一种抽真空用的单向阀装置制造方法及图纸

本技术公开了一种抽真空用的单向阀装置，连接板，与腔体壁体可拆卸连接且两者之间设有密封垫，所述连接板上设有沉头孔；中部贯通的接头，可拆卸地与所述连接板连接，所述接头上设有第一圆形凹槽；密封板，放置在所述沉头孔内，所述密封板上设有第二圆形凹槽和长槽；内六角螺丝，与所述沉头孔壁体螺纹连接，所述内六角螺丝上设有穿孔。本技术中，避免了抽真空后填充块腔内有空气回流，保证了真空环境的纯净度。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单向阀，尤其是一种抽真空用的单向阀装置。

技术介绍

1、近两年随着太阳能电池不断的提高要求，对于太阳能电池薄膜制备核心设备，要求单位产能不断的提升以达到整体产线的根本需求，因此有些真空工作腔内需要布置一些真空填充块减少腔体体积从而减少抽真空时间增加节拍。之前的腔体抽真空后在抽真空机脱离后到把填充块腔体密封时，中间这段时间会有空气倒吸进入填充块腔体内，污染真空环境。

技术实现思路

1、本技术的目的是为了解决上述技术问题，而提供一种抽真空用的单向阀装置。

2、本技术的技术方案：一种抽真空用的单向阀装置，包括：

3、连接板，与腔体壁体可拆卸连接且两者之间设有密封垫，所述连接板上设有沉头孔；

4、中部贯通的接头，可拆卸地与所述连接板连接，所述接头上设有第一圆形凹槽；

5、密封板，放置在所述沉头孔内，所述密封板上设有第二圆形凹槽和长槽；

6、内六角螺丝，与所述沉头孔壁体螺纹连接，所述内六角螺丝上设有穿孔。

7、优选的，所述密封板上设有螺纹孔。

8、优选的，所述接头底部设有法兰，所述法兰上设有若干个通孔。

9、优选的，所述接头型号为kf40。

10、本技术的有益效果是：本技术中，避免了抽真空后填充块腔内有空气回流，保证了真空环境的纯净度。

【技术保护点】

1.一种抽真空用的单向阀装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种抽真空用的单向阀装置，其特征在于：所述密封板(3)上设有螺纹孔(303)。

3.根据权利要求1所述的一种抽真空用的单向阀装置，其特征在于：所述接头(2)底部设有法兰，所述法兰上设有若干个通孔。

4.根据权利要求1所述的一种抽真空用的单向阀装置，其特征在于：所述接头(2)型号为KF40。

【技术特征摘要】

1.一种抽真空用的单向阀装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种抽真空用的单向阀装置，其特征在于：所述密封板(3)上设有螺纹孔(303)。

3.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王祥远，刘翠翠，
申请(专利权)人：江西汉可泛半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：