硅片载体使用的挂具制造技术

本发明专利技术提供了一种硅片载体使用的挂具，包括由两个支臂和连接两个支臂的支撑部形成的Ｕ型框体，在所述每个支臂远离支撑部的位置，设置有朝向Ｕ形开口外侧方向的作为紧固头用的凸起部。使用本发明专利技术，可以使挂具安装到硅片载体时，紧固头受力使支臂弯曲，使得安装会更为精确便捷。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及硅片
，是指硅片生产中在等离子真空镀膜设 备中的硅片载体使用的挂具。
技术介绍
在太阳能电池和半导体的硅片生产中，需要在硅片上沉积氮化 硅。沉积氮化硅的工艺是将硅片盛入硅片载体上，再将硅片载体放入 等离子真空镀膜设备内，再通入反应气体在真空高温中进行。各个硅片盛入硅片载体的各个孔位(如36孔，25孔)时，首先 需要将挂具安装到硅片载体的框架上以支撑各个硅片。挂具包括挂钩和挡片两种，挂钩包括钩尖，每个硅片载体孔位通过多个挂钩的钩尖 用来支撑硅片，挡片用来定位硅片位置。如图l示出了目前的挂具， 包括两个支臂和连接两个支臂的支撑部，支臂与支撑部形成U型的框 体，框体下方可具有挂钩部件形成图1 (a)或(b)所示的挂钩，或 具有挡片部件形成图l (c)或d所示的档片。在安装挂具时，将挂具U型开口垂直方向向上放置，套入硅片载 体的框架，然后使用尖嘴钳夹紧挂具两个支臂的顶端，使得之支臂向 U型开口内弯曲，从而使挂具固定在硅片载体的框架上。挂具安装的精度影响到硅片能否盛入，是否会掉片，并直接影响 氮化硅的镀膜质量。因此，需要挂具安装精确，牢固，尤其挂钩的各 个钩尖要在一个平面上。但是，由于夹紧挂具之支臂时，尖嘴钳所施 力的挂具支臂的位置是靠手工确认，因此难免出现不同的桂具之支臂 所施力位置不同，使得各个挂具安装不正，钩尖不在一个平面上。另一方面，为了确保安装的精度，对操作人员的要求比较高，使 得挂具的安装过程比较耗时、耗力。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的主要目的在于提供一种硅片载体上所使用的 挂具，以使挂具安装到硅片载体时，安装位置更为精确、更为快捷。 本专利技术提供的硅片载体使用的挂具，包括由两个支臂和连接两个支臂的支撑部形成的u型框体，在所述每个支臂远离支撑部的位置， 设置有朝向u形开口外侧方向的作为紧固头的凸起部。其中，所述支臂远离支撑部的位置为支臂远离支撑部的顶端位置。较佳的，在所述支臂凸起部与支撑部之间，与凸起部具有一定距 离的位置，设置有豁口。可选的，所述害谷口设置在支臂朝向u形开口外侧方向。可选的，所述豁口i殳置在支臂朝向U形开口内侧方向。 所述挂具可以是在背向U型开口方向还连有挂钩部的挂钩或者有 挡片部的挡片。由上可以看出，本专利技术挂具的支臂具有作为紧固头的凸起部，安 装挂具时，由于挂具支臂的凸起部与尖嘴钳接触受力，且所有挂具支 臂的凸起部在相同的位置，因此，由于受力位置相同，支臂向U型开 口内侧弯曲的位置也基本相同，这样可以使各个桂具安装，挂钩的下 端的钩子的高度基本相同，使所有钩尖平整位于一个平面上。可见， 本专利技术提高了挂具安装的精确性，提高了挂具安装质量。并且，所述凸起部可以设置在支臂顶端位置，从而可以在使用尖 嘴钳夹紧凸起部时，可以使用较小的力量施力或使尖嘴钳钳口相对移 动较小的距离，就可以使得U型开口的两个支臂向内弯曲到预定形 状。并且，在挂具支臂上还可以设置豁口 ，设置豁口后，当两支臂受 力向内弯曲时，会首先在该豁口位置进行弯曲，这样可以使各个挂具 弯曲的位置更精确，从而使各个挂具的钩尖更精确的基本位于 一 个平 面上。由上可以看出，由于安装过程中不用像
技术介绍
那样再靠经验去 确认所要夹紧的挂具支臂的施力位置，因此使得安装过程更为方便， 更为快捷，大大地缩短了安装时间，经过比较，使用本专利技术时，安装一个36孔硅片载体只需一个人1小时，而使用
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中描述的挂 具安装时，不仅需要复杂的安装工具，且安装一个36孔硅片载体要 二个人半天时间。附图说明图l为目前挂具的示意图；其中，(a)为双挂钩的挂具，(b) 为单挂钩的挂具，(c)为双挡片的挂具，(d)为单挡片的挂具；图2为支臂顶端设置有作为紧固头的凸起部的挂具示意图，其中， (a)为双挂钩的挂具，(b)为单挂钩的挂具，(c)为双挡片的挂 具，(d)为单挡片的挂具；图3为支臂上设置豁口的挂具示意图；其中，(a)为豁口朝向U 型开口外侧的挂具，(b)为窖谷口朝向U型开口内侧的挂具；图4为本专利技术挂具安装到硅片载体上的示意图；其中，(a)为挂 具安装在硅片载体示意图；(b)为(a)图中的局部放大图的截面示 意图。具体实施例方式如图2示出了本专利技术的挂具。其中，本专利技术挂具包括框体，框体 上包括两个支臂1和连接两个支臂的支撑部2，支臂1与支撑部2将 框体形成U型。在每个支臂1远离支撑部2的位置，设置有朝向U 形开口外侧方向的凸起部3。其中，如图2所示，将凸起部3设置在支臂1远离支撑部的顶端 位置，当凸起部3设置在支臂1顶端位置时，在使用尖嘴钳夹紧凸起 部3时，可以使用较小的力量施力，使得U型开口的两个支臂1向U 型开口内弯曲到预定形状。另外，如图3所示，在所述支臂1的凸起部3与支撑部2之间，与凸起部3具有一定距离的位置还可以i殳置豁口 6。其中，该害谷口 6 的作用是用来实现支臂1弯曲时的定位，设置豁口6后，当两支臂l 受力向内弯曲时，会首先在豁口 6位置进行弯曲，这样可以使各个挂 具更精确的固定在硅片载体上。需要说明的是，豁口 6的位置应当保 证挂具安装到硅片载体后该豁口 6与支撑部2的距离与硅片载体框架 的厚度一致。其中，支臂1上所述的豁口可以如图3-a所示设置在支臂1朝向 U形开口外侧方向。豁口6可以是线性、三角形。或者，支臂l上所 述豁口 6也可以如图3-b所示设置在支臂l的面向U形开口内侧方向， 当朝向内侧时，豁口 6的开口角度最好为不小于90度，以使支臂1 能够较大角度的弯曲。另外，上面仅针对挂具框体进行了描述，在U型框体背向U型开 口方向还可连接有挂钩部件4,从而使本专利技术挂具形成挂钩作用。如 图2-a和图2-b分别示出了具有双挂钩和单挂钩的挂具。或者，在U 型框体背向U型开口方向连接有挡片部件5,从而使本专利技术挂具形成 挡片作用。如图2-c和图2-d分别示出了具有双挡片和单挡片的挂具。 不难理解，才艮据需要，也可以在U型框体背向U型开口方向连接一 挂钩部件4和一挡片部件5，此处不再赘述。如图4所示挂具安装到硅片载体上的示意图，当进行挂具安装时， 将挂具的U型开口朝向硅片载体框体插入，使硅片载体框体位于U 型开口内，然后针对挂具的两个支臂，用尖嘴钳夹紧挂具支臂上的凸 起部，尖嘴钳通过凸起部向两个支臂施力，使两个支臂向U型开口内 弯曲，固定在硅片载体上。当尖嘴钳进行夹紧时，尖嘴钳仅与所述支臂凸起部相接触，仅会 向凸起部施力，由凸起部作为受力点，将挂具两支臂向U型开口内弯 曲。由于各个挂具受力点统一，因此安装位置会统一。不仅如此，又 由于支臂上设置有豁口 ，因此U型支臂弯曲时会首先从所述豁口位置 进行弯曲，从而，使得各个挂具安装的位置准确，更加统一整齐。可见，由于安装过程中尖嘴钳仅与凸起部相接触，因此不用像
技术介绍
那样再靠经验去确认所要夹紧挂具的位置，使得安装过程更为 方便，更为快捷，大大地缩短了安装时间。另一方面，由于所有挂具凸起部位置相同、豁口位置相同，因此， U型开口向内弯曲的位置也相同，这样可以使各个挂具下端的挂钩的 钩子的高度相同，挂具安装端正，使所有钩尖平整位于一个平面上。 可见，本专利技术提高了桂具安装的精确性。以上所述仅为本专利技术的较佳实施例而已，并不用以限制本专利技术， 凡在本专利技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片载体使用的挂具，包括由两个支臂（１）和连接两个支臂（１）的支撑部（２）形成的具有Ｕ型开口的框体，其特征在于，在所述每个支臂（１）远离支撑部（２）的位置，设置有朝向Ｕ形开口外侧方向的凸起部（３）。

【技术特征摘要】
1、一种硅片载体使用的挂具，包括由两个支臂(1)和连接两个支臂(1)的支撑部(2)形成的具有U型开口的框体，其特征在于，在所述每个支臂(1)远离支撑部(2)的位置，设置有朝向U形开口外侧方向的凸起部(3)。2、 根据权利要求1所述的挂具，其特征在于，所述支臂(1 )远 离支撑部(2)的位置为支臂(1 )远离支撑部(2)的顶端位置。3、 根据权利要求1或2所述的挂具，其特征在于，在凸起部(3 ) 与支撑(2)部之间的支臂(1)上，距离凸起...

【专利技术属性】
技术研发人员：尤耀明，
申请(专利权)人：尤耀明，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]