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本发明涉及一种具有多层结构的基板处理装置，所述装置不仅使结构变得简单，以提高设计自由度，而且使构件数量减少，从而可以提高生产效率。本发明的基板处理装置包括：框架；输送装置，其从布置在外部的装载机接收基板并将其传送；第一升降装置，从输送装置接...
该专利属于显示器生产服务株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过显示器生产服务株式会社授权不得商用。

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