滤光器元件、滤光器模块及分析设备制造技术

本发明专利技术提供了一种滤光器元件、滤光器模块及分析设备。该滤光器元件具有设置在第一基板上的第一电极、设置在第二基板上并与上述第一基板相对的第二电极、与上述第一电极连接的一对第一引出电极以及设置在上述第二基板上并与上述第二电极连接的一对第二引出电极。

【技术实现步骤摘要】
本申请是申请日为2011年4月19日、申请号为201110098336.2、发明名称为“滤光器元件、滤光器模块及分析设备”的案件的分案申请。
本专利技术涉及用于获取特定波长的光的滤光器元件、滤光器模块及分析设备。
技术介绍
现有技术中已知有从多个波长的光中提取特定波长的光的可变波长干涉滤光器(滤光器元件)(例如参见专利文献1)。该专利文献1所述的可变波长干涉滤光器包括第一结构体以及与第一结构体相对的第二结构体。第二结构体上形成有呈板状且能向其厚度方向位移的可动部。而且，第一结构体与可动部相对的区域上具有第一反射膜以及形成在第一反射膜的外周侧的第一驱动电极。第二结构体的可动部上具有与第一反射膜相对的第二反射膜以及与第一驱动电极相对的第二驱动电极。而且，第一结构体上形成有从第一驱动电极的外周边缘向径向外侧延伸的一个引出电极，第二结构体上形成有从第二驱动电极的外周边缘向径向外侧延伸的一个引出电极。该可变波长干涉滤光器通过向连接于第一驱动电极和第二驱动电极的各引出电极施加电压，使可动部在静电引力的作用下向第一结构体侧位移，从而改变第一反射膜与第二反射膜之间的间隙尺寸。由此，从入射到可变波长干涉滤光器上的光中提取出与间隙尺寸相对应的波长的光。专利文献1：日本特开2008-116669号公报然而，上述专利文献1所述的可变波长干涉滤光器中，仅仅分别设置了一个用于向第一驱动电极施加电压的引出电极和一个用于向第二驱动电极施加电压的引出电极。这里，可变波长干涉滤光器中的第一反射膜与第二反射膜的间隙尺寸非常小，例如被形成为能在200nm～500nm左右的范围内进行位移。在该狭窄的区域内形成驱动电极时，驱动电极的厚度尺寸也必须很小，而形成厚度尺寸与驱动电极相同的引出电极时，引出电极的电阻增大，从而功耗增大，或存在可能发生断线等布线可靠性问题。
技术实现思路
鉴于上述问题，本专利技术的目的在于提供一种能够降低功耗且布线可靠性高的滤光器元件、滤光器模块及分析设备。本专利技术的滤光器元件具备：第一基板；与上述第一基板相对的第二基板；设置在上述第一基板上的第一反射膜；设置在上述第二基板上并与上述第一反射膜相对的第二反射膜；设置在上述第一基板上的第一电极；设置在上述第二基板上并与上述第一电极相对的第二电极；设置在上述第一基板上并与上述第一电极连接的一对第一引出电极；以及设置在上述第二基板上并与上述第二电极连接的一对第二引出电极。在该专利技术中，滤光器元件的第一电极与一对第一引出电极，第二电极与一对第二引出电极连接。因此，可以通过一对第一引出电极向第一电极施加驱动电压，并且可以通过一对第二引出电极向第二电极施加电压。该结构与仅一个引出电极与第一电极或第二电极连接的情况相比能够在整体上降低电阻。因此，在使静电引力作用于第一电极与第二电极之间以改变第一反射膜与第二反射膜之间的间隙尺寸时，可以以更小的驱动电压来改变间隙尺寸，从而更省电。而且，即使一对第一引出电极中的一个或一对第二引出电极中的一个引出电极发生断线，只要另一个第一引出电极或另一个第二引出电极不断线，就能向第一电极和第二电极施加电压，提高了布线可靠性。在本专利技术的滤光器元件中，优选在从厚度方向观察上述第一基板和上述第二基板的俯视图中，上述第一引出电极和上述第二引出电极设置在互不重叠的位置上。在该专利技术中，第一引出电极和第二引出电极设置在不相重叠的位置上。也就是说，如果在俯视时第一引出电极和第二引出电极设置在重叠的位置上，则在该第一引出电极与第二引出电极之间可能会作用有静电引力，导致第一反射膜与第二反射膜之间的间隙尺寸不均匀，无法维持平行。而且，由于绝缘击穿等可能会使基板之间产生漏电流，导致无法调整第一反射膜与第二反射膜之间的间隙尺寸或间隙调整所需的时间变长等问题。对此，如本专利技术中所述，通过将第一引出电极和第二引出电极设置在俯视时不相重叠的位置，不会产生上述那样的漏电流以及第一引出电极与第二引出电极之间的静电引力，可以稳定地驱动滤光器元件。这里，在本专利技术的滤光器元件中，优选上述第一基板和上述第二基板形成为矩形，上述一对第一引出电极分别设置在上述第一基板的对角线上且相对于基板中心呈点对称的位置上，上述一对第二引出电极分别设置在上述第二基板的对角线上且相对于基板中心呈点对称的位置上。在该技术方案中，一对第一引出电极分别沿着矩形的第一基板的对角线设置在相对于基板的中心点呈点对称的位置上。同样地，一对第二引出电极分别沿着矩形的第二基板的对角线设置在相对于基板的中心点呈点对称的位置上。因此，与上述的技术方案一样，由于第一引出电极和第二引出电极互不相对，因此可以防止产生漏电流以及引出电极之间的静电引力，可以稳定地驱动滤光器元件。而且，当静电引力作用于第一电极与第二电极之间时，第一基板和第二基板中的至少一个基板向对方侧弯曲，从而调整第一反射膜与第二反射膜之间的间隙尺寸。这时，在本专利技术中，由于第一引出电极相对于基板中心呈点对称设置，因此当第一基板向第二基板侧弯曲时，可以使弯曲产生的应力平衡保持均匀。第二基板也是如此，当第二基板向第一基板侧弯曲时，也可以使弯曲产生的应力平衡保持均匀。因此，可以使基板的弯曲平衡保持均匀，从而可以良好地维持第一反射膜与第二反射膜的平行状态，可以更稳定地驱动滤光器元件。在本专利技术的滤光器元件中，优选在从厚度方向观察上述第一基板和上述第二基板的俯视图中，上述第一基板和上述第二基板中的至少一个基板上设置有与上述一对第一引出电极和上述一对第二引出电极的设置位置相对应的凹槽。在该技术方案中，与第一引出电极或第二引出电极对应地在第一基板或第二基板上形成凹槽，并在该凹槽中设置第一引出电极或第二引出电极。因此，在接合第一基板和第二基板时，不会将第一引出电极或第二引出电极夹在第一基板和第二基板的接合部分上。这里，在接合第一基板和第二基板时，如果第一引出电极或第二引出电极被夹在接合部分上，则第一基板和第二基板会发生与该电极的厚度尺寸相对应的歪斜，导致无法维持第一反射膜与第二反射膜的平行的问题。对此，在本专利技术中，如上所述，由于第一引出电极或第二引出电极不会被夹在第一基板和第二基板的接合部分上，因而在第一基板和第二基板接合时引出电极不会引起歪斜。因此，可以维持第一反射膜与第二反射膜的平行，从而可以稳定地驱动滤光器元件。本专利技术的滤光器模块包括如上所述的滤光本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种滤光器元件，其特征在于，具备：第一基板；与所述第一基板相对的第二基板；设置在所述第一基板与所述第二基板之间的第一反射膜；设置在所述第二基板与所述第一反射膜之间的第二反射膜；设置在所述第一基板与所述第二基板之间的第一电极；设置在所述第二基板与所述第一电极之间的第二电极；与所述第一电极连接的一对第一引出电极；以及与所述第二电极连接的一对第二引出电极。

【技术特征摘要】
2010.04.19 JP 2010-0957111.一种滤光器元件，其特征在于，具备：
第一基板；
与所述第一基板相对的第二基板；
设置在所述第一基板与所述第二基板之间的第一反射膜；
设置在所述第二基板与所述第一反射膜之间的第二反射膜；
设置在所述第一基板与所述第二基板之间的第一电极；
设置在所述第二基板与所述第一电极之间的第二电极；
与所述第一电极连接的一对第一引出电极；以及
与所述第二电极连接的一对第二引出电极。
2.根据权利要求1所述的滤光器元件，其特征在于，
在从厚度方向观察所述第一基板和所述第二基板的俯视图中，
所述第一引出电极和所述第二引出电极设置在互不重叠的位置上。
3.根据权利要求2所述的滤光器元件，其特征在于，
所述第一基板和所述第二基板形成为矩形，
所述一对第一引出电极分别设置在所述第一基板的对角线上
且相对于基板中心呈点对称的位置上，
所述一对第二引出电极分别设置在所述第二基板的对角线上
且相对于基板中心呈点对称的位置上。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的滤光器元件，其特征在于，
在从厚度方向观察所述第一基板和所述第二基板的俯视图中，
所述第一基板和所述第二基板中的至少一个基板上设置有与所述一
对第一引出电极和所述一对第二引出电极的设置位置相对应的凹
槽。
5.一种滤光器模块，其特征在于，包括权利要求1至4中任一项所...

【专利技术属性】
技术研发人员：新东晋，佐野朗，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP