模块化设计多用途晶体生长系统技术方案

技术编号:4172331 阅读:224 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种模块化多用途晶体生长系统,涉及晶体生长,其特征在于:包括提拉机构,生长机构、下拉机构和真空装置,提拉机构安装在生长机构的上端,在生长机构的一侧和真空装置相连通,底端通过下水冷杆和下拉机构相连,在生长机构中通过和提拉机构、下拉机构的连接实现提拉法、温度梯度法(TGT)、热交换法(HEM)、熔盐法、泡生法(Kyropoulos)和坩埚下降法生产晶体,并可以实现顶部籽晶温度梯度法(TSTGT)生产晶体。有益效果是通过调节梯度来调节温场,可以方便的得到不同晶体生长所需要的高温和温度分布,从而提高了研发和生产的效率,使晶体尺寸和质量得到提高,提高设备的利用率。

Modular design; multipurpose crystal growth system

A modular multi-purpose crystal growth system, relates to crystal growth, which is characterized by comprising the pulling mechanism, growth mechanism, pull-down mechanism and vacuum device, the upper end of the pulling mechanism installed on the growth mechanism of the side and the vacuum device in the growth mechanism is communicated through the cold water, the bottom rod and the pull-down mechanism is in the growth mechanism and the lifting mechanism, the connection between the pull-down mechanism of Czochralski method, temperature gradient method (TGT), heat exchange method (HEM), molten salt method, kyropoulos method (Kyropoulos) and Bridgman crystal production method, and can realize the top seed temperature gradient method (TSTGT) crystal production. The beneficial effect is by adjusting the gradient to adjust the temperature, can be conveniently obtained by different crystal temperature and the temperature distribution is needed for growth, so as to improve the efficiency of research and development and production, the crystal size and improve the quality, improve the utilization rate of equipment.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及涉及晶体生长,特别是一种全新的模块化多用途晶体生长系统。
技术介绍
随着光通讯、激光工业和LED产业的发展、需要的各种光功能晶体材料的质量和尺寸越来越大。生长大尺寸高质量的光功能晶体尤其是高温氧化物晶体存在着技术难题,不同晶体材料需要不同的工艺和不同的设备,其中比较突出的是如何控制好温度梯度和工艺设备的特殊性的问题。
技术实现思路
本专利技术所解决的技术问题在于提供一种解决大尺寸高温氧化物晶体的研发和生长困难问题,通过强大的可调节设计来调节温场,方便的得到不同晶体生长所需要的高温和温度分布,从而提高了研发和生产的效率,使晶体尺寸和质量得到提高,提高设备的利用率的模块化多用途晶体生长系统。 本专利技术所解决的技术问题采用以下技术方案来实现 —种模块化多用途晶体生长系统,其特征在于包括提拉机构,生长机构、下拉机构和真空装置,提拉机构安装在生长机构的上端,在生长机构的一侧和真空装置相连通,底端通过下水冷杆和下拉机构相连,在生长机构中通过和提拉机构、下拉机构的连接实现提拉法、温度梯度法(TGT)、热交换法(HEM)、熔盐法、泡生法(Kyropoulos)和坩埚下降法生产晶体,并本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种模块化多用途晶体生长系统,其特征在于:包括提拉机构,生长机构、下拉机构和真空装置,提拉机构安装在生长机构的上端,在生长机构的一侧和真空装置相连通,底端通过下水冷杆和下拉机构相连,在生长机构中通过和提拉机构、下拉机构的连接实现提拉法、温度梯度法、热交换法、熔盐法、泡生法和坩埚下降法生产晶体,并可以实现顶部籽晶温度梯度法生产晶体。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:黄小卫
申请(专利权)人:上海元亮光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]

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