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本发明是一种液晶显示装置的薄膜晶体管阵列基板的制造方法，利用四道掩膜来完成。第一道掩膜在透明基板上形成栅极线及数据线。在覆盖一层绝缘层后，依序沉积半导体层、ｎ型掺杂层和金属层，第二道掩膜用以定义金属层／ｎ型掺杂层／半导体层／绝缘层，以形成薄...
该专利属于友达光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过友达光电股份有限公司授权不得商用。

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