【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于获取特定波长的光的滤光器元件、滤光器模块及分析设备。
技术介绍
现有技术中已知有从多个波长的光中提取特定波长的光的可变波长干涉滤光器 (滤光器元件)(例如参见专利文献1)。该专利文献1所述的可变波长干涉滤光器包括第一结构体以及与第一结构体相对的第二结构体。第二结构体上形成有呈板状且能向其厚度方向位移的可动部。而且，第一结构体与可动部相对的区域上具有第一反射膜以及形成在第一反射膜的外周侧的第一驱动电极。第二结构体的可动部上具有与第一反射膜相对的第二反射膜以及与第一驱动电极相对的第二驱动电极。而且，第一结构体上形成有从第一驱动电极的外周边缘向径向外侧延伸的一个引出电极，第二结构体上形成有从第二驱动电极的外周边缘向径向外侧延伸的一个引出电极。该可变波长干涉滤光器通过向连接于第一驱动电极和第二驱动电极的各引出电极施加电压，使可动部在静电引力的作用下向第一结构体侧位移，从而改变第一反射膜与第二反射膜之间的间隙尺寸。由此，从入射到可变波长干涉滤光器上的光中提取出与间隙尺寸相对应的波长的光。专利文献1 日本特开2008-116669号公报然而，上述专利文...
【技术保护点】
１．一种滤光器元件，其特征在于，具备：第一基板；与所述第一基板相对的第二基板；设置在所述第一基板上的第一反射膜；设置在所述第二基板上并与所述第一反射膜相对的第二反射膜；设置在所述第一基板上的第一电极；设置在所述第二基板上并与所述第一电极相对的第二电极；设置在所述第一基板上并与所述第一电极连接的一对第一引出电极；以及设置在所述第二基板上并与所述第二电极连接的一对第二引出电极。
【技术特征摘要】
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