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本实用新型涉及一种用于硅单晶炉的坩埚轴传动部件，它用装在下传动导轨柱上的两组滚动导轨及４个滑块连接滑板，使坩埚轴做升降运动；它用装在部件底部的三组锲铁组件调整坩埚轴旋转中心对炉底盘中心孔的同轴和对炉底盘上平面（水平面）的垂直。这种传动部件传...
该专利属于北京京仪世纪自动化设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京仪世纪自动化设备有限公司授权不得商用。

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