本发明专利技术提供即使以大力将输送容器的盖体推靠到盖装卸装置的门
部件上，也能够防止输送容器浮起的输送容器的盖装卸装置、输送容器
及输送容器的盖装卸系统。输送容器的盖装卸装置(100)具有：可供
输送容器(200)载置并能够移动的工作台(15)；和与设置在输送容器
(200)的下表面的V字剖面槽(205a～205c)、近似垂直于移动方向(M)
的固定面(205a-1～205c-1)卡合，并设置于工作台(15)，与移动
方向(M)近似垂直的定位销(15a～15)。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及将收容半导体晶片等薄型基板并进行输送的输送容器 安装到无尘室，在保持相互的清洁度的状态下，对其盖进行装卸的输送 容器的盖装卸装置、输送容器及输送容器的盖装卸系统。
技术介绍
以往，有一种将输送半导体晶片的被称为FOUP ( FRONT OPENING UNIFIED POD)等的输送容器的盖体保持为能够与门部件 装卸，并且在水平方向及垂直方向两个方向移动的装载口 (loadport) (例如专利文献l)。装载口，经过将输送容器载置到移动工作台上，将输送容器的盖体 推靠于门部件而与之密闭接触的工序，将输送容器的盖体保持于门部 件。该移动工作台和输送容器通过设置在移动工作台上的销、和设置在 输送容器的底面的V字槽，来进行铅垂方向及水平方向的定位。但是，在输送容器收容直径超过300mm左右的大口径晶片的情况 下，装载口需以大力推撞输送容器的盖体使其与门部件抵接。该情况下， 有可能使输送容器底面的V字槽跃上移动工作台的销，使得输送容器浮 起。专利文献1:日本特开平11 - 288991号7>净艮
技术实现思路
本专利技术的课题在于，提供即使以大力将输送容器的盖体推靠于盖装 卸装置的门部件，也能够防止输送容器浮起的输送容器的盖装卸装置、 输送容器及输送容器的盖装卸系统。本专利技术通过以下的解决方法来解决课题。其中，为了容易理解，赋 予了与本专利技术的实施方式对应的符号进行说明，但不限定于此。另外，赋予符号进行说明的结构可以进行适当的改良，也可以将至少一部分替 代为其他的构成物。第一专利技术涉及一种输送容器的盖装卸装置，其使内部被保持为高清洁度的输送容器(200)的开口部的盖部件(203 )，与被保持为高清洁 度的清洁室的开口部的门部件卡合，在密闭所述两开口部的周边部、保 持高清洁度的状态下，装卸所述盖部件，具有可供所述输送容器载置、 能够沿规定的移动方向(M)移动的工作台(15);与所述规定的移动 方向近似垂直地设置于所述工作台的连结销(15a~15c)，该连结销与 设置于所述输送容器下表面的V字剖面槽(205a ~ 205c)中、且近似垂 直于所述规定的移动方向(M)的固定面(205a-l~205c-l)卡合。第二专利技术根据第一专利技术的输送容器的盖装卸装置而提出，其中，所 述工作台(15)的所述规定的移动方向(M)为水平方向，所述连结销 (15a ~ 15c)的轴向为铅垂方向，所述固定面(205a-1~ 205c-1)是 使所述V字剖面槽(205a ~ 205c )内凹陷而设置的凹部(205a - 2 ~ 205c -2)的铅垂方向的内壁。第三专利技术根据第一专利技术的输送容器的盖装卸装置而提出，其中，所 述连结销(15a ~ 15c)具有设置于前端部的平面部(15a-7)，通过所 述平面部与在所述输送容器(200)的所述凹部(205a-2 ~ 205c-2) 的底部设置的平面(205a-7)面接触，来进行所述输送容器的铅垂方 向的定位。第四专利技术根据第三专利技术的输送容器的盖装卸装置而提出，其中，具 备检测部(1018-1、 1018-2),对所述连结销(1015a)的所述平面部 (1015a-7)、与所述输送容器(200)的底部的所述平面(205a - 7 ) 面接触的情况进行检测。第五专利技术根据第一专利技术的输送容器的盖装卸装置而提出，其中，具 有通过与所述V字剖面槽(205a、 205a)的斜面(205a-6、 205a - 6 ) 抵接，来进行所述输送容器(200)的铅垂方向的定位的V字斜面抵接 部(811-1、 915a-8)。第六专利技术根据第一专利技术的输送容器的盖装卸装置而提出，其中，所6述工作台(15)的所述规定的移动方向(M)为水平方向，在所述连结 销(15a~15c)的前端缘部设置有剖面形状为锥状的引导部(15a-6), 所述引导部(15a-6)将所述固定面(205a-1~ 205c-1)向所述连结 销引导。第七专利技术根据笫一专利技术的输送容器的盖装卸装置而提出，其中，所 述工作台(915)的所述规定的移动方向(M)为水平方向，在所述连 结销(915a )的前端缘部设置有剖面形状为圓弧状的引导部(915a - 6 ), 所述引导部(915a-6)将所述固定面(205a-1)向所述连结销引导。第八专利技术根据第一专利技术的盖装卸装置而提出，其中，具备通过与 所述V字剖面槽(205a)的斜面(205a-6)相接来将所述固定面(205a -l)向所述连结销(815a)引导的基部引导部(811-1);将所述连结 销保持为能够在所述连结销的轴向移动的基部(811);和向使所述连结 销沿轴向从所述基部突出的一侧施力的施力部件(816);所述连结销在 所述基部引导部对所述固定面进行引导的过程中，通过被所述V字剖面 槽的斜面(205a-6)按压而按入到所述基部内部，在由所述基部引导 部引导所述固定面的状态下，被所述施力部件施力而从所述基部突出。第九专利技术根据第八专利技术的盖装卸装置而提出，其中，具备对所述连 结销(815a)从所述基部(811)突出的状态进行检测的检测部(818、 818-l、 818-2)。第十专利技术根据笫八专利技术的输送容器的盖装卸装置而提出，其中，所 述基部引导部(811-1)是在将所述固定面(205a-1)向所述连结销 (815a)引导的状态下，通过与所述V字剖面槽(205a)的斜面(205a -6)抵接，来进行所述输送容器(200 )的铅垂方向定位的V字斜面抵 接部(811-1 )。第十一专利技术涉及一种输送容器(200),使内部被保持为高清洁度的 其开口部的盖部件(203)，与被保持为高清洁度的清洁室的开口部的门 部件卡合，在密闭所述两开口部的周边部、保持高清洁度的状态下，利 用盖装卸装置来装卸所述盖部件，具有设置在该输送容器下表面的V字 剖面槽(205a~205c)的固定面(205a - 1 ~ 205c - 1 )，该固定面与设: 置在可供该输送容器载置、且能够沿规定的移动方向(M)移动的所述盖装卸装置的工作台(15)上的连结销(15a~ 15c)卡合，其中，所述 固定面、连结销分别设置成与所述规定的移动方向(M)近似垂直。第十二专利技术根据第十一专利技术的输送容器而提出，其中，所述工作台 (15)的所述规定的移动方向(M)为水平方向，所述固定面(205a-l~205c-1)是4吏所述V字剖面槽(205a~205c)内凹陷而i更置的凹部 (205a-2~205c-2)的鉛垂方向的内壁，所述连结销(15a ~ 15c )的轴向为鉛垂方向。第十三专利技术根据第十一专利技术的输送容器而提出，其中，在所述凹部 (205a-2~205c-2)的底部具有平面(205a - 7 )，通过所述底部的平 面与设置在所述连结销(15a~15c)的前端的平面部(15a-7)面接触， 来进行该输送容器的铅垂方向定位。第十四专利技术涉及一种输送容器的盖装卸系统，具备内部被保持为 高清洁度的输送容器(200 );使所述输送容器的开口部的盖部件(203 )， 与被保持为高清洁度的清洁室的开口部的门部件卡合，在密接所述两开 口部的周边部、保持高清洁度的状态下，装卸所述盖部件的盖装卸装置； 其中，所述盖装卸装置具有设置在可供所述输送容器载置、且能够沿规 定的移动方向(M本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种输送容器的盖装卸装置，使内部被保持为高清洁度的输送容器的开口部的盖部件，与被保持为高清洁度的清洁室的开口部的门部件卡合，在密闭所述两开口部的周边部、保持高清洁度的状态下，装卸所述盖部件，其特征在于， 具有：可供所述输送容器载置、能 够沿规定的移动方向移动的工作台；以及 与所述规定的移动方向近似垂直地设置于所述工作台的连结销，该连结销与设置于所述输送容器下表面的Ｖ字剖面槽中、且近似垂直于所述规定的移动方向的固定面卡合。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：永田龙彦，
申请(专利权)人：株式会社来易特制作所，
类型：发明
国别省市：JP
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