一种等离子体增强化学气相沉积的电极板装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体工艺技术领域，提供一种等离子体增强化学气相沉积的电极板装置，包括化学气相沉积装置主体、移动轮和固定板，化学气相沉积装置主体的底端设置有移动轮，化学气相沉积装置主体的一侧设置有散热结构，化学气相沉积装置主体的另一侧开设有出风口，化学气相沉积装置主体顶端的两侧设置有防护结构，化学气相沉积装置主体两侧的底端设置有固定板。本实用新型专利技术通过设置有散热结构，为了防止化学气相沉积装置主体在使用的过程中，其内部的零件因为温度过高而造成损坏，因此通过风机的使用，可以对化学气相沉积装置主体内部的热量进行一个散热，减少化学气相沉积装置主体内部零件的损坏，从而提高了散热的效果。从而提高了散热的效果。从而提高了散热的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子体增强化学气相沉积的电极板装置


[0001]本技术涉及半导体工艺
，特别涉及一种等离子体增强化学气相沉积的电极板装置。

技术介绍

[0002]随着的不断发展，科学的不断进步，化学气相沉积设备的使用越来越广泛，化学气相沉积设备是利用气态或蒸汽态的物质，在设备上的工艺腔体内发生化学反应，从而在晶圆表面形成一层沉淀薄膜，此层薄膜在集成电路制备中有着重要的作用，因此在对电极板加工时就需要一种等离子体增强化学气相沉积的电极板装置。
[0003]现今市场上的此类装置种类繁多，基本可以满足人们的使用需求，但是依然存在一定的问题，传统的此类化学气相沉积的电极板装置，在使用的过程中，不便对其内部进行散热，导致其内部零件容易出现损坏的情况，因此适用性较弱。

技术实现思路

[0004]（一）要解决的技术问题
[0005]本技术的目的是提供一种等离子体增强化学气相沉积的电极板装置，用以解决现有的等离子体增强化学气相沉积的电极板装置 ，在使用的过程中，不便对其内部进行散热，导致其内部零件容易出现损坏的缺陷。
[0006]（二）
技术实现思路

[0007]为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种等离子体增强化学气相沉积的电极板装置，包括化学气相沉积装置主体、移动轮和固定板，所述化学气相沉积装置主体的底端设置有移动轮；
[0008]所述化学气相沉积装置主体的一侧设置有散热结构，所述化学气相沉积装置主体的另一侧开设有出风口；
[0009]所述化学气相沉积装置主体顶端的两侧设置有防护结构，所述化学气相沉积装置主体两侧的底端设置有固定板，所述固定板的内部设置有稳定结构。
[0010]优选的，所述防护结构包括防护垫、卡槽和卡块，所述化学气相沉积装置主体顶端两侧的内部开设有卡槽，所述卡槽的内部设置有卡块，所述卡块的一端设置有防护垫。通过防护垫的使用，可以对化学气相沉积装置主体两侧拐角的尖锐处进行一个覆盖，防止其对工作人员造成伤害。
[0011]优选的，所述卡槽的正视横截面积大于卡块的正视横截面积，所述卡槽与卡块之间构成卡合结构。卡合结构的设置在进行安装时更加的便捷。
[0012]优选的，所述稳定结构包括转杆、转槽和稳定垫，所述转槽开设于固定板的内部，所述转槽的内部插设有转杆，所述转杆的底端设置有稳定垫。通过转杆、转槽和稳定垫的使用，可以对化学气相沉积装置主体进行一个稳定，使其在使用时不易出现位置的移动。
[0013]优选的，所述转杆的外侧壁上设置有外螺纹，所述转槽的内侧壁上设置有内螺纹，
所述转杆与转槽之间构成螺纹连接。螺纹连接的设置在进行转动时更加的方便。
[0014]优选的，所述转杆设置有两组，两组所述转杆在化学气相沉积装置主体的两侧呈对称分布。两组转杆的使用可以使稳定的效果更好。
[0015]优选的，所述散热结构包括进风口、风机和防护壳，所述进风口开设于化学气相沉积装置主体的一侧，所述进风口的内部设置有风机，所述进风口的一侧设置有防护壳。通过风机的使用，可以对化学气相沉积装置主体内部的热量进行一个散热，减少化学气相沉积装置主体内部零件的损坏。
[0016]（三）有益效果
[0017]本技术提供的一种等离子体增强化学气相沉积的电极板装置，其优点在于：通过设置有散热结构，为了防止化学气相沉积装置主体在使用的过程中，其内部的零件因为温度过高而造成损坏，因此通过风机的使用，可以对化学气相沉积装置主体内部的热量进行一个散热，减少化学气相沉积装置主体内部零件的损坏，从而提高了散热的效果；
[0018]通过设置有防护结构，为了防止化学气相沉积装置主体两侧拐角的尖锐处，对工作人员造伤害，因此通过防护垫的使用，可以对化学气相沉积装置主体两侧拐角的尖锐处进行一个覆盖，防止其对工作人员造成伤害，从而提高了防护的效果；
[0019]通过设置有稳定结构，在使用化学气相沉积装置主体的时候，为了使化学气相沉积装置主体放置的更加稳定，不会轻易出现移动的情况，因此通过转杆、转槽和稳定垫的使用，可以对化学气相沉积装置主体进行一个稳定，使其在使用时不易出现位置的移动，从而提高了稳定的效果。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本技术的正视结构示意图；
[0022]图2为本技术的侧视结构示意图；
[0023]图3为本技术的图1中A处局部放大结构示意图；
[0024]图4为本技术的稳定结构正视剖面结构示意图；
[0025]图5为本技术的稳定结构正视立体结构示意图。
[0026]图中的附图标记说明：1、化学气相沉积装置主体；2、移动轮；3、固定板；4、出风口；5、防护结构；501、防护垫；502、卡槽；503、卡块；6、稳定结构；601、转杆；602、转槽；603、稳定垫；7、散热结构；701、进风口；702、风机；703、防护壳。
具体实施方式
[0027]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本
技术保护的范围。
[0028]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0029]实施例一
[0030]请参阅图1
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5，本技术提供的一种等离子体增强化学气相沉积的电极板装置，包括化学气相沉积装置主体1、移动轮2和固定板3，化学气相沉积装置主体1的底端设置有移动轮2，化学气相沉积装置主体1的一侧设置有散热结构7，散热结构7包括进风口701、风机702和防护壳703，进风口701开设于化学气相沉积装置主体1的一侧，进风口701的内部设置有风机702，进风口701的一侧设置有防护壳703。
[0031]基于实施例1的一种等离子体增强化学气相沉积的电极板装置工作原理是：在进行工作时，先将电极板放到化学气相沉积装置主体1的内部，放入之后，外接电源启动化学气相沉积装置主体1对电极板进行加工，化学气相沉积装置主体1在使用的过程中，外接电源启动风机702、风机70本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子体增强化学气相沉积的电极板装置，包括化学气相沉积装置主体（1）、移动轮（2）和固定板（3），其特征在于：所述化学气相沉积装置主体（1）的底端设置有移动轮（2）；所述化学气相沉积装置主体（1）的一侧设置有散热结构（7），所述化学气相沉积装置主体（1）的另一侧开设有出风口（4）；所述化学气相沉积装置主体（1）顶端的两侧设置有防护结构（5），所述化学气相沉积装置主体（1）两侧的底端设置有固定板（3），所述固定板（3）的内部设置有稳定结构（6）。2.根据权利要求1所述的一种等离子体增强化学气相沉积的电极板装置，其特征在于：所述防护结构（5）包括防护垫（501）、卡槽（502）和卡块（503），所述化学气相沉积装置主体（1）顶端两侧的内部开设有卡槽（502），所述卡槽（502）的内部设置有卡块（503），所述卡块（503）的一端设置有防护垫（501）。3.根据权利要求2所述的一种等离子体增强化学气相沉积的电极板装置，其特征在于：所述卡槽（502）的正视横截面积大于卡块（503）的正视横截面积，所述卡槽（502）与卡块（503）之间构成卡合结构。4.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾泉，
申请(专利权)人：江苏旭宇腾半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：