光调制器像素单元及其制作方法技术

本发明专利技术提供了一种光调制器像素单元，包括底部电极、可动电极、顶部电极，在控制电路控制下，所述可动电极的位置会发生偏移，分别位于第一位置、第二位置和第三位置，当可动电极位于第一位置时，入射至光调制器像素单元的第一光线的经由顶部电极反射的光线与透过顶部电极的由可动电极反射的并再透过顶部电极的光线发生相消干涉；可动电极位于第二位置和第三位置分别对第二光线和第三光线进行调制原理与可动电极位于第一位置对第一光线的调制原理相同。所述第一光线、第二光线、第三光线分别为三种特定波长范围的单色光。本发明专利技术的光调制器像素单元能够分时控制三种特定波长的单色光，实现色彩控制和灰度控制，适用于投影显示以及平板系统。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光调制器，特别涉及应用于微显示系统的。
技术介绍
在投影系统中，关键的组成部件是光调制器。现有的光调制器包括微机电部件 (Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS)，所述光调制器通过控制施加于微机电部件上的电信号，控制微机电部件进行移动，利用微机电部件的移动对入射光调制器的光线进行调制，输出具有一定灰度的光线。通常光调制器包括多个呈矩阵排布的像素单元，现有的光调制器像素单元有两种利用光的反射原理的数字镜面器(digital mirror device, DMD)和利用光的衍射原理的光栅光阀(grating light valve, GLV) 0其中数字镜面器单个像素的能耗大，特别是在应用于高分辨率的微显示系统时，整体能耗大；而光栅光阀的单个像素的能耗小，整体能耗较小，且由于光栅光阀具有模拟灰度好、光学效率高、调制速度快等优点，成为目前的主流技术。在国际申请号为PCT/US2002/009602 2002. 3. 27的国际申请中公开了一种现有技术的光调制器像素单元，所述光调制器像素单元采用光栅光阀。请参考图1，光栅光阀 100包括半本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种光调制器像素单元，其特征在于，包括：衬底；底部电极，位于所述衬底上，所述底部电极与控制电路的第一控制端电连接；顶部电极，位于所述衬底上，所述顶部电极与控制电路的第三控制端电连接，所述顶部电极为半透光的金属薄膜；可动电极，位于所述底部至光调制器像素单元的第三光线的经由顶部电极反射的光线与透过顶部电极的由可动电极反射的并再透过顶部电极的光线的发生相消干涉；所述第一光线、第二光线、第三光线为三基色光线。部电极的由可动电极反射的并再透过顶部电极的光线发生相消干涉；当可动电极位于第二位置时，入射至光调制器像素单元的第二光线的经由顶部电极反射的光线与透过顶部电极的由可动电极反射的并再透过顶部电极的...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：毛剑宏，唐德明，韩凤芹，
申请(专利权)人：江苏丽恒电子有限公司，
类型：发明
国别省市：32