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模块化设计多用途晶体生长系统技术方案
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文档序号:4172331
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一种模块化多用途晶体生长系统,涉及晶体生长,其特征在于:包括提拉机构,生长机构、下拉机构和真空装置,提拉机构安装在生长机构的上端,在生长机构的一侧和真空装置相连通,底端通过下水冷杆和下拉机构相连,在生长机构中通过和提拉机构、下拉机构的连接实...
该专利属于上海元亮光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海元亮光电科技有限公司授权不得商用。
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