一种液晶显示器之薄膜晶体管阵列基板的制造方法技术

技术编号:3750995 阅读:138 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术是一种液晶显示装置的薄膜晶体管阵列基板的制造方法,利用四道掩膜来完成。第一道掩膜在透明基板上形成栅极线及数据线。在覆盖一层绝缘层后,依序沉积半导体层、n型掺杂层和金属层,第二道掩膜用以定义金属层/n型掺杂层/半导体层/绝缘层,以形成薄膜晶体管结构及数据线金属遮蔽,并暴露出数据线的部分上表面。在含数据线的透明基板上形成低介电常数绝缘层后,第三道掩膜用于在其中形成接触孔开口露出数据线部分表面及露出部分第一源/漏极。接着,在低介电常数绝缘层上形成透明导电层后,第四道掩膜构图出像素电极和电性连接部分第一源/漏极及数据线。运用本发明专利技术可利用四道掩膜来完成习用的六道掩模方能完成的薄膜晶体管阵列基板,不仅降低了成本,而且可以增加每一像素的开口率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种液晶显示器,尤其涉及一种液晶显示器之薄膜晶体管阵列(TFTArray)基板的制造方法。
技术介绍
近来光电技术不断地推陈出新,加上数字化时代的到来,推动了液晶显示器市场的蓬勃发展。液晶显示器因为具有高画质、体积小、重量轻、低驱动电压与低消耗功率等众多优点。因此被广泛应用于个人数字助理(PDA)、行动电话、摄录放影机、笔记型计算机、桌上型显示器、车用显示器及投影电视等消费性通讯或电子产品之上,并逐渐取代阴极射线管,而成为显示器的主流。 液晶显示器装置包括液晶盒和像素组件组成的液晶显示面板,每一个像素组件与其对应的液晶盒连结,具有液晶电容及储存电容,薄膜晶体管则与液晶电容及储存电容电性耦合。像素组件大抵上以阵列的方式排列,具有数个像素列与数个像素行,通常扫描信号连续地施加在数个像素列上,以相继地启动一列一列的像素组件,当扫描信号施加在像素列而启动像素列的像素组件的相对应的薄膜晶体管时,像素列的源极信号(影像信号)也同时施加在数个像素行上,使得与像素列相对应的液晶电容及储存电容充电,进而使得与像素列关连的对应的液晶盒朝一方向排列,以控制该处的透光率。通过对所有的像素列重本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液晶显示器之薄膜晶体管阵列基板的制造方法,其特征在于,该薄膜晶体管阵列基板的制造方法包括:提供一透明基材;形成一栅极线和一数据线于所述透明基材之上;依序形成绝缘层、半导体层、n型掺杂层和金属层覆盖所述栅极线和所述数据线;定义所述金属层、所述n型掺杂层、所述半导体层、所述绝缘层,以形成薄膜晶体管结构及数据线金属遮蔽,并暴露出所述数据线的部分上表面;形成保护层覆盖所述薄膜晶体管结构及所述数据线金属遮蔽;微影蚀刻所述保护层以以形成接触孔开口露出所述数据线的部分上表面及露出所述薄膜晶体管结构的部分第一源/漏极;形成透明导电层覆盖所述保护层;以及微影蚀刻所述透明导电层以形成像素电极和电性连接所述第一...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陈盈真李豪捷陈建良
申请(专利权)人:友达光电股份有限公司
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]

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