基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种具有多层结构的基板处理装置，所述装置不仅使结构变得简单，以提高设计自由度，而且使构件数量减少，从而可以提高生产效率。本发明专利技术的基板处理装置包括：框架；输送装置，其从布置在外部的装载机接收基板并将其传送；第一升降装置，从输送装置接收基板，并朝升降方向传送基板；第一移送装置，其设置在与输送装置不同的层上，并且从第一升降装置接收基板并将其传送；基板处理单元，其从第一移送装置接收基板并对其进行处理；第二移送装置，其接收在基板处理单元已完成处理的基板后将其传送；以及第二升降装置，升降从第二移送装置接收的基板，并将其传递给输送装置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种具有多层结构的基板处理装置，特别涉及一种使装置结构变得简 单，以提高设计自由度的同时减少构件的数量，从而提高生产效率的基板处理装置。
技术介绍
通常，针对用于平面显示器(Flat panel display)、半导体晶片、IXD、光掩模玻璃 等的基板(Substrate)而言，在处理线上进行蚀刻、剥离、漂洗等过程的处理后进行清洗过程。这种处理线排成一列，并具有可通过基板输送装置依次移动基板的同时，对所述 基板进行处理的结构(为了便于说明，在本说明书和权利要求书中将“排成一列”的基板处 理线或基板处理装置定义为“直列式”基板处理线或基板处理装置)。由于这种直列式基板 处理装置在净化室中所占空间较大，所以研发了一种具有多层结构的基板处理装置。针对所述具有多层结构的基板处理装置而言，本申请人申请的相关专利技术已获得专 利权，其分别为韩国专利第10-0500169号、韩国专利第10-0555619号。所述专利公报中公 开的技术中，基板处理装置和输送基板的输送装置分别布置在不同层上，所以不仅解决了 受空间限制的问题，而且还可以非常有效地处理基板。所述基板处理装置包括输送装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板处理装置，其特征在于，包括：框架；输送装置，其一端连接于和所述框架相结合的移动装置上，另一端为自由端，从而从布置在外部的装载机接收基板后将其传送；第一升降装置，从所述输送装置接收所述基板，并朝升降方向移送所述基板；第一移送装置，其设置在与所述输送装置不同的层上，并且从所述第一升降装置接收所述基板后将其传送；基板处理单元，其从所述第一移送装置接收所述基板并对其进行处理；第二移送装置，接收在所述基板处理单元已完成处理的基板，并将其传送；以及第二升降装置，升降从所述第二移送装置接收的所述基板，并传递给所述输送装置。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：李升垣，
申请(专利权)人：显示器生产服务株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]