用于硅单晶炉的坩埚轴传动部件制造技术

本实用新型专利技术涉及一种用于硅单晶炉的坩埚轴传动部件，它用装在下传动导轨柱上的两组滚动导轨及４个滑块连接滑板，使坩埚轴做升降运动；它用装在部件底部的三组锲铁组件调整坩埚轴旋转中心对炉底盘中心孔的同轴和对炉底盘上平面（水平面）的垂直。这种传动部件传动精度高，刚度好，坩埚轴旋转中心对炉底盘的相互位置精度高，调整简单，方便。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于硅单晶炉的坩埚轴传动部件，其特征在于：用２组滚动导轨副及４个滑块联结滑板，坩埚轴装在滑板上，部件底部装有３组锲铁组件。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李润源，周世增，
申请(专利权)人：北京京仪世纪自动化设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]