一种化学气相沉积电极板装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种化学气相沉积电极板装置，包括化学气相沉积电极板设备和保护罩，所述化学气相沉积电极板设备的一侧安装有设备箱，所述设备箱的一侧安装有反应设备，所述保护罩安装于反应设备的一侧，所述保护罩的内表面一侧设置有气孔，所述保护罩的外表面一侧安装有滑动条，所述滑动条的一侧设置有滑槽。该化学气相沉积电极板装置，与现有的普通化学气相沉积电极板装置相比，使用该设备时，保护罩通过滑动条与滑槽滑动连接固定，将裸露在外部的一部分反应设备保护，防止在设备工作时，外界对反应设备造成损伤，保护罩上方贯穿设置的气孔，保证保护罩内部的气体流通，防止反应设备工作时产生的热气在内部堆积，对设备工作造成影响。工作造成影响。工作造成影响。

【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积电极板装置


[0001]本技术涉及半导体工艺
，具体为一种化学气相沉积电极板装置。

技术介绍

[0002]随着的不断发展，科学的不断进步，化学气相沉积设备的使用越来越广泛，化学气相沉积设备是利用气态或蒸汽态的物质，在设备上的工艺腔体内发生化学反应，从而在晶圆表面形成一层沉淀薄膜，此层薄膜在集成电路制备中有着重要的作用，因此在对电极板加工时就需要一种化学气相沉积的电极板装置
[0003]现有的化学气相沉积电极板装置，在设备进行工作时，会有部分工作设备裸露在外，对于裸露在外部的设备起到的保护性较低，在外界不可预测的因素下，随时可能对设备裸露部分造成损伤，使设备无法正产使用，严重时可能会对操作人员造成伤害，为方便设备的全方位使用，大多在设备底部安装有万向轮，但万向轮无法固定，可能使设备在工作时不稳定，工作中的设备若不稳定，随意晃动，可能会造成整个设备损伤。
[0004]于是，有鉴于此，针对现有的结构不足予以研究改良，提出一种化学气相沉积电极板装置。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种化学气相沉积电极板装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种化学气相沉积电极板装置，包括化学气相沉积电极板设备和保护罩，所述化学气相沉积电极板设备的一侧安装有设备箱，所述设备箱的一侧安装有反应设备，所述保护罩安装于反应设备的一侧，所述保护罩的内表面一侧设置有气孔，所述保护罩的外表面一侧安装有滑动条，所述滑动条的一侧设置有滑槽，所述设备箱的另一侧安装有侧箱，所述侧箱的内表面安装有液压推杆，所述液压推杆的一端安装于橡胶垫。
[0007]进一步的，所述化学气相沉积电极板设备的外表面下方安装有万向轮，且万向轮沿化学气相沉积电极板设备的底部中心对称设有六个。
[0008]进一步的，所述侧箱的上方设置有通风口，且通风口的内表面安装有风扇。
[0009]进一步的，所述风扇的一侧安装有固定板，且固定板的外表面设置有吸附条网。
[0010]进一步的，所述吸附条网与固定板固定连接，且固定板固定安装于通风口的表面。
[0011]进一步的，所述滑槽的形状为矩形，且滑槽沿化学气相沉积电极板设备的中心对成设有两个。
[0012]进一步的，所述侧箱的形状为矩形，且侧箱沿化学气相沉积电极板设备的中心对称设有四个。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]1.本技术通过保护罩、气孔、滑动条和滑槽的设置，使用该设备时，保护罩通
过滑动条与滑槽滑动连接固定，将裸露在外部的一部分反应设备保护，防止在设备工作时，外界对反应设备造成损伤，保护罩上方贯穿设置的气孔，保证保护罩内部的气体流通，防止反应设备工作时产生的热气在内部堆积，对设备工作造成影响；
[0015]2.本技术通过侧箱、液压推杆、橡胶垫和万向轮的设置，整个设备可通过万向轮进行移动，方便设备移动到需要的地方，当设备到达工作地点后，启动侧箱内部的液压推杆将橡胶垫向下推动，使橡胶垫紧贴地面，防止整个设备晃动，使设备在工作时更加稳定；
[0016]3.本技术通过通风口、风扇、固定板和吸附条网的设置，通过风扇将设备工作时产生的热气吹动，通过通风口将热气排出，防止设备内部过热，造成设备损坏，同时固定板上装有的吸附条网，在风扇对设备内部进行散热时，气流带动的灰尘进入设备箱的内部，防止灰尘对反应设备造成损伤，使反应设备使用寿命降低。
附图说明
[0017]图1为本技术整体正视结构示意图；
[0018]图2为本技术图1中A处放大结构示意图；
[0019]图3为本技术整体侧视结构示意图；
[0020]图4为本技术整体立体结构示意图。
[0021]图中：1、化学气相沉积电极板设备；2、设备箱；3、反应设备；4、保护罩；5、气孔；6、滑动条；7、滑槽；8、侧箱；9、液压推杆；10、橡胶垫；11、万向轮；12、通风口；13、风扇；14、固定板；15、吸附条网。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0024]如图1
‑
图2所示，一种化学气相沉积电极板装置，包括化学气相沉积电极板设备1和保护罩4，化学气相沉积电极板设备1的一侧安装有设备箱2，化学气相沉积电极板设备1的外表面下方安装有万向轮11，且万向轮11沿化学气相沉积电极板设备1的底部中心对称设有六个，设备箱2的一侧安装有反应设备3，保护罩4安装于反应设备3的一侧，保护罩4的内表面一侧设置有气孔5，保护罩4的外表面一侧安装有滑动条6，滑动条6的一侧设置有滑
槽7，滑槽7的形状为矩形，且滑槽7沿化学气相沉积电极板设备1的中心对成设有两个，使用该设备时，保护罩4通过滑动条6与滑槽7滑动连接固定，将裸露在外部的一部分反应设备3保护，防止在设备工作时，外界对反应设备3造成损伤，保护罩4上方贯穿设置的气孔5，保证保护罩4内部的气体流通，防止反应设备3工作时产生的热气在内部堆积，对设备工作造成影响，设备箱2的另一侧安装有侧箱8，侧箱8的形状为矩形，且侧箱8沿化学气相沉积电极板设备1的中心对称设有四个，侧箱8的内表面安装有液压推杆9，液压推杆9的一端安装于橡胶垫10，整个设备可通过万向轮11进行移动，方便设备移动到需要的地方，当设备到达工作地点后，启动侧箱8内部的液压推杆9将橡胶垫10向下推动，使橡胶垫10紧贴地面，防止整个设备晃动，使设备在工作时更加稳定。
[0025]如图3
‑
图4所示，侧箱8的上方设置有通风口12，且通风口12的内表面安装有风扇13，风扇13的一侧安装有固定板14，且固定板14的外表面设置有吸附条网15，吸附条网15与固定板14本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积电极板装置，包括化学气相沉积电极板设备（1）和保护罩（4），其特征在于，所述化学气相沉积电极板设备（1）的一侧安装有设备箱（2），所述设备箱（2）的一侧安装有反应设备（3），所述保护罩（4）安装于反应设备（3）的一侧，所述保护罩（4）的内表面一侧设置有气孔（5），所述保护罩（4）的外表面一侧安装有滑动条（6），所述滑动条（6）的一侧设置有滑槽（7），所述设备箱（2）的另一侧安装有侧箱（8），所述侧箱（8）的内表面安装有液压推杆（9），所述液压推杆（9）的一端安装于橡胶垫（10）。2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积电极板装置，其特征在于，所述化学气相沉积电极板设备（1）的外表面下方安装有万向轮（11），且万向轮（11）沿化学气相沉积电极板设备（1）的底部中心对称设有六个。3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾泉，
申请(专利权)人：江苏旭宇腾半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：