【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种传感器，尤其涉及一种溅射薄膜式孔隙水压力传感器。
技术介绍
在现在地震频发的时代，地震液化是造成地震灾害的重要原因之一。地震液化通常伴随着大规模的地面沉陷变形、地裂滑移、喷水冒砂和房屋震陷等震害现象。研宄者发现，产生上述宏观液化现象时砂土层的超孔隙水压力均等于有效覆盖压力，即超孔压比μ /σ'等于1.0o但近来的研宄表明，当孔压比小于1.0，即0.6?0.7时，土层就开始对地面运动，地裂、滑移、房屋下沉等影响，就可能出现通常所谓的液化现象。随着科学技术的飞速发展，研宄者需要对砂土层液化判别的可靠性做大量研宄，其中研宄判别的一个重要手段是采用孔隙水压力传感器测试砂土层的孔隙水压力比值。传统孔隙水压力传感器是由H圆形金属槽做为传感器弹性体，H圆形金属槽两面圆膜边缘都有台阶，其台阶一边高一边低，圆膜应变片用粘接胶粘接在H圆形弹性体台阶高的那一面的凹部表面，构成压力敏感元件，信号引线通过台阶端部上的小圆孔引致密封上盖的一个凸形小手柄上再焊接转接引出信号线，粘接密封上盖，H圆形弹性体台阶低的那一面，台阶端部粘接一个同样面积的透水膜构成。这种结构的...
【技术保护点】
一种溅射薄膜式孔隙水压力传感器，其特征在于：包括金丝引线、信号导线、弹性敏感元件和带有密封盖的圆环形薄壁筒，所述圆环形薄壁筒设置在所述弹性敏感元件的上表面，所述弹性敏感元件的下表面设置有透水圆膜，所述弹性敏感元件、所述密封盖和所述圆环薄壁筒构成密封腔体，所述密封腔体内设置有溅射金属薄膜和转接板，所述溅射金属薄膜位于所述弹性敏感元件的上表面，所述转接板位于所述溅射金属薄膜的上方，所述信号导线从所述圆环形薄壁筒的侧壁穿入所述密封腔体内，所述金丝引线的一端和所述信号导线的信号引出线一起焊接在所述转接板上，所述金丝引线的另一端焊接在所述溅射金属薄膜上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黎启胜，唐俐，胡绍全，刘伟，王小龙，时海亮，胡东平，王远，李代生，曾永菊，朱昌亚，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院总体工程研究所，
类型：发明
国别省市：四川;51
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