由于对导电高分子的研究有了新突破,有机材料可以从传统的绝缘体变成可导电的半导体,柔性电子(FlexibleElectronics)便应运而生。现代化学等技术的发展,促进了柔性电子这样一门学科的发展。柔性电子制造的关键包括制造工艺、基板和材料等,其核心是微纳米图案化(Micro-andNanopatterning)制造,涉及机械、材料、物理、化学、电子等多学科交叉研究。柔性电子技术是一场全新的电子技术革命,引起全世界的广泛关注并得到了迅速发展。美国《科学》杂志将有机电子技术进展列为2000年世界十大科技成果之一,与人类基因组草图、科隆技术等重大发现并列。美国科学家艾伦黑格、艾伦•马克迪尔米德和日本科学家白川英树由于他们在导电聚合物领域的开创性工作而获得2000年诺贝尔化学奖。柔性电子技术目前正处于起步阶段,又称为塑料电子(PlasticElectronics)、印刷电子(PrintedElectronics)、有机电子(OrganicElectronics)、聚合体电子(PolymerElectronics)等;而关于其定义,目前还没有统一明确的概念,可概括为将有机/无机材料电子器件制作在柔性/可延性塑料和薄金属基板上的新兴电子技术。柔性电子以其独特的柔性/延展性以及高效、低成本制造工艺,在信息、能源、医疗、国防等领域具有广泛应用前景,如柔性电子显示器、有机发光二极管 ...
【技术保护点】
一种三明治式柔性电容式压力传感器,包括:柔性基底层、下金属电极层、柔性介质层、上金属电极层,其特征在于:所述柔性基底层、下金属电极层、柔性介质层、上金属电极层从下至上依次排列;所述下金属电极层包括多个电容、电极,所述电容呈矩阵结构排列在柔性基底层顶面,所述电极呈对称结构设置在柔性基底层顶面;所述上金属电极层包括多个电容、电极,所述电容呈矩阵结构排列在柔性介质层顶面,所述电极呈对称结构设置在在柔性介质层顶面;所述电容包括:电容片、弯曲线、电容电极,所述电容片与多个电容电极之间通过弯曲线相连接;所述柔性基底层、柔性介质层均采用PDMS聚二甲基硅氧烷或PI聚酰亚胺或PET聚对苯二甲酸乙二醇酯或柔性玻璃或金属箔或试纸。
【技术特征摘要】
1.一种三明治式柔性电容式压力传感器,包括:柔性基底层、下金属电极层、柔性介质层、上金属电极层,其特征在于:所述柔性基底层、下金属电极层、柔性介质层、上金属电极层从下至上依次排列;所述下金属电极层包括多个电容、电极,所述电容呈矩阵结构排列在柔性基底层顶面,所述电极呈对称结构设置在柔性基底层顶面;所述上金属电极层包括多个电容、电极,所述电容呈矩阵结构排列在柔性介质层顶面,所述电极呈对称结构设置在在柔性介质层顶面;所述电容包括:电容片、弯曲线、电容电极,所述电容片与多个电容电极之间通过弯曲线相连接;所述柔性基底层、柔性介质层均采用PDMS聚二甲基硅氧烷或PI聚酰亚胺或PET聚对苯二甲酸乙二醇酯或柔性玻璃...
【专利技术属性】
技术研发人员:何健,郭维,楚亚春,程丁儒,
申请(专利权)人:江苏艾伦摩尔微电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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