光滤波器及其分析设备制造技术
【技术实现步骤摘要】
光滤波器及其分析设备
本专利技术涉及光滤波器及分析设备等。
技术介绍
以往，作为从入射光中选择目标波长的光并使之射出的光滤波器，已知一种气隙型并且是静电驱动型的光滤波器，其通过将一对基板对置配置，并分别在这些基板的对置面设置反射镜，分别在这些反射镜的周围设置电极，并且在一侧的反射镜的周围设置隔膜部，通过利用这些电极间的静电使隔膜部发生位移而使这些反射镜间的间隙(气隙)变化，来提取出想要的波长的光。(例如，专利文献1)。在这样的光滤波器中，在制造时需要将一对反射镜间的间隙控制在从亚微米到数微米这样非常小的范围内，而且重要之处在于高精度地维持这些反射镜间的间隙且控制成想要的间隙量。专利文献1：日本特开2003-57438号公报。
技术实现思路
然而，在气隙型且静电驱动型的光滤波器中，利用静电引力来使隔膜发生移动从而使反射镜间的间隙发生变化。因此，根据隔膜部的厚度，来使用于产生间隙的位移所需要的静电引力的施加电压发生变化。因此，为了将施加电压抑制得较低，希望隔膜部尽可能地薄。但是，使隔膜部变薄这关系到其强度降低，在反复进行间隙位移的光滤波器中，由于每次进行位移时都对隔膜部施...
【技术保护点】
１．一种光滤波器，其特征在于：具有：下部基板；下部反射镜，其被设置于所述下部基板；下部电极，其被设置于所述下部基板；上部基板，其与所述下部电极对置设置；上部反射镜，其被设置于所述上部基板，且与所述下部反射镜对置；以及上部电极，其被设置于所述上部基板，且与所述下部电极对置，所述上部基板在俯视图中，具有包围所述上部反射镜的槽，所述槽在剖视图中，具有第１侧面部、第２侧面部、底面部、位于所述第１侧面部与所述底面部之间的第１端部以及位于所述第２侧面部与所述底面部之间的第２端部，所述第１端部以及所述第２端部具有曲面。
【技术特征摘要】
2010.03.19 JP 2010-0639231.一种光滤波器，其特征在于：具有：第1基板；第1反射镜，其被设置于所述第1基板；第1电极，其被设置于所述第1基板；第2基板，其与所述第1电极对置设置；第2反射镜，其被设置于所述第2基板，且与所述第1反射镜对置；以及第2电极，其被设置于所述第2基板，且与所述第1电极对置，所述第2基板为玻璃，所述第2基板在俯视图中，具有包围所述第2反射镜的槽，所述槽在剖视图中，具有第1侧面部、第2侧面部、底面部、位于所述第1侧面部与所述底面部之间的第1端部以及位于所述第2侧面部与所述底面部之间的第2端部，所述第1端部具有第1曲面，所述第2端部具有第2曲面，在俯视...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。