【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种晶片级微器件的封装方法,其特征在于,包括:在第一硅晶片的顶面上制备微器件;在所述第一硅晶片的顶面上沉积第一遮蔽碳膜层,覆盖所述微器件;通过所述第一遮蔽碳膜层来支撑所述第一硅晶片的顶面,由此从所述第一硅晶片的底面来完成晶片背面制备工艺;通过与碳进行选择性气体反应将所述第一遮蔽碳膜层移除;将封装晶片封装在所述第一硅晶片的顶面。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:河H黄,
申请(专利权)人:江苏丽恒电子有限公司,
类型:发明
国别省市:32[中国|江苏]
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