一种悬挂式快速拆装装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种悬挂式快速拆装装置，包括电极、热丝夹头和热丝，所述热丝夹头底部可拆卸地设有所述热丝，所述热丝夹头顶部设有插孔，所述电极底部与所述插孔滑动配合；还包括：安装载体，其上可拆卸地设有所述电极；陶瓷管，套设在所述电极上；锁紧装置，其包括螺纹杆和两个螺母套，所述螺纹杆穿过所述陶瓷管和所述电极，其两端分别设有所述螺母套；陶瓷保护套，与所述热丝夹头可拆卸连接，所述陶瓷保护套上对称设有两个呈L型的卡槽。本发明专利技术中，结构通过陶瓷保护套与螺纹杆的旋转挂装方式，实现了电极与热丝之间无死角无方位的稳定连接，同时拆卸、安装更方便。安装更方便。

【技术实现步骤摘要】
一种悬挂式快速拆装装置


[0001]本专利技术涉及镀膜设备
，尤其是一种悬挂式快速拆装装置。

技术介绍

[0002]热丝CVD是一种较为新颖的半导体化学气相沉积镀膜设备，其中热丝是使用过程中的一类关键耗材，需经常更换。以前一般采用螺丝锁定或简单的螺丝+夹板夹紧的方式将热丝固定在热丝电极上，或者是通过大量组件形成的快装式安装。拆卸很不方便(做的比较大，费时费力)。尤其是在大面积镀膜，需要增添防着板等环境比较恶劣的情况下。现有方案，使用螺纹将热丝夹头与电极杆进行安装连接，拆卸很不方便，费时费力，更换热丝时间长，还有就是一些结构不稳定，拆装麻烦，需要多人协助且占用空间比较大。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是为了解决上述技术问题，而提供一种悬挂式快速拆装装置。
[0004]本专利技术的技术方案：一种悬挂式快速拆装装置，包括电极、热丝夹头和热丝，所述热丝夹头底部可拆卸地设有所述热丝，所述热丝夹头顶部设有插孔，所述电极底部与所述插孔滑动配合；还包括：
[0005]安装载体，其上可拆卸地设有所述电极；
[0006]陶瓷管，套设在所述电极上；
[0007]锁紧装置，其包括螺纹杆和两个螺母套，所述螺纹杆穿过所述陶瓷管和所述电极，其两端分别设有所述螺母套；
[0008]陶瓷保护套，与所述热丝夹头可拆卸连接，所述陶瓷保护套上对称设有两个呈L型的卡槽。
[0009]优选的，所述热丝夹头内壁上设有若干个环形凹槽；还包括若干个导电环形弹性件，其分别设置在所述环形凹槽内。
[0010]优选的，所述电极由长电极和短电极组成，所述长电极与所述短电极螺纹连接。
[0011]优选的，所述长电极上设有法兰。
[0012]本专利技术的有益效果是：
[0013]1)本结构通过环形弹簧的可塑性实现了电极之间的快速连接，实现了电能的传递，连接更可靠，结构更简单；
[0014]2)电极外表面通过陶瓷保护套与外界隔绝，解决了电能泄露的危害，使用更安全；
[0015]3)本结构通过陶瓷保护套与螺纹杆的旋转挂装方式，实现了电极与热丝之间无死角无方位的稳定连接，同时拆卸、安装更方便。
附图说明
[0016]图1是本专利技术优选实施例的整体结构主视图；
[0017]图2是图1中沿AA处剖视图；
[0018]图3是图2中B处局部放大图。
[0019]附图标记：电极10、长电极101、短电极102、热丝夹头2、环形凹槽201、热丝3、安装载体4、陶瓷管5、螺纹杆6、螺母套7、陶瓷保护套8、卡槽801、顶丝802、导电环形弹性件9。
具体实施方式
[0020]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0021]参照图1至图3，一种悬挂式快速拆装装置，包括电极10、热丝夹头2和热丝3，热丝夹头2底部可拆卸地设有热丝3，热丝夹头2顶部设有插孔，电极10底部与插孔滑动配合；还包括：
[0022]安装载体4，其上可拆卸地设有电极10；
[0023]陶瓷管5，套设在电极10上；
[0024]锁紧装置，其包括螺纹杆6和两个螺母套7，螺纹杆6穿过陶瓷管5和电极10，其两端分别设有螺母套7；
[0025]陶瓷保护套8，与热丝夹头2可拆卸连接，陶瓷保护套8上对称设有两个呈L型的卡槽801。本专利技术中，电极10设置在安装载体4上，热丝夹头2底部可拆卸地设有热丝3，热丝夹头2放置在陶瓷保护套8内并通过顶丝802与陶瓷保护套8固定连接，安装时，将热丝夹头2顶部设有的插孔套在电极10底部，螺纹杆6两端从卡槽801顶部进入到卡槽801内，再转动陶瓷保护套8，使螺纹杆6两端分别与卡槽801一端配合，实现卡槽801壁体对螺纹杆6支撑，使电极10与热丝夹头2拆卸和安装简便，同时方便更换热丝3。具体的，热丝3通过螺钉固定在热丝夹头2上；卡槽801呈L型，其拐角处经倒圆角处理，方便螺纹杆6移动；陶瓷保护套8上设有若干个顶丝802；电极10通过螺钉固定在安装载体4上。
[0026]作为本专利技术的优选实施例，其还可具有以下附加技术特征：
[0027]本实施例中，热丝夹头2内壁上设有若干个环形凹槽201；还包括若干个导电环形弹性件9，其分别设置在环形凹槽201内。具体的，导电环形弹性件9为环形弹簧，导电环形弹性件9具有弹性，设置在热丝夹头2和短电极102之间起到很好的衔接作用，避免热丝夹头2和短电极102之间存在间隙造成短路。
[0028]本实施例中，电极10由长电极101和短电极102组成，长电极101与短电极102螺纹连接，提高实用性，方便更换。
[0029]本实施例中，长电极101上设有法兰，装置通过法兰与外部物体连接固定，使其悬挂在空中。
[0030]需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
[0031]尽管已经示出和描述了本专利技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以
理解在不脱离本专利技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本专利技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种悬挂式快速拆装装置，包括电极(10)、热丝夹头(2)和热丝(3)，所述热丝夹头(2)底部可拆卸地设有所述热丝(3)，其特征在于，所述热丝夹头(2)顶部设有插孔，所述电极(10)底部与所述插孔滑动配合；还包括：安装载体(4)，其上可拆卸地设有所述电极(10)；陶瓷管(5)，套设在所述电极(10)上；锁紧装置，其包括螺纹杆(6)和两个螺母套(7)，所述螺纹杆(6)穿过所述陶瓷管(5)和所述电极(10)，其两端分别设有所述螺母套(7)；陶瓷保护套(8)，与所述热丝夹头(2)可拆卸连接，所述陶瓷保护套...

【专利技术属性】
技术研发人员：代和松，刘翠翠，
申请(专利权)人：江西汉可泛半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：