【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种副炉开门式单晶炉。
技术介绍
现有单晶炉副炉结构多为炮筒式结构，无法彻底除尘，必须上升副炉并旋转副炉才能取出单晶棒，操作空间较大，不便操作，也不方便中途掺杂及二次投料；主、副炉隔离装 置多为翻盖式隔离装置，所以必须加大炉体高度，致使炉体占用空间较大，不便操作；现有 单晶炉主炉冷却夹层结构简单，其内部各部分冷却液温度高低分布不均，对冷却效果有较 大影响，影响设备使用寿命；同时，当生产过程中炉压过大，容易使炉内气体喷射出来，导致 危险发生，现有单晶炉无安全防护措施或安全防护措施过于简单，所以完善安全防护装置 极为重要。
技术实现思路
本专利技术提供一种副炉开门式单晶炉，其方便了生产过程中的取晶、副炉清理、中途 掺杂及二次投料，降低炉体高度，提高主副炉隔离性能，改善了冷却效果，进一步完善防护 措施，确保了安全生产。本专利技术是通过如下技术方案来实现的一种副炉开门式单晶炉，其炉体从上至下 的主要部件依次为储存仓、副炉、炉盖、主炉、炉底板，其特征在于副炉的正面设有副炉 开门装置，副炉的下端设有旋转式隔离阀装置，炉盖与主炉的连接处设有防护挡板，主炉冷 却夹层...
【技术保护点】
一种副炉开门式单晶炉，其炉体从上至下的主要部件依次为：储存仓、副炉、炉盖、主炉、炉底板，其特征在于：副炉的正面设有副炉开门装置，副炉的下端设有旋转式隔离阀装置，炉盖与主炉的连接处设有防护板，主炉冷却夹层内设有由下至上环绕主炉并以螺旋形式分布的螺旋式水道，与主炉下部连接的两只真空管的端面分别设有两只相同的防爆阀门。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：许月明，汪益龙，周岱忠，李晓荣，
申请(专利权)人：杭州富通半导体设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：33[中国|浙江]
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