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本实用新型公开了一种基于化学气相沉积设备监测用测漏仪，包括仪器主体、数据连接座和金属连接管，仪器主体的顶端设置有数据连接座，仪器主体的两侧均设置有防滑结构，数据连接座的内部安装有金属连接管，金属连接管的一端固定连接有气体检测头。本实用新型通...
该专利属于江苏旭宇腾半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏旭宇腾半导体科技有限公司授权不得商用。

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