光滤波器及光滤波器模块以及分析设备及光设备制造技术

本发明专利技术涉及光滤波器及光滤波器模块以及分析设备及光设备。该光滤波器包括：第一基板；与所述第一基板对置的第二基板；第一反射膜，其被设置于所述第一基板；第二反射膜，其被设置于所述第二基板并与所述第一反射膜对置；第一电极，其被设置于所述第一基板，在俯视的情况下被形成于所述第一反射膜的周围；第二电极，其被设置于所述第一基板，在俯视的情况下被形成于所述第一电极的周围；第三电极，其被设置于所述第二基板，并与所述第一电极对置；及第四电极，其被设置于所述第二基板，并与所述第二电极对置。

【技术实现步骤摘要】
光滤波器及光滤波器模块以及分析设备及光设备
本专利技术涉及光滤波器及光滤波器模块以及分析设备及光设备等。
技术介绍
现提出有使透过波长可变的干涉光滤波器(专利文献1)。如专利文献1的图3所示，具备：被相互保持平行的一对基板、在该一对基板上形成为相互对置并且具有一定间隔的间隙的一对多层膜(反射膜)、用于控制间隙的一对静电驱动电极。这种波长可变干涉光滤波器可以利用对静电驱动电极施加的电压来产生静电引力，控制间隙，使透过光的中心波长变化。专利文献1日本特开平11-142752号公报但是，在这种波长可变干涉光滤波器中，由于驱动电压因噪音等而变动，难以高精度地得到间隙量。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种可以高精度地获得间隙量的光滤波器及光滤波器模块以及分析设备及光设备。(1)本专利技术的一个方式的光滤波器的特征在于，包括：第一基板；与所述第一基板对置的第二基板；第一反射膜，其被设置于所述第一基板；第二反射膜，其被设置于所述第二基板并与所述第一反射膜对置；第一电极，其被设置于所述第一基板，在俯视的情况下被形成于所述第一反射膜的周围；第二电极，其被设置于所述第一基板，在俯视的情况下被形成于所述第一电极的周围；第三电极，其被设置于所述第二基板，并与所述第一电极对置；及第四电极，其被设置于所述第二基板，并与所述第二电极对置。根据本专利技术的方式，具有设置于第二基板并与第一电极对置的第三电极和设置于第二基板并与第二电极对置的第四电极。这样，如后所述，与仅用一对电极来控制反射膜间的间隙量的方式相比，可以高精度地获得间隙量。(2)在本专利技术的方式中，其特征在于，所述第一电极与所述第二电极在电气上独立，所述第三电极与所述第四电极经由连接部被电连接。由于第三电极与第四电极经由连接部被电连接，因此可以将第三电极及第四电极设为公共电极。(3)在本专利技术的方式中，其特征在于，还包括：与所述第一电极连接的第一布线；及与所述第二电极连接的第二布线，所述第一电极具有第一环状，所述第二电极具有带第一间隙的第二环状，所述第一布线的一部分被形成于已形成了所述第一间隙的区域。由于第二电极所具有第二环状带有第一间隙，所以可以经由第一间隙从第一电极中引出第一布线。(4)在本专利技术的方式中，其特征在于，所述第三电极具有第三环状，所述第四电极具有第四环状。由于第三电极及第四电极为环状，因此在控制间隙时，可以将反射膜间的平行度保持得较高。(5)在本专利技术的方式中，其特征在于，所述第三电极具有第三环状，所述第四电极具有带第二间隙的第四环状，在俯视的情况下，所述第二间隙与所述第一间隙重叠。在俯视的情况下，第二间隙与第一间隙重叠。也就是说，在形成于第一间隙的区域中的第一布线的一部分的上方，未形成第四电极。这样，即使对第一布线施加电压，也可以抑制在第一布线与第四电极之间产生不需要的静电引力的情况。(6)在本专利技术的方式中，其特征在于，还包括：与所述第三电极连接的第三布线；及与所述第三电极连接的第四布线。由于在第三电极处连接有第三布线及第四布线，因此可以减小布线电阻。(7)在本专利技术的方式中，其特征在于，上述第一基板具有第一对角线和第二对角线，上述第一布线在沿着上述第一对角线的第一方向上延伸，上述第二布线在沿着上述第一对角线且与上述第一方向相反的方向即第二方向上延伸，上述第三布线在沿着上述第二对角线的第三方向上延伸，上述第四布线在沿着上述第二对角线且与上述第三方向相反的方向即第四方向上延伸。像这样，通过形成第一布线、第二布线、第三布线及第四布线，就可以减小这些布线间的寄生电容。(8)在本专利技术的方式中，其特征在于，所述第二电极的环宽度大于所述第一电极的环宽度，所述第四电极的环宽度大于所述第二电极的环宽度。由于第二电极及第四电极位于接近第一基板与第二基板的接合部分的区域，因此需要比第一电极及第二电极之间的静电引力大的静电引力。这样，通过增大第二电极及第四电极的环宽度，就可以产生大的静电引力。(9)在本专利技术的方式中，其特征在于，所述第二基板具有第一部分和比所述第一部分的膜厚薄的第二部分，所述第二反射膜被形成于所述第二基板的所述第一部分，所述第三电极和所述第四电极被形成于所述第二基板的所述第二部分。由于第三电极及第四电极被形成于比第一部分的膜厚薄的上述第二部分，因此在进行间隙控制时，可以很容易地使第一基板可动。(10)在本专利技术的方式中，其特征在于，所述第一基板具有第一面和比所述第一面低的第二面，所述第一反射膜被形成于所述第一面，所述第一电极和所述第二电极被形成于所述第二面中。(11)在本专利技术的方式中，是具有如下特征的光滤波器，即，还具有电位差控制部，该电位差控制部控制所述第一电极与所述第三电极之间的电位差和所述第二电极与所述第四电极之间的电位差。(12)在本专利技术的方式中，其特征在于，所述电位差控制部，在将所述第二电极与所述第四电极之间的电位差设定为第一电位差后，将所述第一电极与所述第三电极之间的电位差设定为第二电位差。这样，如后所述，就可以很容易地进行间隙控制。(13)在本专利技术的方式中，其特征在于，所述电位差控制部在已设定为所述第一电位差的状态下，设定为所述第二电位差。由于在设定为第一电位差后的状态下设定为第二电位差，因此如后所述，可以进行迅速的间隙控制。(14)在本专利技术的方式中，其特征在于，所述电位差控制部，将所述第二电极与所述第四电极之间的电位差设定为第一电位差，在设定为所述第一电位差后，将所述第二电极与所述第四电极之间的电位差设定为比所述第一电位差大的第二电位差，在已设定为所述第二电位差的状态下，将所述第一电极与所述第三电极之间的电位差设定为第三电位差，在设定为所述第三电位差后，在已将所述第二电极与所述第四电极之间的电位差设定为所述第二电位差的状态下，将所述第一电极与所述第三电极之间的电位差设定为比所述第三电位差大的第四电位差。这样，就可以进行更多级的间隙控制。另外，由于从第一电位差设定为比第一电位差大的第二电位差，从第三电位差设定为比第三电位差大的第四电位差，因此可以进行迅速的间隙控制。(15)在本专利技术的方式中，其特征在于，被设定为所述第二电位差的期间比被设定为所述第一电位差的期间长，被设定为所述第四电位差的期间比被设定为所述第三电位差的期间长。这样，如后所述，就可以稳定在所需的间隙间隔。(16)在本专利技术的方式中，其特征在于，所述电位差控制部，将所述第二电极与所述第四电极之间的电位差设定为第一电位差，在设定为所述第一电位差后，将所述第二电极与所述第四电极之间的电位差设定为比所述第一电位差大的第二电位差，在设定为所述第二电位差后，将所述第二电极与所述第四电极之间的电位差设定为比所述第二电位差大的第三电位差，在已设定为所述第三电位差的状态下，将所述第一电极与所述第三电极之间的电位差设定为第四电位差，在设定为所述第四电位差后，在已将所述第二电极与所述第四电极之间的电位差设定为所述第三电位差的状态下，将所述第一电极与所述第三电极之间的电位差设定为比所述第四电位差大的第五电位差，在设定为所述第五电位差后，在已将所述第二电极与所述第四电极之间的电位差设定为所述第三电位差的状态下，将所述第一电极与所述第三电极之间的电位差设定为比所述第五电位差大的第六电位差，所述第二电位差与所述第三电位本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种光滤波器，其特征在于，包括：第一基板；与所述第一基板对置的第二基板；第一反射膜，其被设置于所述第一基板；第二反射膜，其被设置于所述第二基板并与所述第一反射膜对置；第一电极，其被设置于所述第一基板，在俯视的情况下被形成于所述第一反射膜的周围；第二电极，其被设置于所述第一基板，在俯视的情况下被形成于所述第一电极的周围；第三电极，其被设置于所述第二基板，并与所述第一电极对置；及第四电极，其被设置于所述第二基板，并与所述第二电极对置。

【技术特征摘要】
2010.03.15 JP 2010-0572901.一种光滤波器，其特征在于，包括：第一基板；与所述第一基板对置的第二基板；第一反射膜，其被设置于所述第一基板；第二反射膜，其被设置于所述第二基板并与所述第一反射膜对置；第一电极，其被设置于所述第一基板，在俯视的情况下被形成于所述第一反射膜的周围；第二电极，其被设置于与所述第一电极不同的位置；第三电极，其被设置于所述第二基板，并与所述第一电极对置；第四电极，其被设置于所述第二基板，并与所述第二电极对置；2个反射膜，其根据所述第一电极和所述第三电极之间的电位差、所述第二电极和所述第四电极之间的电位差，对置的距离能够变动；与所述第一电极连接的第一布线；及与所述第二电极连接的第二布线，所述第一电极具有第一环状，所述第二电极具有带第一间隙的第二环状，所述第一布线的一部分被形成于已形成了所述第一间隙的区域。2.根据权利要求1所述的光滤波器，其特征在于，所述第一电极与所述第二电极在电气上独立，所述第三电极与所述第四电极经由连接部被电连接。3.根据权利要求1所述的光滤波器，其特征在于，所述第三电极具有第三环状，所述第四电极具有第四环状。4.根据权利要求1所述的光滤波器，其特征在于，所述第三电极具有第三环状，所述第四电极具有带第二间隙的第四环状，在俯视的情况下，所述第二间隙与所述第一间隙重叠。5.根据权利要求1所述的光滤波器，其特征在于，还包括：与所述第三电极连接的第三布线；及与所述第四电极连接的第四布线。6.根据权利要求5所述的光滤波器，其特征在于，具有第一基板，该第一基板设置有所述第一电极和所述第二电极，并在俯视的情况下具有第一假想直线、与所述第一假想直线相交的第二假想直线，所述第一布线在沿着所述第一假想直线的第一方向上延伸，所述第二布线在沿着所述第一假想直线且与所述第一方向相反的方向即第二方向上延伸，所述第三布线在沿着所述第二假想直线的第三方向上延伸，所述第四布线在沿着所述第二假想直线且与所述第三方向相反的方向即第四方向上延伸。7.根据权利要求1所述的光滤波器，其特征在于，所述第二电极的环宽度大于所述第一电极的环宽度，所述第四电极的环宽度大于所述第三电极的环宽度。8.根据权利要求1所述的光滤波器，其特征在于，具有第二基板，该第二基板设置有所述第三电极和所述第四电极，并具有第一部分和比所述第一部分的膜厚薄的第二部分，所述2个反射膜中的任意一个反射膜被形成于所述第二基板的所述第一部分，所述第三电极和所述第四电极被形成于所述第二基板的所述第二部分。9.根据权利要求8所述的光滤波器，其特征在于，具有第一基板，该第一基板设置有所述第一电极和所述第二电极，并具有第一面和比所述第一面低的第二面，所述2个反射膜中的另外一个反射膜被形成于所述第一面，所述第一电极和所述第二电极被形成于所述第二面中。10.根据权利要求1所述的光滤波器，其特征在于，还具有电位差控制部，该电位差控制部控制所述第一电极与所述第三电极之间的电位差和所述第二电极与所述第四电极之间的电位差。11.根据权利要求10所述的光滤波器，其特征在于，所述电位差控制部，在将所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐野朗，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP