【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种开门式单晶炉配套使用的取棒车。
技术介绍
单晶炉的取棒过程以人工取棒方式为主,而单晶硅棒生产完毕后,其温度极高,采用人工方式危险系数较高,容易发生烫伤事故以及造成单晶硅棒的跌落,影响产品质量,而 且人工取棒方式精确度较低,单晶硅棒容易摆动,造成籽晶的断裂,同样会产生质量事故, 目前还没有一个较好的办法解决开门式单晶炉取棒过程中的这些问题。
技术实现思路
本专利技术提供一种开门式单晶炉取棒车,其避免了由于人工取棒所造成的烫伤事 故,保证了产品质量,大大提高取棒的操作精确性,提高生产效率。本专利技术是通过如下技术方案来实现的一种开门式单晶炉取棒车,它有一个车架, 车架底部设有带刹万向轮和定向轮,其主要技术特征是所述的车架上设有升降系统和水平 伸缩夹紧系统车架上端连接有扶手;升降系统包括上升踏板、下降踏板、油泵组件、油箱、 液压缸、顶杆、升降导杆、导杆支架、导杆限位板、抱箍和拉杆,其中油箱在车架上部,油泵组 件在车架下部,液压缸在定向轮上方并与车架连接,液压缸上套有抱箍,抱箍通过拉杆与机 架连接,顶杆为液压缸的一部份,油泵组件通过油管与油箱连接,其前部 ...
【技术保护点】
一种开门式单晶炉取棒车,它有一个车架,车架底部设有带刹万向轮和定向轮,其特征在于所述的车架上设有升降系统和水平伸缩夹紧系统:车架上端连接有扶手;升降系统包括上升踏板、下降踏板、油泵组件、油箱、液压缸、顶杆、升降导杆、导杆支架、导杆限位板、抱箍和拉杆,其中油箱在车架上部,油泵组件在车架下部,液压缸在定向轮上方并与车架连接,液压缸上套有抱箍,抱箍通过拉杆与机架连接,顶杆为液压缸的一部份,油泵组件通过油管与油箱连接,其前部有油泵组件进出油口,液压缸下部设有液压缸进出油口,导杆限位板与抱箍连接;水平伸缩夹紧系统包括伸缩手轮、伸缩丝杆、导向筒、伸缩臂、夹紧丝杆、夹紧手轮、锁紧销、压紧 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:许月明,汪益龙,周岱忠,李晓荣,
申请(专利权)人:杭州富通半导体设备科技有限公司,
类型:发明
国别省市:33[中国|浙江]
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