一种便于热丝与电极连接用的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种便于热丝与电极连接用的装置，包括热丝和电极，还包括：壳体、安装座、连接套、旋套和导电热丝夹头，所述壳体与所述安装座可拆地连接，所述连接套端部分别与所述安装座和所述旋套可拆地连接，所述导电热丝夹头设置在所述旋套内，所述电极一端穿过所述壳体、安装座和连接套设置在所述导电热丝夹头内，所述热丝可拆地设置在所述导电热丝夹头上。本实用新型专利技术中，热丝通过导电热丝夹头内的导电环形弹簧与电极方便快速连接，并有效传递电能，且安装安装和拆卸方便；连接套和旋套使用陶瓷材料连接，安装与拆卸方便且不易导电；壳体上设置有冷却槽，便于降低整个装置的温度。度。度。

【技术实现步骤摘要】
一种便于热丝与电极连接用的装置


[0001]本技术涉及热丝固定
，尤其是一种便于热丝与电极连接用的装置。

技术介绍

[0002]热丝CVD一种较为新颖的半导体化学气相沉积镀膜设备。其中热丝是使用过程中的一类关键耗材，需经常更换。以前一般采用螺丝锁定或简单的螺丝+夹板夹紧的方式将热丝固定在热丝电极上，拆卸很不方便，尤其是在大面积镀膜，需要按照多根热丝的情况下。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决上述技术问题，而提供一种便于热丝与电极连接用的装置。
[0004]本技术的技术方案：一种便于热丝与电极连接用的装置，包括热丝和电极，还包括：壳体、安装座、连接套、旋套和导电热丝夹头，所述壳体与所述安装座可拆卸地连接，所述连接套端部分别与所述安装座和所述旋套可拆卸地连接，所述导电热丝夹头设置在所述旋套内，所述电极一端穿过所述壳体、安装座和连接套设置在所述导电热丝夹头内，所述热丝可拆卸地设置在所述导电热丝夹头上。
[0005]优选的，所述连接套为陶瓷连接套，所述旋套为陶瓷旋套；还包括陶瓷管，所述陶瓷管设置在所述壳体和所述安装座内。
[0006]优选的，所述导电热丝夹头内设置有导电环形弹簧。
[0007]优选的，所述电极由法兰电极和电极延长杆组成，所述法兰电极和电极延长杆可拆卸地连接。
[0008]优选的，所述壳体上设置有冷却槽。
[0009]本技术的有益效果是：本技术中，热丝通过导电热丝夹头内的导电环形弹簧与电极方便快速连接，并有效传递电能，且安装安装和拆卸方便；连接套和旋套使用陶瓷材料连接，安装与拆卸方便且不易导电；壳体上设置有冷却槽，便于降低整个装置的温度。
附图说明
[0010]图1是本技术优选实施例的整体结构剖视图。
[0011]附图标记：热丝10、电极2、法兰电极21、电极延长杆22、壳体3、安装座4、连接套5、旋套6、导电热丝夹头7、导电环形弹簧71、陶瓷管8。
具体实施方式
[0012]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0013]参照图1，一种便于热丝与电极连接用的装置，包括热丝10和电极2，还包括：壳体3、安装座4、连接套5、旋套6和导电热丝夹头7，壳体3与安装座4可拆卸地连接，连接套5端部分别与安装座4和旋套6可拆卸地连接，导电热丝夹头7设置在旋套6内，电极2一端穿过壳体3、安装座4和连接套5设置在导电热丝夹头7内，热丝10可拆卸地设置在导电热丝夹头7上。本技术中，壳体3与安装座4通过螺钉连接，连接套5一端与安装座4通过螺钉连接，连接套5另一端与旋套6螺纹连接，电极2一端与外部电源连接，电极2通电通过导电热丝夹头7将电能传导到热丝10，使热丝10发热，需要拆下热丝10时，拧下旋套6接口。具体的，螺钉穿过旋套6将热丝10固定在导电热丝夹头7上。
[0014]作为本技术的优选实施例，其还可具有以下附加技术特征：
[0015]本实施例中，连接套5为陶瓷连接套，旋套6为陶瓷旋套；还包括陶瓷管8，陶瓷管8设置在壳体3和安装座4内，陶瓷管8套在电极2上，使带电体与外部隔离绝缘，起到保护作用。
[0016]本实施例中，导电热丝夹头7内设置有导电环形弹簧71，起到固定作用，同时便于传递电能。
[0017]本实施例中，电极2由法兰电极21和电极延长杆22组成，法兰电极21和电极延长杆22可拆卸地连接，法兰电极21和电极延长杆2通过螺纹连接。
[0018]本实施例中，壳体3上设置有冷却槽，需要对装置冷却时，冷却水从冷却槽流过，带走装置上的热量。
[0019]需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
[0020]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于热丝与电极连接用的装置，包括热丝(10)和电极(2)，其特征在于，还包括：壳体(3)、安装座(4)、连接套(5)、旋套(6)和导电热丝夹头(7)，所述壳体(3)与所述安装座(4)可拆卸地连接，所述连接套(5)端部分别与所述安装座(4)和所述旋套(6)可拆卸地连接，所述导电热丝夹头(7)设置在所述旋套(6)内，所述电极(2)一端穿过所述壳体(3)、安装座(4)和连接套(5)设置在所述导电热丝夹头(7)内，所述热丝(10)可拆卸地设置在所述导电热丝夹头(7)上。2.根据权利要求1所述的一种便于热丝与电极连接用的装置，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘翠翠，代和松，
申请(专利权)人：江西汉可泛半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：