一种悬臂梁结构微力及微小位移传感装置制造方法及图纸

光电子器件封装过程中，阵列光纤与波导芯片之间相互接触时产生的微力以及微位移是检测的重点，同时也需要考虑在检测过程中阵列光纤与波导芯片之间填充UV胶后所带来的应力及微小位移。一种悬臂梁结构微力及微小位移传感装置是基于悬臂梁结构载荷与应变之间的工作原理而设计的，此传感器具有同时实现对力与位移同时检测的目的。采用悬臂梁结构是因为其结构相对简单，加工比较方便，在较小外力和位移的测量中应用较多，因此采用在悬臂梁上进行优化改进，更易达到结构简单、性能优越、效果较佳的目的。

Cantilever beam structure micro force and micro displacement sensing device

Optoelectronic devices in the encapsulation process of mutual contact between fiber array and waveguide chip micro power and micro displacement detection is the key, but also need to consider the stress and displacement caused by UV filling in the detection process between fiber array and waveguide chip after. A cantilever beam structure micro force and micro displacement sensing device is designed based on the working principle between the load and the strain of the cantilever beam structure, and the sensor realizes simultaneous detection of force and displacement. The cantilever beam is because of its relatively simple structure, convenient processing, widely used in the measurement of small external force and displacement, so the optimized improvement on the cantilever beam, more easy to achieve simple structure, superior performance, better purpose.

【技术实现步骤摘要】
一种悬臂梁结构微力及微小位移传感装置
本专利技术涉及微弱信号传感
，尤其是一种用于光电子器件封装领域的微力及微小位移传感测量装置。
技术介绍
光电子器件封装时，耦合界面上微小的偏移是影响光电子性能的关键因素之一。由于其封装中存在阵列波导芯片与光纤之间间隙难以控制、接触时无法感知力大小的问题，导致光电子器件耦合间距不稳定甚至发生损伤性碰撞，从而使得器件成品率低、性能一致性差。在实际生产过程中，端面之间的调整首先是实现两个端面之间的准静态接触，通过力检测单元感触到力后，然后在调整两个端面之间的耦合间距，通过位移检测单元把两者之间的间隙控制在10-20微米，才能保证光电子器件既满足损耗低的要求又能满足光电子器件稳定的要求。为了能够更好地量化传感器的参数，需要对光电子器件端面检测，力的检测范围小于1N，位移的范围在0-20微米内。目前测力传感器主要是压电式力传感器，其工作原理是当力作用于具有压电效应的压电材料上，使得上下两个表面上出现相反的电荷，从而出现电荷差，外力的大小与电荷量成正比，最终实现力电转换的传感器。其优点主要体现在结构简单、体积小、机械强度较好、线性度好；缺点是压电式力传本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种悬臂梁结构微力及微小位移传感装置，其特征是：一种悬臂梁结构微力及微小位移传感测量装置，具有圆弧弹性铰链，所述圆弧弹性铰链一端与铝合金支架连接，另一端与应变梁连接；所述弹性薄片的一端与应变梁连接，另一端与铝合金支架连接；所述上表面电阻应变片通过AB胶固定在弹性薄片上表面；所述下表面电阻应变片通过AB胶固定在弹性薄片下表面；所述力作用点与应变梁连接；所述定位孔位于铝合金支架四周，用于固定该测量装置。

【技术特征摘要】
1.一种悬臂梁结构微力及微小位移传感装置，其特征是：一种悬臂梁结构微力及微小位移传感测量装置，具有圆弧弹性铰链，所述圆弧弹性铰链一端与铝合金支架连接，另一端与应变梁连接；所述弹性薄片的一端与应变梁连接，另一端与铝合金支架连接；所述上表面电阻应变片通过AB胶固定在弹性薄片上表面；所述下表面电阻应变片通过AB胶固定在弹性薄片下表面；所述力作用点与应变梁连接；所述定位孔位于铝合金支架四周，用于固定该测量装置。2.根据权利要求1所述的一种悬臂梁结构微力及微小位移传感装置，其特征是：所述圆弧弹性铰链厚度为0.2mm，材质为55Si2Mn弹簧钢。3.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：深圳市中葛科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44