炉管装置制造方法及图纸

本申请涉及一种炉管装置，炉管装置包括反应容器、收集容器以及温控组件，温控组件包括连接管、温控部、第一采集部以及第一控制器，温控部包覆于连接管，第一采集部镶嵌于温控部内并被配置为采集连接管的第一温度信息，第一控制器被配置为根据第一温度信息调节温控部的温度，以使连接管的温度在预设阈值范围内。本申请实施例能够更精准的控制连接管的温度，从而提高炉管装置的运行效率及安全可靠性。而提高炉管装置的运行效率及安全可靠性。而提高炉管装置的运行效率及安全可靠性。

【技术实现步骤摘要】
炉管装置


[0001]本技术涉及半导体制造领域，特别是涉及一种炉管装置。

技术介绍

[0002]在现有的氮化硅炉管中，为了保证氮化硅炉管中真空管的温度稳定，通常采用外置热电偶控温方式调节温度，即将热电偶设置在真空管与加热带之间。
[0003]而此方式设置，会产生至少以下两个问题：1)外置热电偶因受热形变发生移位；2)外置热电偶需要人为绑定，导致其绑定位置的准确性降低。以上问题均会导致外置热电偶不能精准地检测真空管的温度，从而降低氮化硅炉管的运行效率。

技术实现思路

[0004]本申请提供一种炉管装置，能够更精准的控制连接管的温度，从而提高炉管装置的运行效率及安全可靠性。
[0005]根据本申请实施例提出了一种炉管装置，包括：反应容器，具有容纳腔，反应容器包括进管、沉积室以及出管，进管用于将第一物质以及第二物质引导进入容纳腔，第一物质与第二物质在容纳腔内反应形成第三物质与反应物，沉积室用于承装第三物质，反应物由出管排出；收集容器，包括收集管以及驱动管，收集管用于收集至少部分反应物，驱动管连接有驱动泵，以驱动反应物由反应容器向收集容器运行；温控组件，连通于出管与收集管之间，温控组件包括连接管、温控部、第一采集部以及第一控制器，温控部包覆于连接管，第一采集部镶嵌于温控部内并被配置为采集连接管的第一温度信息，第一控制器被配置为根据第一温度信息调节温控部的温度，以使连接管的温度在预设阈值范围内。
[0006]根据本申请实施例的一个方面，温控组件还包括第二采集部以及第二控制器，第二采集部镶嵌于温控部内并被配置为采集连接管的第二温度信息，第二控制器被配置为根据第二温度信息低于第一预定值或者超出第二预定值时发出告警信号。
[0007]根据本申请实施例的一个方面，温控部包括层叠设置的绝缘层以及加热层，第一采集部以及第二采集部镶嵌于绝缘层与加热层之间。
[0008]根据本申请实施例的一个方面，加热层设置于温控部靠近连接管的一侧，绝缘层设置于温控部远离连接管的一侧。
[0009]根据本申请实施例的一个方面，温控部还包括第一表层以及第二表层，第一表层设置于绝缘层远离连接管的一侧，第二表层设置于加热层靠近连接管的一侧。
[0010]根据本申请实施例的一个方面，连接管包括相继设置并依次连通的第一弯折管、第二竖直管、第三弯折管以及第四弯折管，第一弯折管与出管连通，第四弯折管与收集管连通。
[0011]根据本申请实施例的一个方面，第四弯折管的体积分别大于第一弯折管、第二竖直管、第三弯折管的体积。
[0012]根据本申请实施例的一个方面，温控部包括相继设置并依次连接的第一温控段、
第二温控段、第三温控段以及第四温控段，第一控温段包覆于第一弯折管，第二控温段包覆于第二竖直管，第三控温段包覆于第三弯折管，第四控温段包覆于第四弯折管；第一温控段、第二温控段、第三温控段以及第四温控段分别设置有第一采集部、第一控制器、第二采集部、第二控制器。
[0013]根据本申请实施例的一个方面，炉管装置还包括多个连接件，第一弯折管、第二竖直管、第三弯折管以及第四弯折管分别通过连接件连通。
[0014]根据本申请实施例的一个方面，炉管装置还包括调温件，调温件设置于收集管并被配置为调节收集管内的反应物的温度。
[0015]本申请实施例提供的炉管装置，包括反应容器、收集容器以及温控组件。其中，温控组件包括连接管、温控部、第一采集部以及第一控制器，温控部包覆于连接管，第一采集部镶嵌于温控部内并被配置为采集连接管的第一温度信息，第一控制器被配置为根据第一温度信息调节温控部的温度，以使连接管的温度在预设阈值范围内。通过将第一采集部镶嵌于温控部内，能够防止其因受热形变发生移位，并且此设置也无需人为进行绑定，利于提高第一采集部采集连接管的第一温度信息的精准性，使得第一控制器能够更精准的控制连接管的温度，提高连接管的可靠性，从而提高收集容器的收集效率，进一步提高炉管装置的运行效率及安全可靠性。
附图说明
[0016]下面将参考附图来描述本申请示例性实施例的特征、优点和技术效果。
[0017]图1为本申请一个实施例的炉管装置的部分结构示意图；
[0018]图2为图1所示的炉管装置中温控部的部分结构爆炸示意图；
[0019]图3为图1中P处的放大结构示意图。
[0020]其中：
[0021]10
‑
反应容器；10a
‑
容纳腔；11
‑
进管；12
‑
沉积室；13
‑
出管；
[0022]20
‑
收集容器；21
‑
收集管；22
‑
驱动管；
[0023]31
‑
连接管；31a
‑
第一弯折管；31b
‑
第二竖直管；31c
‑
第三弯折管；31d
‑
第四弯折管；
[0024]32
‑
温控部；321
‑
绝缘层；322
‑
加热层；323
‑
第一表层；324
‑
第二表层；32a
‑
第一温控段；32b
‑
第二温控段；32c
‑
第三温控段；32d
‑
第四温控段；
[0025]33
‑
第一采集部；34
‑
第二采集部；40
‑
连接件。
具体实施方式
[0026]下面将详细描述本申请的各个方面的特征和示例性实施例。在下面的详细描述中，提出了许多具体细节，以便提供对本申请的全面理解。但是，对于本领域技术人员来说很明显的是，本申请可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本申请的示例来提供对本申请的更好的理解。在附图和下面的描述中，至少部分的公知结构和技术没有被示出，以便避免对本申请造成不必要的模糊；并且，为了清晰，可能夸大了部分结构的尺寸。此外，下文中所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。
[0027]下述描述中出现的方位词均为图中示出的方向，并不是对本申请的炉管装置进行限定。在本申请的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可视具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0028]为了更好地理解本申请，下面结合图1至图3根据申请实施例的炉管装置进行详细描述。
[0029]请参阅图1至图3，根据本申请实施例提出了一种炉管装置，包括反应容器10、收集容器20以及温控组件。反应容器10具有容纳腔10a，反应容器10包括进管11、沉本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种炉管装置，其特征在于，包括：反应容器，具有容纳腔，所述反应容器包括进管、沉积室以及出管，所述进管用于将第一物质以及第二物质引导进入所述容纳腔，所述第一物质与所述第二物质在所述容纳腔内反应形成第三物质与反应物，所述沉积室用于承装所述第三物质，所述反应物由所述出管排出；收集容器，包括收集管以及驱动管，所述收集管用于收集至少部分所述反应物，所述驱动管连接有驱动泵，以驱动所述反应物由所述反应容器向所述收集容器运行；温控组件，连通于所述出管与所述收集管之间，所述温控组件包括连接管、温控部、第一采集部以及第一控制器，所述温控部包覆于所述连接管，所述第一采集部镶嵌于所述温控部内并被配置为采集所述连接管的第一温度信息，所述第一控制器被配置为根据所述第一温度信息调节所述温控部的温度，以使所述连接管的温度在预设阈值范围内。2.根据权利要求1所述的炉管装置，其特征在于，所述温控组件还包括第二采集部以及第二控制器，所述第二采集部镶嵌于所述温控部内并被配置为采集所述连接管的第二温度信息，所述第二控制器被配置为根据所述第二温度信息低于第一预定值或者超出第二预定值时发出告警信号。3.根据权利要求2所述的炉管装置，其特征在于，所述温控部包括层叠设置的绝缘层以及加热层，所述第一采集部以及所述第二采集部镶嵌于所述绝缘层与所述加热层之间。4.根据权利要求3所述的炉管装置，其特征在于，所述加热层设置于所述温控部靠近所述连接管的一侧，所述绝缘层设置于所述温控部远离所述连接管...

【专利技术属性】
技术研发人员：范宜灏，杨春健，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：新型
国别省市：