下载基于MEMS技术的抗磁粒子三维操纵装置的技术资料

文档序号:3971132

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一种生命科学技术领域的基于MEMS技术的抗磁粒子三维操纵装置,包括:顺磁性溶液、腔室、永磁体和芯片,所述的芯片包括:基座、负载平台、线圈阵列和弹簧,基座上光刻设有线圈阵列、负载平台和弹簧,弹簧的一端固定在基座上,另一端和负载平台相连,永磁体...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。

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