压电型主动控制薄膜节流器制造技术

本发明专利技术公开了一种压电型主动控制薄膜节流器，涉及静压节流技术领域。该节流器包括上阀体和下阀体，上阀体上设置有第一供油孔和第一出油孔，下阀体上设置有第二供油孔和第二出油孔，上阀体上设置有第一节流腔，第一节流腔与上阀体之间形成第一节流台，第一出油孔与第一节流腔连通，下阀体上设置有第二节流腔，第二节流腔与下阀体之间形成第二节流台，第二出油孔与第二节流腔连通，上阀体与下阀体之间设置有压电陶瓷，压电陶瓷的两个端面均设置有薄膜，压电陶瓷和薄膜将所述第一节流腔和第二节流腔分隔成两个独立的腔室。本发明专利技术能够实现对两个出油口的压力和流量的主动差动控制，并且结构简单、安装和使用方便。

Piezoelectric active control film throttling device

The invention discloses a piezoelectric active control film throttling device, relating to the technical field of static pressure throttling. The throttling device comprises an upper body and a lower valve body on the valve body is provided with a first oil hole and the first oil hole is arranged on the valve body under second oil holes and second oil holes on the valve body is provided with a first throttle cavity between the first throttling cavity and the valve body form the first throttle, the first oil hole with the first throttle chamber, the lower valve body is provided with second throttling cavity, second stage throttling throttling cavity is formed between the second and second under the body, an oil hole is communicated with the second throttling cavity, a piezoelectric ceramic is arranged between the upper body and the lower valve body, two end faces are provided with piezoelectric ceramic film, piezoelectric ceramics and the film will be the first throttle cavity and second throttling cavity into two independent chambers. The invention can realize the active differential control of the pressure and the flow of the two oil outlets, and has the advantages of simple structure, convenient installation and use.

【技术实现步骤摘要】
压电型主动控制薄膜节流器
本专利技术涉及精密机械中的静压节流
，具体涉及一种压电型主动控制薄膜节流器。
技术介绍
静压技术在精密机械中具有广泛应用，静压导轨、静压轴承、静压丝杠等静压设备是典型应用实例，这些静压设备中主要通过补偿元件来调节支撑中各油垫的油腔压力，使油膜具有一定的刚度，以适应负载的变化。目前静压设备的供油方式主要通过在各个油垫前加节流器来保持恒定压力供油。节流器是这些静压设备中的关键部件，其性能对这些静压设备具有重要影响。其中，薄膜节流器是应用最广泛的一种。现有的薄膜节流器的结构主要有两种：一种为双油腔差动双输出形式，可用于静压轴承的对置油腔，提高主轴稳定性和承载能力；另一种为带反馈油腔的单输出形式，可提高出口压力和流量的稳定性。但是以上两种类型的薄膜节流器均不能主动控制节流器出口的压力和流量。此外，申请号为“201510979084.2”的专利技术专利申请公开了一种能够主动控制的单面薄膜伺服阀，该伺服阀通过使用压电陶瓷驱动器，能够精确控制节流间隙，实现压力和流量的精确主动控制。但是该伺服阀只能实现对单一出口的压力和流量控制。申请号为“201510992281.8本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电型主动控制薄膜节流器，包括上阀体和下阀体，所述上阀体上设置有第一供油孔和第一出油孔，所述下阀体上设置有第二供油孔和第二出油孔，其特征在于，所述上阀体上设置有第一节流腔，所述第一节流腔与上阀体之间形成第一节流台，所述第一出油孔与第一节流腔连通，所述下阀体上设置有第二节流腔，所述第二节流腔与下阀体之间形成第二节流台，所述第二出油孔与第二节流腔连通，所述上阀体与下阀体之间设置有压电陶瓷，所述压电陶瓷的两个端面均设置有薄膜，所述压电陶瓷和薄膜将所述第一节流腔和第二节流腔分隔成两个独立的腔室。

【技术特征摘要】
1.一种压电型主动控制薄膜节流器，包括上阀体和下阀体，所述上阀体上设置有第一供油孔和第一出油孔，所述下阀体上设置有第二供油孔和第二出油孔，其特征在于，所述上阀体上设置有第一节流腔，所述第一节流腔与上阀体之间形成第一节流台，所述第一出油孔与第一节流腔连通，所述下阀体上设置有第二节流腔，所述第二节流腔与下阀体之间形成第二节流台，所述第二出油孔与第二节流腔连通，所述上阀体与下阀体之间设置有压电陶瓷，所述压电陶瓷的两个端面均设置有薄膜，所述压电陶瓷和薄膜将所述第一节流腔和第二节流腔分隔成两个独立的腔室。2.根据权利要求1所述的压电型主动控制薄膜节流器，其特征在于，所述压电陶瓷与上阀体以及压电陶瓷与下阀体之间均设置有垫片。3.根据权利要求2所述的压电型主动控制薄膜节流器，其特征在于，所述垫片为铜箔。4.根据权利要求3所述的压电型主动控制薄...

【专利技术属性】
技术研发人员：李春玲，路长厚，
申请(专利权)人：山东大学，
类型：发明
国别省市：山东,37