【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基于ＭＥＭＳ技术的抗磁粒子三维操纵装置，其特征在于，包括：顺磁性溶液、腔室、永磁体和芯片，所述的芯片包括：基座、负载平台、线圈阵列和弹簧，其中：基座上光刻设有线圈阵列、负载平台和弹簧，弹簧的一端固定在基座上，另一端和负载平台相连，永磁体粘附于负载平台之上，腔室内设有顺磁性溶液，腔室放置于永磁体之上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张卫平，李世鹏，陈文元，刘武，胡牧风，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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