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本技术公开了一种抽真空用的单向阀装置，连接板，与腔体壁体可拆卸连接且两者之间设有密封垫，所述连接板上设有沉头孔；中部贯通的接头，可拆卸地与所述连接板连接，所述接头上设有第一圆形凹槽；密封板，放置在所述沉头孔内，所述密封板上设有第二圆形凹槽和...
该专利属于江西汉可泛半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西汉可泛半导体技术有限公司授权不得商用。

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