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本发明公开了一种溅射薄膜式孔隙水压力传感器,包括金丝引线、信号导线、弹性敏感元件和带有密封盖的圆环形薄壁筒,圆环形薄壁筒设置在弹性敏感元件的上表面,弹性敏感元件的下表面设置有透水圆膜,弹性敏感元件、密封盖和圆环薄壁筒构成密封腔体,密封腔体内...该专利属于中国工程物理研究院总体工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院总体工程研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种溅射薄膜式孔隙水压力传感器,包括金丝引线、信号导线、弹性敏感元件和带有密封盖的圆环形薄壁筒,圆环形薄壁筒设置在弹性敏感元件的上表面,弹性敏感元件的下表面设置有透水圆膜,弹性敏感元件、密封盖和圆环薄壁筒构成密封腔体,密封腔体内...