一种基于化学气相沉积设备监测用测漏仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于化学气相沉积设备监测用测漏仪，包括仪器主体、数据连接座和金属连接管，仪器主体的顶端设置有数据连接座，仪器主体的两侧均设置有防滑结构，数据连接座的内部安装有金属连接管，金属连接管的一端固定连接有气体检测头。本实用新型专利技术通过设置有紧固结构，当金属连接管的另一端插入数据连接座的内部后，将紧固抱箍套在限位槽的外侧随后拧紧紧固抱箍，由于数据连接座被分割槽所分割在紧固抱箍拧紧后数据连接座逐渐合拢，并使数据连接座对插入的金属连接管进行挤压与夹持，进而使金属连接管的另一端在插入数据连接座的内部不易出现脱落或松动现象，实现了对金属连接管的连接加固。属连接管的连接加固。属连接管的连接加固。

【技术实现步骤摘要】
一种基于化学气相沉积设备监测用测漏仪


[0001]本技术涉及测漏仪
，特别涉及一种基于化学气相沉积设备监测用测漏仪。

技术介绍

[0002]化学气相沉积设备作为一种较为复杂的有机材料生产设备，通过对化学气体的各种反应，使化学化学物质在气相或气固界面上快速反应并形成固态沉积物，而在化学气相沉积设备进行使用过程中为避免设备泄漏造成一定的安全隐患，往往会使用专用的测漏仪进行该化学气相沉积设备的实时监测；
[0003]传统的测漏仪在进行使用时，由于需要安装专用管道将检测头插入该化学气相沉积设备内部腔体进而检测，而管道与测漏仪的连接极易出现松动现象，致使该测漏仪的检测数据出现偏差。

技术实现思路

[0004]（一）要解决的技术问题
[0005]本技术的目的是提供一种基于化学气相沉积设备监测用测漏仪，用以解决现有的化学气相沉积设备测测漏仪管道连接易松动的缺陷。
[0006]（二）
技术实现思路

[0007]为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种基于化学气相沉积设备监测用测漏仪，包括仪器主体、数据连接座和金属连接管，所述仪器主体的顶端设置有数据连接座，所述仪器主体的两侧均设置有防滑结构，所述仪器主体的底端设置有防尘结构，所述仪器主体一端的下方设置有报警器，所述数据连接座的外侧壁设置有紧固结构，所述数据连接座的内部安装有金属连接管，所述金属连接管的一端固定连接有气体检测头。
[0008]优选的。所述紧固结构包括限位槽、分割槽和紧固抱箍，所述限位槽设置于数据连接座外侧壁的内部，所述数据连接座两端的内部均设置有分割槽，所述限位槽的外侧壁包裹有紧固抱箍。
[0009]优选的。所述限位槽与紧固抱箍内部之间呈镶嵌结构，所述分割槽关于数据连接座的垂直中心线呈对称分布，以此使数据连接座在紧固抱箍的紧固下得以合拢。
[0010]优选的。所述防滑结构包括橡胶垫、卡块和防滑凹槽，所述橡胶垫设置于仪器主体的两侧，所述橡胶垫的一侧固定连接有卡块，所述橡胶垫的另一侧设置有防滑凹槽。
[0011]优选的。所述橡胶垫关于仪器主体的垂直中心线呈对称分布，所述卡块与仪器主体内部之间呈卡合结构，以此使橡胶垫得以稳定安装。
[0012]优选的。所述防尘结构包括端口插槽、连接条和防尘塞，所述端口插槽设置于仪器主体底端的内部，所述仪器主体底端的一侧固定连接有连接条，所述连接条的一侧固定连接有防尘塞。
[0013]优选的。所述端口插槽位于仪器主体的垂直中心线位置处，所述端口插槽与防尘
塞内部之间呈镶嵌结构，以此使端口插槽得以进行防尘堵塞。
[0014]（三）有益效果
[0015]本技术提供的一种基于化学气相沉积设备监测用测漏仪，其优点在于：通过设置有紧固结构，当金属连接管的另一端插入数据连接座的内部后，将紧固抱箍套在限位槽的外侧随后拧紧紧固抱箍，由于数据连接座被分割槽所分割在紧固抱箍拧紧后数据连接座逐渐合拢，并使数据连接座对插入的金属连接管进行挤压与夹持，进而使金属连接管的另一端在插入数据连接座的内部不易出现脱落或松动现象，实现了对金属连接管的连接加固；
[0016]通过设置有防滑结构，通过卡块与仪器主体的卡合结构可将橡胶垫安装在仪器主体的两侧，工作人员在握住仪器主体时工作人员手掌与防滑凹槽相贴合，由于橡胶垫质地较为粗糙，使橡胶垫与工作人员手掌之间摩擦力大大增加，进而避免该测漏仪在进行使用时不会出现滑脱现象，实现了对该测漏仪的防滑；
[0017]通过设置有防尘结构，在该测漏仪长时间不使用时端口插槽内部端口极易有灰尘、石子等异物混入导致端口连接受影响，因此在该测漏仪不使用时通过端口插槽与防尘塞的镶嵌结构使防尘塞堵住端口插槽，进而避免外界灰尘、石子等异物的混入，实现了对连接端口的防尘。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为本技术的正视结构示意图；
[0020]图2为本技术的仰视结构示意图；
[0021]图3为本技术的图1中A处局部剖面放大结构示意图；
[0022]图4为本技术的紧固结构三维局部结构示意图；
[0023]图5为本技术的防滑结构三维结构示意图。
[0024]图中：1、仪器主体；2、数据连接座；3、紧固结构；301、限位槽；302、分割槽；303、紧固抱箍；4、金属连接管；5、气体检测头；6、防滑结构；601、橡胶垫；602、卡块；603、防滑凹槽；7、防尘结构；701、端口插槽；702、连接条；703、防尘塞；8、报警器。
具体实施方式
[0025]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地
连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0027]实施例一
[0028]请参阅图1
‑
5，本技术提供的一种基于化学气相沉积设备监测用测漏仪，包括仪器主体1、数据连接座2和金属连接管4，仪器主体1的顶端设置有数据连接座2，仪器主体1一端的下方设置有报警器8，数据连接座2的内部安装有金属连接管4，金属连接管4的一端固定连接有气体检测头5，数据连接座2的外侧壁设置有紧固结构3，紧固结构3包括限位槽301、分割槽302和紧固抱箍303，限位槽301设置于数据连接座2外侧壁的内部，数据连接座2两端的内部均设置有分割槽302，限位槽301的外侧壁包裹有紧固抱箍303，限位槽301与紧固抱箍303内部之间呈镶嵌结构，分割槽302关于数据连接座2的垂直中心线呈对称分布。
[0029]基于实施例1的一种基于化学气相沉积设备监测用测漏仪工作原理是在该化学气相沉积设备进行使用时将金属连接管4一端的气体检测头5插入化学气相沉积设备内腔，使内腔各气体能被气体检测头5所监测，随后将金属连接管4的另一端与仪器主体1顶端的数据连接座2相连接，当金属连接管4的另一端插入数据连接座2的内部后，将紧固抱箍303套在限位槽301的外侧随后拧紧紧固抱箍303，由于数据本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于化学气相沉积设备监测用测漏仪，包括仪器主体（1）、数据连接座（2）和金属连接管（4），其特征在于：所述仪器主体（1）的顶端设置有数据连接座（2），所述仪器主体（1）的两侧均设置有防滑结构（6），所述仪器主体（1）的底端设置有防尘结构（7），所述仪器主体（1）一端的下方设置有报警器（8）；所述数据连接座（2）的外侧壁设置有紧固结构（3），所述数据连接座（2）的内部安装有金属连接管（4）；所述金属连接管（4）的一端固定连接有气体检测头（5）。2.根据权利要求1所述的一种基于化学气相沉积设备监测用测漏仪，其特征在于：所述紧固结构（3）包括限位槽（301）、分割槽（302）和紧固抱箍（303），所述限位槽（301）设置于数据连接座（2）外侧壁的内部，所述数据连接座（2）两端的内部均设置有分割槽（302），所述限位槽（301）的外侧壁包裹有紧固抱箍（303）。3.根据权利要求2所述的一种基于化学气相沉积设备监测用测漏仪，其特征在于：所述限位槽（301）与紧固抱箍（303）内部之间呈镶嵌结构，所述分割槽（302）关于数据连接座（2）的垂直中心线呈对称分布。4.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾泉，
申请(专利权)人：江苏旭宇腾半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：