气瓶柜装置及其控制方法、化学沉积系统制造方法及图纸

本申请涉及一种气瓶柜装置及其控制方法、化学沉积系统。所述气瓶柜装置包括：储液瓶以及气体管路，所述储液瓶用于存放反应液；所述气体管路包括：载气管路，连接载气气源与所述储液瓶，用于在工艺反应时向所述储液瓶内吹入载气，以进行工艺反应；吹气管路，连接吹气气源与所述载气管路，用于在更换储液瓶时对所述气体管路中的反应液进行吹扫。本申请实施例可以有效降低载气成本。有效降低载气成本。有效降低载气成本。

【技术实现步骤摘要】
气瓶柜装置及其控制方法、化学沉积系统


[0001]本申请涉及半导体
，特别是涉及一种气瓶柜装置及其控制方法、化学沉积系统。

技术介绍

[0002]化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)是一种利用化学反应方式，将反应物(气体)生成固态的产物，并沉积在基片表面的薄膜沉积技术。
[0003]在一些情况下，进行化学气相沉积的反应物是以液态的形式存放在储液瓶(如钢瓶)内的。目前对于该种情况，通常是在进行工艺反应时，通过载气将存放在储液瓶内的反应液加载到反应机台内部进行气化反应；同时，在储液瓶内的反应液使用完而进行更换时，又通过载气将气体管路中残留的反应液吹扫去除。
[0004]采用上述方式，会导致在化学气相沉积过程中，载气气体的用量极大，从而增加了载气气体的成本。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种能够降低载气成本的气瓶柜装置及其控制方法、化学沉积系统。
[0006]一种气瓶柜装置，包括储液瓶以及气体管路，
[0007]所述储液瓶用于存放反应液；
[0008]所述气体管路包括：
[0009]载气管路，连接载气气源与所述储液瓶，用于在工艺反应时向所述储液瓶内吹入载气，以进行工艺反应；
[0010]吹气管路，连接吹气气源与所述载气管路，用于在更换所述储液瓶时对所述气体管路中的反应液进行吹扫。
[0011]在其中一个实施例中，所述气体管路还包括：
[0012]输气管路，连接反应机台进气端与所述储液瓶，用于将所述反应液随载气加载至反应机台内；
[0013]连接管路，连接所述输气管路与所述载气管路；
[0014]排气管路，连接所述载气管路和/或所述输气管路，用于将所述气体管路中的反应液排出。
[0015]在其中一个实施例中，所述气瓶柜装置还包括气压检测模块，所述气压检测模块连接吹气管路，用于检测所述吹气管路中的气压。
[0016]在其中一个实施例中，所述吹气管路包括吹气管以及两个吹气阀门，所述气压检测模块连接两个所述吹气阀门之间的吹气管。
[0017]种气瓶柜装置的控制方法，包括：
[0018]在工艺反应时，通过载气管路向所述储液瓶内吹入载气，以进行工艺反应；
[0019]在更换所述储液瓶时，通过吹气管路连接的吹气气源对所述气体管路中的反应液进行吹扫。
[0020]在其中一个实施例中，在更换所述储液瓶时，通过吹气管路对所述气体管路中的反应液进行吹扫，包括：
[0021]关闭输气管路与载气管路之间的连接管路，以通过吹气管路将所述载气管路中的反应液压入所述储液瓶；
[0022]打开输气管路与载气管路之间的连接管路，以通过吹气管路将所述输气管路中的反应液压入所述储液瓶；
[0023]关闭所述储液瓶，通过排气管路将所述气体管路中的反应液随吹气气体抽出。
[0024]在其中一个实施例中，还包括：
[0025]在更换所述储液瓶后，通过载气管路中的载气气体将所述气体管路中的吹气气体去除。
[0026]在其中一个实施例中，所述方法还包括：
[0027]在工艺反应时，检测所述吹气管路中的气压。
[0028]在其中一个实施例中，控制所述吹气管路打开的同时，所述载气管路关闭；且在所述载气管路打开的同时，所述吹气管路关闭。
[0029]一种化学沉积系统，包括：
[0030]反应机台，用于进行化学气相沉积反应；
[0031]上述任一项所述的气瓶柜装置；
[0032]控制装置，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，在其中一个实施例中，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述任一项所述的方法的步骤。
[0033]上述气瓶柜装置及其控制方法、化学沉积系统，通过增设连接在载气管路210上的吹气管路，使得更换储液瓶主要通过吹气气体进行管路吹扫，从而大大节省了载气用量，进而有效节省了载气成本。
附图说明
[0034]为了更清楚地说明本申请实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例或传统技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0035]图1为一个实施例中化学沉积系统的结构示意图；
[0036]图2为另一个实施例中气瓶柜装置的结构示意图；
[0037]图3为一个实施例中气瓶柜装置的控制方法的流程示意图；
[0038]图4为一个实施例中通过吹气管路对所述气体管路中的反应液进行吹扫的流程示意图；
[0039]图5为另一个实施例中气瓶柜装置的控制方法的流程示意图。
具体实施方式
[0040]为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中
给出了本申请的实施例。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使本申请的公开内容更加透彻全面。
[0041]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请。
[0042]需要说明的是，当一个元件被认为是“连接”另一个元件时，它可以是直接连接到另一个元件，或者通过居中元件连接另一个元件。此外，以下实施例中的“连接”，如果被连接的对象之间具有电信号或数据的传递，则应理解为“电连接”、“通信连接”等。
[0043]在此使用时，单数形式的“一”、“一个”和“所述/该”也可以包括复数形式，除非上下文清楚指出另外的方式。还应当理解的是，术语“包括/包含”或“具有”等指定所陈述的特征、整体、步骤、操作、组件、部分或它们的组合的存在，但是不排除存在或添加一个或更多个其他特征、整体、步骤、操作、组件、部分或它们的组合的可能性。同时，在本说明书中使用的术语“和/或”包括相关所列项目的任何及所有组合。
[0044]正如
技术介绍
，目前的化学气相沉积方式，在反应物以液态的形式存放在储液瓶(如钢瓶)内的情况下，载气气体的用量极大，从而增加了载气气体的成本。
[0045]具体地，例如，载气通常采用氦气(He)，而He气成本造价高。因此，目前的方式需要的载气成本非常高，从而使得增加了整个工艺的成本。
[0046]基于以上原因，本专利技术提供了一种能够降低载气成本的气瓶柜装置及其控制方法、化学沉积系统。
[0047]在一个实施例中，请参阅图1，提供一种化学沉积系统，包括：气瓶柜装置10、反应机台20以及控制装置30。反应机台20用于进行化学气相沉积反应。控制装置30用于控制气瓶柜装置10。
[0048]在一个实施例中，请参阅图1，提供了一种气瓶柜装置10，其包括储液瓶100以及气体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气瓶柜装置，其特征在于，包括储液瓶以及气体管路，所述储液瓶用于存放反应液；所述气体管路包括：载气管路，连接载气气源与所述储液瓶，用于在工艺反应时向所述储液瓶内吹入载气，以进行工艺反应；吹气管路，连接吹气气源与所述载气管路，用于在更换所述储液瓶时对所述气体管路中的反应液进行吹扫。2.根据权利要求1所述的气瓶柜装置，其特征在于，所述气体管路还包括：输气管路，连接反应机台进气端与所述储液瓶，用于将所述反应液随载气加载至反应机台内；连接管路，连接所述输气管路与所述载气管路；排气管路，连接所述载气管路和/或所述输气管路，用于将所述气体管路中的反应液排出。3.根据权利要求1所述的气瓶柜装置，其特征在于，所述气瓶柜装置还包括气压检测模块，所述气压检测模块连接吹气管路，用于检测所述吹气管路中的气压。4.根据权利要求3所述的气瓶柜装置，其特征在于，所述吹气管路包括吹气管以及两个吹气阀门，所述气压检测模块连接两个所述吹气阀门之间的吹气管。5.一种气瓶柜装置的控制方法，其特征在于，包括：在工艺反应时，通过载气管路向储液瓶内吹入载气，以进行工艺反应；在更换所述储液瓶时，通过吹气管路连接的吹气气源对气体管路中的反应液进行吹扫。6.根据权利要求5所述的气瓶柜装置的...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐凯原，陈晨，周立超，
申请(专利权)人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：