【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种半导体行业太阳能硅单晶炉的冷却水系统。在公知的主水冷系统中，加装冷却水应急接口，以保护冷却系统故障时仍能保护单晶炉。
技术介绍
目前公知的太阳能硅单晶炉，其主冷却系统在故障时，单晶炉将受热并损坏，加装冷却水应急接口可保护单晶炉的安全。
技术实现思路
为了克服主水冷系统故障时单晶炉受热并损坏的问题，本技术设计提供了一种太阳能硅单晶炉的冷却水系统，该系统在主冷却水系统故障时仍能保护硅单晶炉，使其不受损伤。本技术所采用的技术方案是在已有的主冷却水系统进水管上，加装冷却水应急接口，当主冷却水系统因故障断水时，打开此应急接口，可输入自来水等备用水源。有益效果是由于可通过冷却水应急接口供应自来水等备用冷却水，可保持对单晶炉的冷却，单晶炉不会被烧毁。附图说明附图是本技术的实施原理图图中1.单晶炉 2.公知的主冷却水系统管路3.加装的冷却水应急接口权利要求1.一种太阳能硅单晶炉的冷却水系统，其特征在于在主冷却水系统中，装入冷却水应急接口。专利摘要一种太阳能硅单晶炉的冷却水系统，它在主冷却水系统上加装冷却水应急接口，在主冷却水系统故障中断供水时，通过应急接口供应自来水等备用冷却水，防止单晶炉烧毁。文档编号C30B35/00GK2890099SQ20052012946公开日2007年4月18日 申请日期2005年10月21日 优先权日2005年10月21日专利技术者李润源, 周世增 申请人:北京京仪世纪自动化设备有限公司
【技术保护点】
一种太阳能硅单晶炉的冷却水系统，其特征在于：在主冷却水系统中，装入冷却水应急接口。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李润源，周世增，
申请(专利权)人：北京京仪世纪自动化设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]
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