A capacitive pressure sensor sapphire insulators fixed electrode, the existing capacitive pressure sensor ceramic insulating gas in the easy attachment, effects of vacuum, the influence of the parasitic capacitance of the edge effect and the measurement stability and other issues, including the shell, and the shell is assembled in the fixed electrode, with the electrode and the extraction electrode, dynamic pressure. The technical proposal is that the fixed electrode with sapphire as an insulator, the shell adopts matching shell matched with the sapphire insulator material, the brazing layer and the sapphire insulators are sealed together with sapphire insulators brazing sealing end of the tubular electrode leads, tubular electrodes directly connected with the conductive film concave sapphire insulators the parabolic layer. The structure design is reasonable, the fixed electrodes do not leak, do not bleed, safe and reliable use, reduce the parasitic capacitance and edge effect, improve the measurement accuracy and stability, welding and expansion stress buffer, high rate of finished products, reduce manufacturing cost.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种电容压力传感器,特别是一种以蓝宝石单晶作为定电极绝缘体的蓝宝石绝缘体定电极的电容压力传感器,它可以广泛应用于微电子、铀浓缩等需高可靠性、小微量程的高精度测量。
技术介绍
对于电容式压力传感器,特别是绝压微小量程的电容传感器,即在100kPa~10-2Pa的测量范围内,呈现优势,种类繁多。有代表性的是美国MKS公司生产的6系列电容压力传感器。以626型电容压力传感器为例,它的结构如图3、图4所示。626型电容压力传感器的原理是基于平行板电容器,它的动电极1,是用恒弹性耐腐蚀合金薄膜制作。定电极由陶瓷绝缘体10、导电薄膜层2、内电极20、绝缘膜层3、外壳柱状体11、楔尾固定环12、压簧13、引线19、外引出电极15、含钴玻璃16、绝缘子外壳17组成。定电极陶瓷绝缘体用Al2O3陶瓷制作。导电薄膜层2是在陶瓷绝缘体抛物面凹面上真空镀制的导电金属薄膜,其上同样真空镀制的覆盖整个导电膜层的绝缘膜层3。导电薄膜层2与内电极20相连,内电极20与引线19连接于外引出电极15上,组成了定电极板系统。因为定电极的陶瓷绝缘体10,与外壳柱状体11是装配式结构,因此,用楔尾固定环12尽可能将陶瓷绝缘体10固定在外壳柱状体11的中心位置,用压簧13,靠外壳盖18顶压簧,将陶瓷绝缘体10压在外壳柱状体11内。外壳盖18与外壳柱状体11在高真空下电子束焊接到一起。外壳盖18上焊有玻璃绝缘子和封有吸气剂14。玻璃绝缘子是由含钴玻璃16熔融密封的外引出电极15与绝缘子外壳17之中构成。动电极1,用轴向可拆解的卡具绷紧恒弹性耐腐蚀镍基合金薄膜后,靠外壳柱状体11与带有引 ...
【技术保护点】
一种蓝宝石绝缘体定电极的电容压力传感器,包括壳体,与壳体组装在一起的定电极、引出电极、动电极和引压口,其特征在于:所述定电极以蓝宝石作为绝缘体,采用与蓝宝石绝缘体相匹配的材料制作的匹配外壳,通过钎焊层与蓝宝石绝缘体封接在一起,蓝宝石绝缘体钎焊密封有管状引出电极,管状引出电极的端部直接与蓝宝石绝缘体凹形抛物面上的导电薄膜层相连接。
【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石绝缘体定电极的电容压力传感器,包括壳体,与壳体组装在一起的定电极、引出电极、动电极和引压口,其特征在于:所述定电极以蓝宝石作为绝缘体,采用与蓝宝石绝缘体相匹配的材料制作的匹配外壳,通过钎焊层与蓝宝石绝缘体封接在一起,蓝宝石绝缘体钎焊...
【专利技术属性】
技术研发人员:李红志,段磊,段祥华,刘爽,张晓丽,
申请(专利权)人:沈阳市传感技术研究所,
类型:发明
国别省市:辽宁;21
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