ＴＦＴ－ＬＣＤ阵列基板及其制造方法技术

本发明专利技术涉及一种ＴＦＴ－ＬＣＤ阵列基板及其制造方法。阵列基板包括形成在基板上的栅线、数据线、像素电极和薄膜晶体管，栅线的侧面设置有用于避免栅线与数据线短路的隔离坝。隔离坝为形成在栅线一侧或两侧并与数据线交叠的条状体，条状体与栅线同层设置并在同一次构图工艺中形成。本发明专利技术通过设置隔离坝，在栅线与数据线的交叉区域附近形成多个边缘结构，一方面通过边缘结构的增加来降低每个边缘上附着微粒的密度，另一方面利用隔离坝的边缘吸引微粒附着，最终减小微粒落在栅线边缘的几率，最大限度地减少栅线与数据线短路的发生。与现有技术解决微粒导致栅线与数据线短路问题的手段相比，本发明专利技术技术方案不仅结构简单，便于实施，而且收效显著。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种薄膜晶体管液晶显示器及其制造方法，尤其是一种TFT-IXD阵列 基板及其制造方法。
技术介绍
薄膜晶体管液晶显示器(ThinFilm Transistor Liquid CrystalDisplay，简称 TFT-LCD)具有体积小、功耗低、无辐射等特点，在当前平板显示器市场中占据了主导地位。 对TFT-LCD来说，阵列基板的结构在很大程度上决定了成品率和价格。TFT-LCD阵列基板的 制造是通过多组沉积和构图工艺形成不同的薄膜图形来完成，每层薄膜沉积后，通过光刻 胶涂覆、掩模、曝光、刻蚀和光刻胶剥离等工艺形成一层薄膜图形，最终由多层薄膜图形构 成TFT-IXD阵列基板。目前，TFT-IXD阵列基板制造中的微粒(Particle)问题一直是影响产品成品率的 重要问题。当环境中的微粒在薄膜沉积过程中落在基板上时，将导致薄膜图形之间出现电 学相连。实际生产表明，微粒造成栅线与数据线短路情况最为严重，发生率在 5%之 间，造成产品返修甚至报废。长期以来，现有技术解决微粒导致栅线与数据线短路问题的主 要手段是环境管理和设备管理，不仅费用高，而且收效不大。
技术实现思路
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【技术保护点】
一种ＴＦＴ－ＬＣＤ阵列基板，包括形成在基板上的栅线、数据线、像素电极和薄膜晶体管，其特征在于，所述栅线的侧面设置有用于避免栅线与数据线短路的隔离坝。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：彭志龙，董云，刘玉清，
申请(专利权)人：北京京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]