本发明专利技术公开了一种圆管外壁镀膜装置，包括第一安装板，该第一安装板上滑动连接有第二安装板和样品管组件，第二安装板上滑动连接有第三安装板和第四安装板，第四安装板上设雾化源组件，第三安装板上设加热组件；加热组件包括第一支架，第一支架上设加热管，加热管从外向内依次包括加热体外管、加热体内管、双螺旋硅碳棒和导气管，导气管的一端与输入风机连通，其另一端连接气体喷嘴，气体喷嘴正对样品管组件的样品管，第二安装板的移动方向与所述样品管的轴心线相平行。本方案采用了气体加热方式，利用高温气体实现样品管镀膜区域的制备温度，对待镀膜样品的适应性更强。对待镀膜样品的适应性更强。对待镀膜样品的适应性更强。
【技术实现步骤摘要】
一种圆管外壁镀膜装置
[0001]本专利技术涉及薄膜制备
，具体涉及一种圆管外壁镀膜装置。
技术介绍
[0002]薄膜材料有广泛的用途，从科研到生产，从工业行业到日常生活无处不见薄膜的身影。由于薄膜成分、形态和应用条件的千差万别，制备薄膜的方法也多种多样，目前广泛使用的薄膜制备方法有几十种之多，其中喷雾热解法就是常见的一种。这种方法本质上属于化学制膜方法，主要环节包括前驱体的雾化、前驱体气溶胶的输运、热分解成膜和尾气处置。由于这种方法原料可选择性大、设备结构简单、操作方便安全、二次污染轻微、生产效率高和综合成本低等优点，在科研和生产中使用规模都比较大。
[0003]喷雾热解法在平面衬底(薄膜附着的固体材料)上制膜时，通常都需要对衬底进行加热，以实现前驱体物料在近衬底表面热分解所需要的温度，加热方式主要是电加热(电阻丝、碘钨灯烘烤等)。如果是在圆管材料外壁上使用喷雾热解法来制膜，采用常规的电阻加热方式会存在一定的困难，特别是小管径圆管样品，其内部空间有限，加热元件很难布局。如果需要的样品的管径有变化，那么传统方式就更难有效发挥作用了。
技术实现思路
[0004]针对目前存在的技术问题，本专利技术提供一种圆管外壁镀膜装置，采用了新的加热方式，可以方便实现不同外径和长度的样品管外壁镀膜的需求。
[0005]为了实现上述专利技术目的，本专利技术提供了以下技术方案：
[0006]一种圆管外壁镀膜装置，包括第一安装板，该第一安装板上滑动连接有第二安装板和样品管组件，所述第二安装板上滑动连接有第三安装板和第四安装板，所述第四安装板上设雾化源组件，所述第三安装板上设加热组件；
[0007]所述加热组件包括固定在所述第三安装板上的第一支架，所述第一支架上沿水平方向设加热管，所述加热管从外向内依次包括加热体外管、加热体内管、双螺旋硅碳棒和导气管，所述加热体外管、加热体内管、双螺旋硅碳棒和导气管同轴设置，所述导气管的一端与输入风机连通，其另一端连接气体喷嘴，所述双螺旋硅碳棒伸出所述加热体外管和所述加热体内管的一端设加热电极；所述气体喷嘴正对样品管组件的样品管，所述第三安装板在移动过程中能带动所述加热组件向远离或靠近所述样品管的方向移动，所述第四安装板在移动过程中能带动所述雾化源组件向远离或靠近所述样品管的方向移动，所述第二安装板的移动方向与所述样品管的轴心线相平行。
[0008]上述技术方案，使用时通过加热电极接通电源，进入导气管的气体获得来自双螺旋硅碳棒辐射的热量，利用加热后的气体对样品管进行加热，可获得较高的加热效率；同时第三安装板能带动加热组件向远离或靠近样品管的方向移动，以调整气体喷嘴与样品管之间的距离，第四安装板能带动所述雾化源组件向远离或靠近样品管的方向移动，以调整雾化源组件中的气溶胶喷嘴与样品管之间的距离，用来适应不同样品管管径的薄膜制备，且
第二安装板移动方向与所述样品管的轴心线相平行，以使雾化源组件与加热组件沿样品管长度方向移动，实现了在圆管外壁上无掩膜版辅助情况下的局部成膜。
[0009]优选的，所述导气管内设螺纹槽柱，该螺纹槽柱与所述导气管同轴设置。
[0010]如此设置，能够使进入导气管的气体最大可能的获得来自双螺旋硅碳棒辐射的热量，获得较高的加热效率。
[0011]优选的，在所述加热体外管和所述加热体内管之间、所述加热体内管和所述双螺旋硅碳棒之间均分布有C型垫环。
[0012]如此设置，通过设置C型垫环来保证结构的稳定和同轴性。
[0013]优选的，所述雾化源组件包括固定在所述第四安装板上的雾化罐，所述雾化罐的出口端连通气溶胶管的一端，所述气溶胶管的另一端连通气溶胶喷嘴，所述气溶胶喷嘴的入射方向与所述样品管的轴心线之间形成夹角。
[0014]优选的，所述气溶胶管包括竖直管段、水平管段和倾斜管段，所述竖直管段的下端与所述雾化罐的出口端连通，其上端与所述水平管段连通，所述水平管段的另一端与所述倾斜管段的下端连通，所述倾斜管段的上端连通所述气溶胶喷嘴；在所述水平管段上设有向下延伸的回流储液腔，该回流储液腔与所述水平管段的内腔连通。
[0015]如此设置，气溶胶具有与管道内部碰撞后凝结为液体的性质，因此设计了回流储液腔，用于收集上述凝结液体，避免重力作用下回流到雾化杯中造成污染。
[0016]优选的，所述样品管组件包括两组第二支架，两组所述第二支架之间的距离能够调节，在两组所述第二支架之间通过样品固定杆可转动地连接有所述样品管，所述样品固定杆由驱动电机进行驱动，且所述驱动电机与电机调速器电连接。
[0017]如此设置，两组第二支架之间的距离能够调节可以适应不同长度的样品管的镀膜要求，同时样品管的旋转方向和速度由样品管电机调速器来调节。
[0018]优选的，所述第一支架上还固定有隔热罩，所述加热管位于该隔热罩内。
[0019]优选的，还包括尾气收集组件，所述尾气收集组件包括位于所述样品管上方的尾气罩，该尾气罩通过尾气管道与抽排风机连通。
[0020]与现有技术相比，本专利技术的有益效果：
[0021](1)本方案采用了气体加热方式，利用高温气体实现样品管镀膜区域的制备温度，有别于常规的电加热方式，对待镀膜样品的适应性更强，这种加热方式可以方便的移植到平面样品镀膜的情况；
[0022](2)本方案雾化源组件中的气溶胶喷嘴相对于样品管轴线方向可以纵向运动，，因此可以实现在圆管外壁上无掩膜版辅助情况下的局部成膜；
[0023](3)本方案可以适应一定范围内不同长度和不同管径的样品管的外壁镀膜，具有较大的灵活性。
附图说明：
[0024]图1为本专利技术的结构示意图；
[0025]图2为图1去掉主机箱后的另一个角度的结构示意图；
[0026]图3为图1中的加热组件、尾气收集组件和样品管的装配示意图；
[0027]图4为图1中的加热管的剖视图。
具体实施方式
[0028]下面结合试验例及具体实施方式对本专利技术作进一步的详细描述。但不应将此理解为本专利技术上述主题的范围仅限于以下的实施例，凡基于本
技术实现思路
所实现的技术均属于本专利技术的范围。
[0029]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0030]在本专利技术的描述中，除非另有规定和限定，需要说明的是，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是机械连接或电连接，也可以是两个元件内部的连通，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
[0031]如附图1
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附图4所示的一种圆管本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种圆管外壁镀膜装置，其特征在于：包括第一安装板(1)，该第一安装板(1)上滑动连接有第二安装板(2)和样品管组件，所述第二安装板(2)上滑动连接有第三安装板(3)和第四安装板(4)，所述第四安装板(4)上设雾化源组件，所述第三安装板(3)上设加热组件；所述加热组件包括固定在所述第三安装板(3)上的第一支架(501)，所述第一支架(501)上沿水平方向设加热管，所述加热管从外向内依次包括加热体外管(51)、加热体内管(52)、双螺旋硅碳棒(53)和导气管(54)，所述加热体外管(51)、加热体内管(52)、双螺旋硅碳棒(53)和导气管(54)同轴设置，所述导气管(54)的一端与输入风机(50)连通，其另一端连接气体喷嘴(59)，所述双螺旋硅碳棒(53)伸出所述加热体外管(51)和所述加热体内管(52)的一端设加热电极(55)；所述气体喷嘴(59)正对样品管组件的样品管(6)，所述第三安装板(3)在移动过程中能带动所述加热组件向远离或靠近所述样品管(6)的方向移动，所述第四安装板(4)在移动过程中能带动所述雾化源组件向远离或靠近所述样品管(6)的方向移动，所述第二安装板(2)的移动方向与所述样品管(6)的轴心线相平行。2.根据权利要求1所述的一种圆管外壁镀膜装置，其特征在于：所述导气管(54)内设螺纹槽柱(58)，该螺纹槽柱(58)与所述导气管(54)同轴设置。3.根据权利要求1所述的一种圆管外壁镀膜装置，其特征在于：在所述加热体外管(51)和所述加热体内管(52)之间、所述加热体内管(52)和所述双螺旋硅碳棒(53)之间均分布有C型垫环(56)。4.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：龚恒翔，
申请(专利权)人：重庆理工大学，
类型：发明
国别省市：
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