一种钨丝底部通气清洗改进装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种钨丝底部通气清洗改进装置，涉及钨丝生产技术领域，该钨丝底部通气清洗改进装置，包括支撑架，所述支撑架的一侧上端固定连接有升降管安装架，所述升降管安装架内设有升降管，所述升降管内设有加热器，所述支撑架的一侧中部固定连接有上波纹管安装架，所述上波纹管安装架的顶端设有上波纹管，所述支撑架的一侧下端固定连接有下波纹管安装架，所述下波纹管安装架的顶端设有下波纹管，所述下波纹管的一侧底部固定连接有流量计，所述流量计的一端连通有底部清洗阀。本实用新型专利技术通过利用流量计代替针阀，能够在不同的状态下接收可变流量，方便了控制底部气体清洗，实用性强。

【技术实现步骤摘要】
一种钨丝底部通气清洗改进装置
本技术涉及钨丝生产
，具体为一种钨丝底部通气清洗改进装置。
技术介绍
在设备钨5200应用材料(AMAT)使用底部持续气体清洗加热器波纹管以减少颗粒(P/D)影响并且在硬件设计中他们使用针阀控制底部气体清洗的流动。底部通气清洗的目的：在钨脱除期间，工艺气体将流入加热器波纹管，并且可能在加热器波纹管中形成薄的钨膜。因为加热器波纹管的温度低于腔室，加热器的波纹管总是上/下结构，所以加热器的波纹管中的薄膜会断裂并成为粒子源。底部清洗的气体管线连接到加热器的波纹管，并防止加热器波纹管中沉积钨，在这个过程中流过(氩气)Ar1200sccm(流量单位)以继续吹扫加热器波纹管。目前，现有的钨丝底部通气清洗装置利用针阀控制流量，这种设计只能提供稳定的流量，不能在不同状态下接收可变流量，实用性差。因此，专利技术一种钨丝底部通气清洗改进装置来解决上述问题很有必要。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种钨丝底部通气清洗改进装置，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的钨丝底部通气清洗装置只能提供稳定的流量，实用性差的问题。为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种钨丝底部通气清洗改进装置，包括支撑架，所述支撑架的一侧上端固定连接有升降管安装架，所述升降管安装架内设有升降管，所述升降管内设有加热器，所述支撑架的一侧中部固定连接有上波纹管安装架，所述上波纹管安装架的顶端设有上波纹管，所述支撑架的一侧下端固定连接有下波纹管安装架，所述下波纹管安装架的顶端设有下波纹管，所述下波纹管的一侧底部固定连接有流量计，所述流量计的一端连通有底部清洗阀；可选的，所述流量计为流量2000的流量计。可选的，所述上波纹管和下波纹管相连通。本技术的技术效果和优点：本技术通过利用流量计代替针阀，能够在不同的状态下接收可变流量，方便了控制底部气体清洗，实用性强。附图说明图1为现有钨丝底部通气清洗装置的示意图；图2为现有钨丝底部通气清洗装置的原理图；图3为本技术装置的原理示意图。图中：1、支撑架；2、升降管安装架；3、升降管；4、加热器；5、上波纹管安装架；6、上波纹管；7、下波纹管安装架；8、下波纹管；9、流量计；10、底部清洗阀。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。本技术提供了如图1-3所示的一种钨丝底部通气清洗改进装置，包括支撑架1，支撑架1的一侧上端固定连接有升降管安装架2，升降管安装架2内设有升降管3，升降管3内设有加热器4，支撑架1的一侧中部固定连接有上波纹管安装架5，上波纹管安装架5的顶端设有上波纹管6，支撑架1的一侧下端固定连接有下波纹管安装架7，下波纹管安装架7的顶端设有下波纹管8，上波纹管6和下波纹管8相连通，下波纹管8的一侧底部固定连接有流量计9，流量计9为流量2000的流量计，流量计9的一端连通有底部清洗阀10，通过利用流量计9代替针阀，能够在不同的状态下接收可变流量，方便了控制底部气体清洗，实用性强。该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。本实用工作原理：在沉降步骤的沉积步骤之前：由于底部气体清洗流量设置会影响一些工艺规格，钨阶梯覆盖和另一个特性，因此可以在中心和沉积期间使用低流量设置，沉淀配方的沉积步骤，清洁菜单和闲置吹扫菜单：为了减少颗粒P/D问题，在没有硅片的菜单中用高流量设置，如空闲吹扫菜单和清洁菜单。最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种钨丝底部通气清洗改进装置，包括支撑架(1)，其特征在于：所述支撑架(1)的一侧上端固定连接有升降管安装架(2)，所述升降管安装架(2)内设有升降管(3)，所述升降管(3)内设有加热器(4)，所述支撑架(1)的一侧中部固定连接有上波纹管安装架(5)，所述上波纹管安装架(5)的顶端设有上波纹管(6)，所述支撑架(1)的一侧下端固定连接有下波纹管安装架(7)，所述下波纹管安装架(7)的顶端设有下波纹管(8)，所述下波纹管(8)的一侧底部固定连接有流量计(9)，所述流量计(9)的一端连通有底部清洗阀(10)。/n

【技术特征摘要】
1.一种钨丝底部通气清洗改进装置，包括支撑架(1)，其特征在于：所述支撑架(1)的一侧上端固定连接有升降管安装架(2)，所述升降管安装架(2)内设有升降管(3)，所述升降管(3)内设有加热器(4)，所述支撑架(1)的一侧中部固定连接有上波纹管安装架(5)，所述上波纹管安装架(5)的顶端设有上波纹管(6)，所述支撑架(1)的一侧下端固定连接有下波纹管安装架(7)，所述下波纹管安装架(7)的顶端设...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾泉，
申请(专利权)人：江苏旭宇腾半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32