本实用新型专利技术公开了一种具有多喷淋管的管组结构及前驱体封装装置。所述管组结构包括：至少一个喷淋管组，所述喷淋管组包括至少一环形管和多个支路管，多个所述支路管沿所述环形管的周向方向间隔设置，每一所述支路管的一端还与所述环形管连接并导通，其中，所述环形管和支路管中的至少一者上还设置有与自身内部管腔连通的气管口。本实用新型专利技术实施例提供的一种具有多喷淋管的管组结构，改善了封装容器内部的进气分布均匀性，增大了载气与固态前躯体接触面积，解决了随着前躯体使用消耗出现的封装容器内前躯体浓度波动的问题。装容器内前躯体浓度波动的问题。装容器内前躯体浓度波动的问题。
【技术实现步骤摘要】
具有多喷淋管的管组结构及前驱体封装装置
[0001]本技术特别涉及一种具有多喷淋管的管组结构及前驱体封装装置，属于半导体
技术介绍
[0002]前躯体是薄膜沉积工艺的重要原材料，应用于气相沉积以形成符合半导体制造要求的各类薄膜层，广泛运用在LED、新一代太阳能电池、相变存储器、半导体激光器、射频集成电路芯片等领域。
[0003]前躯体作为半导体芯片制造的关键材料，其纯度和蒸气压稳定性直接影响成膜质量。通常使用钢瓶对前躯体材料进行填充封装，在使用时通过前躯体封装钢瓶来供给气相沉积设备，随着钢瓶中前躯体消耗，载气通过前躯体时接触面积和路径逐渐减小，影响钢瓶内前躯体浓度，尤其是固态前躯体更为严重，并伴随沟流、板结等现象，严重造成工艺波动，同时降低固态前躯体的使用效率，造成工艺不稳定，需要提前更前躯体钢瓶造成前躯体浪费，导致生长设备停机，降低设备镓动率。
技术实现思路
[0004]本技术的主要目的在于提供一种具有多喷淋管的管组结构及前驱体封装装置，从而克服现有技术中的不足。
[0005]为实现前述技术目的，本技术采用的技术方案包括：
[0006]本技术实施例提供了一种具有多喷淋管的管组结构，包括：至少一个喷淋管组，所述喷淋管组包括至少一环形管和多个支路管，多个所述支路管沿所述环形管的周向方向间隔设置，每一所述支路管的一端还与所述环形管连接并导通，其中，所述环形管和支路管中的至少一者上还设置有与自身内部管腔连通的气管口。
[0007]在一些具体的实施方式中，所述支路管上的气管口位于所述支路管的端部和/或位于两端部之间的区域。
[0008]在一些具体的实施方式中，所述支路管上设置有多个气管口，多个所述气管口等间距分布。
[0009]在一些具体的实施方式中，所述支路管为直线形管。
[0010]在一些具体的实施方式中，多个所述支路管沿所述环形管的周向方向等间距分布。
[0011]在一些具体的实施方式中，多个所述支路管呈镜像对称分布。
[0012]在一些具体的实施方式中，所述环形管和多个支路管位于同一平面内。
[0013]在一些具体的实施方式中，所述环形管和多个支路管整体为镜像对称结构。
[0014]在一些具体的实施方式中，所述环形管上设置有多个气管口，多个所述气管口沿所述环形管的周向方向依次间隔分布。
[0015]在一些具体的实施方式中，所述环形管上的多个气管口等间距分布。
[0016]在一些具体的实施方式中，所述环形管上的多个气管口呈镜像对称分布。
[0017]在一些具体的实施方式中，所述环形管为镜像对称结构。
[0018]在一些具体的实施方式中，所述环形管包括圆环形管。
[0019]在一些具体的实施方式中，所述喷淋管组包括多个环形管，任意两个所述环形管所围合形成的空间的正投影面积不同，其中，任一所述环形管环绕设置在另一所述环形管的外围，或者，任一所述环形管设置在由另一所述环形管围合形成的空间内，相邻两个所述环形管之间具有间隙，且相邻两个所述环形管还经所述支路管连接并导通。
[0020]在一些具体的实施方式中，多个所述环形管同轴设置。
[0021]在一些具体的实施方式中，多个所述环形管等间距设置。
[0022]在一些具体的实施方式中，所述喷淋管组还包括至少一中心连接管，所述中心连接管设置在由位于最内层的一环形管围合形成的空间内，且所述中心连接管的两端部均与位于最内层的环形管连接并导通。
[0023]在一些具体的实施方式中，所述中心连接管的端部和/或中心连接管位于两端部之间的区域还设置有与自身内部管腔连通的气管口。
[0024]在一些具体的实施方式中，所述环形管、支路管、中心连接管的管径相同或不同，设置于所述环形管、支路管、中心连接管上的气管口的口径相同或不同。
[0025]在一些具体的实施方式中，所述喷淋管组包括多个中心连接管，多个中心连接管之间还相互交叉并导通。
[0026]在一些具体的实施方式中，多个所述中心连接管具有同一交叉连通位置。
[0027]在一些具体的实施方式中，多个所述中心连接管的交叉连通位置位于与之连通的环形管的几何中心位置。
[0028]在一些具体的实施方式中，多个所述中心连接管的交叉连通位置处还设置有气管口。
[0029]在一些具体的实施方式中，多个所述中心连接管整体为镜像对称结构。
[0030]在一些具体的实施方式中，所述环形管、多个支路管以及中心连接管位于同一平面内。
[0031]在一些具体的实施方式中，所述喷淋管组整体为镜像对称结构。
[0032]在一些具体的实施方式中，所述具有多喷淋管的管组结构包括：多个具有不同尺寸的喷淋管组，其中一个所述喷淋管组的环形管、支路管、中心连接管中至少一者还与另一喷淋管组的环形管、支路管、中心连接管中至少一者连接并导通。
[0033]在一些具体的实施方式中，所述具有多喷淋管的管组结构整体为镜像对称结构。
[0034]本技术实施例还提供了一种前驱体封装装置，包括封装容器、进气管和出气管，所述进气管和出气管分别与所述封装容器内部的封装腔室相连通，以及，
[0035]所述的具有多喷淋管的管组结构，所述具有多喷淋管的管组结构设置在所述封装腔室内，或者，所述具有多喷淋管的管组结构一体设置在所述封装容器的容器壁或容器盖的内部，且所述具有多喷淋管的管组结构还与所述进气管、封装腔室相连通。
[0036]在一些具体的实施方式中，所述出气管的一端位于所述封装腔室的底部区域。
[0037]与现有技术相比，本技术的优点包括：
[0038]1)本技术实施例提供的一种具有多喷淋管的管组结构，改善了封装容器内部
的进气分布均匀性，增大了载气与固态前躯体接触面积，解决了随着前躯体使用消耗出现的封装容器内前躯体浓度波动的问题，
[0039]2)本技术实施例提供的一种具有多喷淋管的管组结构，改善了固态前躯体的沟流现象，提高了气相沉积工艺稳定性，且极大延长了固态前躯体的使用周期，提高了设备的镓动率：
[0040]3)本技术实施例提供的一种具有多喷淋管的管组结构，还降低了由于前躯体浓度不稳而导致的频繁更换前躯体封装容器造成的前躯体浪费和误操作带来的工艺报废，进而降低了生产成本。
附图说明
[0041]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0042]图1是本技术实施例1中提供的一种具有多喷淋管的管组结构的结构示意图；
[0043]图2是本技术实施例2中提供的一种具有多喷淋管的管组结构的结构示意图；
[004本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有多喷淋管的管组结构，其特征在于，包括：至少一个喷淋管组，所述喷淋管组包括至少一环形管和多个支路管，多个所述支路管沿所述环形管的周向方向间隔设置，每一所述支路管的一端还与所述环形管连接并导通，其中，所述环形管和支路管中的至少一者上还设置有与自身内部管腔连通的气管口。2.根据权利要求1所述的具有多喷淋管的管组结构，其特征在于：所述支路管上的气管口位于所述支路管的端部和/或位于两端部之间的区域；和/或，所述支路管上设置有多个气管口，多个所述气管口等间距分布；和/或，所述支路管为直线形管。3.根据权利要求1所述的具有多喷淋管的管组结构，其特征在于：多个所述支路管沿所述环形管的周向方向等间距分布；和/或，多个所述支路管呈镜像对称分布。4.根据权利要求3所述的具有多喷淋管的管组结构，其特征在于：所述环形管和多个支路管位于同一平面内；和/或，所述环形管和多个支路管整体为镜像对称结构。5.根据权利要求1所述的具有多喷淋管的管组结构，其特征在于：所述环形管上设置有多个气管口，多个所述气管口沿所述环形管的周向方向依次间隔分布；和/或，所述环形管上的多个气管口等间距分布；和/或，所述环形管上的多个气管口呈镜像对称分布；和/或，所述环形管为镜像对称结构；和/或，所述环形管包括圆环形管。6.根据权利要求1或5所述的具有多喷淋管的管组结构，其特征在于：所述喷淋管组包括多个环形管，任意两个所述环形管所围合形成的空间的正投影面积不同，其中，任一所述环形管环绕设置在另一所述环形管的外围，或者，任一所述环形管设置在由另一所述环形管围合形成的空间内，相邻两个所述环形管之间具有间隙，且相邻两个所述环形管还经所述支路管连接并导通；和/或，多个所述环形管同轴设置；和/或，多个所述环形管等间距设置。7.根据权利要求6所述的具有多喷淋管的管组结构，其特征在于：所述喷淋管组还...
【专利技术属性】
技术研发人员：闫其昂，王国斌，
申请(专利权)人：江苏第三代半导体研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：
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