【技术实现步骤摘要】
本技术涉及升降机构，特别是一种高精确度坩埚轴升降驱动装置。
技术介绍
目前，公知的坩埚轴升降驱动装置构造是由坩埚杆、密封圈、滑座、大速比谐波减速器、滚珠丝杠、永磁直流电机组成。由永磁直流电机带动大速比谐波减速器，使滚珠丝杠在超慢速的转动来带动滑座的上下移动，坩埚杆上套有密封圈与滑座相互连接，从而使坩埚杆随着滑块一起上下移动。一般降驱动装置在超慢速的情况下作上下的升降运动，因为坩埚杆上套有密封圈，所以坩埚杆在作上下运动是能难克服蠕动的缺点，从而影响拉晶过程中对坩埚杆的精密操控性，就会对产品质量产生波动。随着直拉单晶硅向大直径趋势发展，人们对坩埚杆的操控性精密程度要求越来越高，老式坩埚杆升降驱动装置将无法保证其质量。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种高精确度坩埚轴升降驱动装置，克服现有的坩埚轴升降驱动装置不能有效的保证生产操控稳定性及精确度不够精确不足，不仅能克服了升降过程中蠕动或爬行的现象，而且在操作的稳定性和便捷程度都有了改进。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是在升降驱动装置中，坩埚杆、密封圈、大直径油缸、流量调节器、液压站、交流伺服电机和流量控制单元连接，设...
【技术保护点】
一种高精确度坩埚轴升降驱动装置，其特征在于：在升降驱动装置中，坩埚杆、密封圈、大直径油缸、流量调节器、液压站、交流饲服电机和流量控制单元连接，设置将坩埚杆作升降工作，在通过坩埚杆上套有密封圈与大直径油缸连接后，启动伺服电机使液压站运转，通过流量控制单元对流量调节阀进行微调，用户可以根据需要的速度范围内任意设定流量数值，流量通过控制单元可以自动跟踪速度波动，并能自行调整流量，从而稳定对坩埚杆控制。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周宁，周建国，
申请(专利权)人：周宁，周建国，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]
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