一种化学气相沉积炉漏气快速处理辅助装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及化学气相沉积技术领域，提供一种化学气相沉积炉漏气快速处理辅助装置，包括炉体、第一保护壳和第二保护壳，炉体的外部设置有第一保护壳，第一保护壳的外部设置有拆装结构，第一保护壳的顶端设置有出气管，第一保护壳的底端设置有第二保护壳，第二保护壳的底端设置有抽气管，第二保护壳底端的中间位置处设置有注气管，第一保护壳与第二保护壳的内部设置有防护结构。本实用新型专利技术通过设置有拆装结构，将锁紧螺栓从通孔内部拆下，然后分离对接槽与对接块之间的卡合，便可完成对于第一保护壳和第二保护壳的拆卸，对第一保护壳和第二保护壳的便捷拆下，方便了工作人员对于炉体的检修。的检修。的检修。

【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积炉漏气快速处理辅助装置


[0001]本技术涉及化学气相沉积
，特别涉及一种化学气相沉积炉漏气快速处理辅助装置。

技术介绍

[0002]化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，在使用化学气相沉积炉进行化学反应时，为防止该化学气相沉积炉出现漏气等问题，就需要使用此类化学气相沉积炉漏气快速处理辅助装置对该化学气相沉积炉的漏气进行紧急处理。
[0003]现今市场上的此类漏气快速处理辅助装置种类繁多，基本可以满足人们的使用需求，但是依然存在一定的问题：传统的此类漏气快速处理辅助装置，在使用时，常因拆装不便，如果需对其内部的炉体进行检修时，保护壳在炉体的外部可能会影响检修进程，因此需对其进行改进。

技术实现思路

[0004]（一）要解决的技术问题
[0005]本技术的目的是提供一种化学气相沉积炉漏气快速处理辅助装置，用以解决现有的化学气相沉积炉漏气快速处理辅助装置常因拆装不便的缺陷。
[0006]（二）
技术实现思路

[0007]为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种化学气相沉积炉漏气快速处理辅助装置，包括炉体、第一保护壳和第二保护壳，所述炉体的外部设置有第一保护壳，所述第一保护壳的外部设置有拆装结构；
[0008]所述第一保护壳的顶端设置有出气管，所述第一保护壳的底端设置有第二保护壳；
[0009]所述第二保护壳的底端设置有抽气管，所述第二保护壳底端的中间位置处设置有注气管，所述第一保护壳与第二保护壳的内部设置有防护结构，所述第一保护壳与第二保护壳的内部还设置有加强结构，所述炉体的底端设置有对接管，所述炉体的顶端设置有连接管。
[0010]优选的，所述拆装结构包括第一连接块、第二连接块、通孔、锁紧螺栓、对接槽、对接块和密封圈，所述第二连接块固定于第一保护壳的外部，所述第二保护壳的外部固定有第一连接块，所述第一连接块与第二连接块的内部开设有通孔，所述通孔的内部贯穿有锁紧螺栓，所述第二保护壳一端的外侧开设有对接槽，所述对接槽的内部插设有对接块，且对接块的一端与第一保护壳固定连接，所述对接块的外侧设置有密封圈。将第一保护壳和第二保护壳安装于炉体的外部，然后将对接槽与对接块卡合，利用对接槽与对接块之间的卡合，能够令第一保护壳与第二保护壳更加准确的拼接，再将锁紧螺栓插入通孔内部对第一连接块和第二连接块进行固定便可完成对于第一保护壳和第二保护壳的安装，通过锁紧锁
紧螺栓使其紧压第一连接块和第二连接块能够令第一保护壳与第二保护壳更加紧密的贴合，其中，密封圈作用于第一保护壳与第二保护壳的连接处，能够起到密封的作用，使其不会轻易出现漏气的问题，在工作人员对炉体进行维护或检修时，只需将锁紧螺栓从通孔的内部拆下，然后分离对接槽和对接块之间的卡合，便可完成对于第一保护壳和第二保护壳的拆卸，此时工作人员便可对于炉体进行维护与检修。
[0011]优选的，所述对接槽的内径大于对接块的外径，所述对接槽与对接块构成卡合结构。
[0012]优选的，所述防护结构包括防护垫、卡块、卡槽、插孔、固定螺栓和螺纹槽，所述防护垫设置于第一保护壳与第二保护壳的内部，所述防护垫的一端固定有卡块，所述第一保护壳与第二保护壳内部的一端开设有卡槽，所述第一保护壳与第二保护壳内部的两侧开设有螺纹槽，所述防护垫的两侧开设有插孔，所述插孔的内部贯穿有固定螺栓，且固定螺栓的一侧延伸至螺纹槽内部。将卡块卡入卡槽内部，然后将固定螺栓通过插孔旋入螺纹槽内部便可完成对于防护垫的安装，第一保护壳与第二保护壳安装于炉体的外部后，防护垫直接与炉体的外壁贴合，防护垫的软性材质能够对炉体起到一定的保护作用，其中，防护垫为可拆装设计，可在其出现损坏时将其拆下进行更换，将固定螺栓从螺纹槽内部旋出，分离卡块和卡槽之间的卡合便可将防护垫拆下进行更换操作。
[0013]优选的，所述卡块设置有若干组，若干组所述卡块在防护垫的一端等间距分布。
[0014]优选的，所述加强结构包括内腔、经线和纬线，所述内腔开设于第一保护壳与第二保护壳的内部，所述内腔的内部设置有经线，所述经线的内部交叉有纬线。内腔内部的经线与纬线相互交叉分布组成的网状结构，能够对第一保护壳与第二保护壳的结构强度起到一定程度的增强处理，通过对第一保护壳和第二保护壳结构强度的增强，能够使其在受到气体的压力作用时，不会轻易出现变形或损坏等问题。
[0015]优选的，所述经线与纬线设置有若干组，所述经线与纬线相互垂直。
[0016]（三）有益效果
[0017]本技术提供的一种化学气相沉积炉漏气快速处理辅助装置，其优点在于：通过设置有拆装结构，将锁紧螺栓从通孔内部拆下，然后分离对接槽与对接块之间的卡合，便可完成对于第一保护壳和第二保护壳的拆卸，对第一保护壳和第二保护壳的便捷拆下，方便了工作人员对于炉体的检修；
[0018]通过设置有防护结构，防护垫安装于第一保护壳与第二保护壳的内部，利用防护垫的软性材质直接与炉体的外壁贴合，能够对炉体起到一定程度的保护，并且，防护垫为可拆装设计，可在其出现损坏时，及时将其拆下进行更换；
[0019]通过设置有加强结构，经线与纬线相互交叉分布在第一保护壳与第二保护壳内部组成网状结构，利用经线与纬线相互交叉分布组成的网状结构，能够对第一保护壳与第二保护壳内部的结构强度起到一定程度的增强作用，通过对第一保护壳与第二保护壳结构强度的增强，能够使其在受到内部气体压力的作用时，不会轻易出现变形或破裂的问题。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本
技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本技术的正视剖面结构示意图；
[0022]图2为本技术的俯视剖面结构示意图；
[0023]图3为本技术的防护结构正视剖面结构示意图；
[0024]图4为本技术的图1中A处放大结构示意图；
[0025]图5为本技术的防护结构三维结构示意图。
[0026]图中的附图标记说明：1、炉体；2、第一保护壳；3、拆装结构；301、第一连接块；302、第二连接块；303、通孔；304、锁紧螺栓；305、对接槽；306、对接块；307、密封圈；4、第二保护壳；5、抽气管；6、注气管；7、对接管；8、防护结构；801、防护垫；802、卡块；803、卡槽；804、插孔；805、固定螺栓；806、螺纹槽；9、连接管；10、出气管；11、加强结构；1101、内腔；1102、经线；1103、纬线。
具体实施方式
[0027]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积炉漏气快速处理辅助装置，包括炉体（1）、第一保护壳（2）和第二保护壳（4），其特征在于：所述炉体（1）的外部设置有第一保护壳（2），所述第一保护壳（2）的外部设置有拆装结构（3）；所述第一保护壳（2）的顶端设置有出气管（10），所述第一保护壳（2）的底端设置有第二保护壳（4）；所述第二保护壳（4）的底端设置有抽气管（5），所述第二保护壳（4）底端的中间位置处设置有注气管（6），所述第一保护壳（2）与第二保护壳（4）的内部设置有防护结构（8），所述第一保护壳（2）与第二保护壳（4）的内部还设置有加强结构（11），所述炉体（1）的底端设置有对接管（7），所述炉体（1）的顶端设置有连接管（9）。2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉漏气快速处理辅助装置，其特征在于：所述拆装结构（3）包括第一连接块（301）、第二连接块（302）、通孔（303）、锁紧螺栓（304）、对接槽（305）、对接块（306）和密封圈（307），所述第二连接块（302）固定于第一保护壳（2）的外部，所述第二保护壳（4）的外部固定有第一连接块（301），所述第一连接块（301）与第二连接块（302）的内部开设有通孔（303），所述通孔（303）的内部贯穿有锁紧螺栓（304），所述第二保护壳（4）一端的外侧开设有对接槽（305），所述对接槽（305）的内部插设有对接块（306），且对接块（306）的一端与第一保护壳（2）固定连接，所述对接块（306）的外侧设置有密封圈（307）。3.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积炉漏气快速处理辅助装置，其特征在于：所述对接槽（305...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾泉，
申请(专利权)人：江苏旭宇腾半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：