一种基于化学气相沉积炉的保温套件及组装方法技术

本发明专利技术提供了一种基于化学气相沉积炉的保温套件及组装方法，包括至少两个保温组件，所述保温组件之间连接形成环形结构；其中，所述保温组件包括第一保温块和第二保温块；第一保温块包括第一支撑部和突出于所述第一支撑部的第一凸起；第二保温块设置有与所述第一凸起匹配连接的第一凹陷。相比于现有技术，本发明专利技术提供的保温套件，通过上述结构进行叠加组装，克服了只能依靠人工操作手法来保证更换后保温层的质量问题，有效解决了目前化学气相沉积炉的保温材料更换繁琐且更换后易出现温度分布不均匀的问题，保证了产品质量的一致性。保证了产品质量的一致性。保证了产品质量的一致性。

【技术实现步骤摘要】
一种基于化学气相沉积炉的保温套件及组装方法


[0001]本专利技术涉及保温处理
，具体涉及一种基于化学气相沉积炉的保温套件及组装方法。

技术介绍

[0002]化学气相沉积炉是利用感应加热原理，广泛应用于碳/碳复合材料沉积热解碳处理。当感应炉作为沉积设备时，需要对其发热体外侧进行保温处理，以尽量保持恒温区的温度一致。常见的外层保温层是使用碳毡作为保温材料通过缠绕的方式制成保温层。其中，保温材料属于炉膛中较为贵重且易损耗的材料，具有多孔性，长期的连续使用会使碳毡有一定量的损失，且若高温炉因操作不慎或配件损耗进入氧气，会使碳毡严重氧化，内层高温部分会受到严重损失。因此，在达到一定使用寿命时，需要打开炉门，抽出发热腔做更换。
[0003]以碳毡为例，目前的更换步骤为：待化学气相沉积炉降至室温后，打开炉盖，取出需要更换的碳毡保温层，再将新的碳毡保温层沿发热体外侧一圈圈进行缠绕，缠绕和剪裁成需要的形状和大小后，关闭炉盖继续进行生产。在缠绕过程中，因保温层各处的连接，以及层与层之间的紧密程度都是由人工操作，因此保温层之间的紧密程度与个人操作有关本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于化学气相沉积炉的保温套件，其特征在于，包括至少两个保温组件，所述保温组件之间连接形成环形结构；其中，所述保温组件包括：第一保温块，包括第一支撑部和突出于所述第一支撑部的第一凸起；第二保温块，设置有与所述第一凸起匹配连接的第一凹陷。2.根据权利要求1所述的基于化学气相沉积炉的保温套件，其特征在于，所述保温组件之间通过榫卯连接形成环形结构。3.根据权利要求2所述的基于化学气相沉积炉的保温套件，其特征在于，保温套件由两个、三个、四个、五个或六个所述保温组件组成。4.根据权利要求3所述的基于化学气相沉积炉的保温套件，其特征在于，保温套件由四个大小相同的所述保温组件组成。5.根据权利要求1所述的基于化学气相沉积炉的保温套件，其特征在于，所述第一凸起与所述第一凹陷为榫卯连接。6.根据权利要求1～5任一项所述的基于化学气相沉积炉的保温套件，其特征在于，所述保温组件还包括第三保温块，所述第三保温块包括第二支撑部和突出于所述第二支撑部的第二凸起；所述第二保温块...

【专利技术属性】
技术研发人员：李爱军，季志豪，霍彩霞，白瑞成，涂建新，屠俊阳，周亚迪，郝魁，张方舟，
申请(专利权)人：上海大学绍兴研究院，
类型：发明
国别省市：