下载一种基于化学气相沉积炉的保温套件及组装方法的技术资料

文档序号:38858432

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种基于化学气相沉积炉的保温套件及组装方法,包括至少两个保温组件,所述保温组件之间连接形成环形结构;其中,所述保温组件包括第一保温块和第二保温块;第一保温块包括第一支撑部和突出于所述第一支撑部的第一凸起;第二保温块设置有与所述第...
该专利属于上海大学绍兴研究院所有,仅供学习研究参考,未经过上海大学绍兴研究院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。