真空双层进气机构制造技术

本实用新型专利技术公开了真空双层进气机构，涉及进气设备技术领域，包括第一进气板、第二进气板、导向轴、弹簧、滑套、第二密封圈。本实用新型专利技术巧妙的通过导向轴、弹簧和滑套将内外腔进气板进行了整体设计，通过弹簧的压力将内腔进气板压在内腔上进行密封，采用了巧妙的弹簧结构将进气进行了设计，既解决了进气的问题又安装维护简便；可有效保证对真空室进气机构的双重密封处理，可有效保证真空双层进气机构的密封性能，导向轴沿着通槽向内运动，导向轴将第二密封圈向外顶，第二密封圈从安装槽内伸出，进一步加强第二进气板和真空室内腔壁之间的密封性能，进气机构无需反复调试即可保证密封性能。能。能。

【技术实现步骤摘要】
真空双层进气机构


[0001]本技术涉及进气设备
，具体为真空双层进气机构。

技术介绍

[0002]原子层沉积技术(AtomicLayerDeposition,ALD)，与目前的其他镀膜方法相比，具有沉积温度低、薄膜结合强度好、精确控制膜厚、逐层沉积膜层厚度一致、成分均匀性好等优越性。原子层沉积设备已应用于半导体集成电路产业，给半导体工程、微机电系统和其他纳米技术应用提供了广阔的应用平台；ALD设备是在真空环境下，真空室外加热，使真空室内温度达到一定温度时，由特气柜供气系统向真空室上方的喷淋气盒反复交替通入相应的金属有机化合物和氧化剂气体，从而在基片表面生成所需要的原子层薄膜。
[0003]原子层沉积设备从原理上都是由内外两层腔室构成，内外腔内均是真空环境，而设备进气是由外腔外部将工艺气体送入内腔内部，需要穿过外腔壁和内腔壁，目前主要是采用固定式进气管，进气管直接贯穿外腔壁和内腔壁将工艺气送入内腔内部；但是这种进气管不便于安装维护，拆卸后安装的密封性需要重新反复调试。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供真空双层进气机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：真空双层进气机构，包括第一进气板和第二进气板，所述第一进气板外壁靠近第二进气板一侧设有第一密封圈，所述第二进气板外壁远离第一进气板一侧设有第二密封圈，所述第一进气板和第二进气板之间设有若干个进气管，所述进气管两端分别贯穿第一进气板和第二进气板，所述第一进气板和第二进气板之间设有若干个导向轴，所述导向轴与第二密封圈对齐，所述导向轴外壁和第二进气板之间套设有弹簧，所述第二进气板内部开设有与导向轴相匹配的通槽。
[0006]进一步的，所述第二进气板外壁开设有与第二密封圈相匹配的安装槽，所述通槽与安装槽贯通，保证导向轴能够穿过通槽进入安装槽内部和第二密封圈接触。
[0007]进一步的，所述通槽靠近第一进气板一端设有与导向轴相匹配的滑套，所述导向轴活动套设于滑套内侧，所述弹簧一端与导向轴固定连接，所述弹簧另一端与滑套固定连接，保证导向轴运动的稳定性。
[0008]进一步的，所述第一进气板外壁设有若干个导向杆，所述第二进气板表面开设有与导向杆相匹配的通孔，所述导向杆与导向轴相互平行，导向杆和导向轴配合对第一进气板和第二进气板之间进行导向处理，进一步加强第一进气板和第二进气板之间的稳定性。
[0009]进一步的，所述进气管中部设有真空波纹管，所述导向轴与进气管相互平行，所述导向轴与第二进气板相互垂直，所述第一进气板和第二进气板相互平行，可有效加强第一进气板和第二进气板之间的稳定性。
[0010]进一步的，所述第一进气板外壁远离第二进气板一侧设有安装板，所述安装板外
壁设有若干个螺栓和螺纹孔，安装板对第一进气板进行安装支撑，使用螺栓和螺纹孔将进气机构进行固定安装。
[0011]与现有技术相比，本技术所达到的有益效果是：
[0012]1、本技术巧妙的通过导向轴、弹簧和滑套将内外腔进气板进行了整体设计，通过弹簧的压力将内腔进气板压在内腔上进行密封，整体设计的优点在于无论是安装还是维护的工作大大优化了；采用了巧妙的弹簧结构将进气进行了设计，既解决了进气的问题又安装维护简便。
[0013]2、本技术通过设置第一进气板、第二进气板、导向轴、弹簧、滑套、第二密封圈；可有效保证对真空室进气机构的双重密封处理，可有效保证真空双层进气机构的密封性能，导向轴沿着通槽向内运动，导向轴将第二密封圈向外顶，第二密封圈从安装槽内伸出，进一步加强第二进气板和真空室内腔壁之间的密封性能，进气机构无需反复调试即可保证密封性能；弹簧在导向轴和滑套之间进行弹性支撑，可有效实现对第二密封圈的弹性受力，避免第二密封圈受损，同时保证进气机构拆卸时的正常回弹，真空波纹管在进气管中部进行缓冲，可有效保证第一进气板和第二进气板间距变化时进气管的安全性，避免进气管发生损伤。
附图说明
[0014]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0015]图1是本技术中整体的主视图；
[0016]图2是本技术中图1中F
‑
F方向的俯视剖面图；
[0017]图3是本技术中图2中导向轴与第二进气板连接的放大示意图；
[0018]图4是本技术中图2中第二进气板的放大示意图；
[0019]图中：1、第一进气板；2、第二进气板；3、第一密封圈；4、第二密封圈；5、进气管；6、导向轴；7、弹簧；8、通槽；9、安装槽；10、滑套；11、真空波纹管；12、导向杆；13、通孔；14、螺栓；15、螺纹孔；16、安装板。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
‑
图4，本技术提供技术方案：真空双层进气机构，包括第一进气板1和第二进气板2，所述第一进气板1外壁靠近第二进气板2一侧设有第一密封圈3，所述第二进气板2外壁远离第一进气板1一侧设有第二密封圈4，所述第一进气板1和第二进气板2之间设有若干个进气管5，所述进气管两端分别贯穿第一进气板1和第二进气板2，所述第一进气板1和第二进气板2之间设有若干个导向轴6，所述导向轴6与第二密封圈4对齐，所述导向轴6外壁和第二进气板2之间套设有弹簧7，所述第二进气板2内部开设有与导向轴6相匹配的通槽8。
[0022]所述第二进气板2外壁开设有与第二密封圈4相匹配的安装槽9，所述通槽8与安装槽9贯通；所述通槽8靠近第一进气板1一端设有与导向轴6相匹配的滑套10，所述导向轴6活动套设于滑套10内侧，所述弹簧7一端与导向轴6固定连接，所述弹簧7另一端与滑套10固定连接；所述第一进气板1外壁设有若干个导向杆12，所述第二进气板2表面开设有与导向杆12相匹配的通孔13，所述导向杆12与导向轴6相互平行；所述进气管5中部设有真空波纹管11，所述导向轴6与进气管5相互平行，所述导向轴6与第二进气板2相互垂直，所述第一进气板1和第二进气板2相互平行；所述第一进气板1外壁远离第二进气板2一侧设有安装板16，所述安装板16外壁设有若干个螺栓14和螺纹孔15。
[0023]本技术的工作原理：
[0024]参照说明书附图1
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图4，本技术通过设置第一进气板1、第二进气板2、导向轴6、弹簧7、滑套10、第二密封圈4；使用时，将装置装配到真空室上，真空室上开设有进气槽口，进气槽口延伸至真空室的内腔壁内部，将第二进本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.真空双层进气机构，包括第一进气板(1)和第二进气板(2)，其特征在于：所述第一进气板(1)外壁靠近第二进气板(2)一侧设有第一密封圈(3)，所述第二进气板(2)外壁远离第一进气板(1)一侧设有第二密封圈(4)，所述第一进气板(1)和第二进气板(2)之间设有若干个进气管(5)，所述进气管两端分别贯穿第一进气板(1)和第二进气板(2)，所述第一进气板(1)和第二进气板(2)之间设有若干个导向轴(6)，所述导向轴(6)与第二密封圈(4)对齐，所述导向轴(6)外壁和第二进气板(2)之间套设有弹簧(7)，所述第二进气板(2)内部开设有与导向轴(6)相匹配的通槽(8)。2.根据权利要求1所述的真空双层进气机构，其特征在于：所述第二进气板(2)外壁开设有与第二密封圈(4)相匹配的安装槽(9)，所述通槽(8)与安装槽(9)贯通。3.根据权利要求1所述的真空双层进气机构，其特征在于：所述通槽(8)靠近第一进气板(1)...

【专利技术属性】
技术研发人员：雍晓龙，张义颖，何奇，
申请(专利权)人：披刻半导体苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：